zhpsЖурнал прикладной спектроскопииZhurnal Prikladnoii Spektroskopii0514-7506B. I. Stepanov Institute of Physics of the National Academy of Sciences10.47612/0514-7506-2022-89-3-410-418zhps-1061Research ArticleСтатьиКонтроль чистоты поверхности оптических элементов эллипсометрическим методомControl of the Optical Surface Purity of the Elements by the Ellipsometric MethodФилинС. А.FilinS. A.

Москва

Moscow

РогалинВ. Е.RogalinV. E.

Санкт-Петербург

St. Petersburg

КаплуновИ. А.KaplunovI. A.

Тверь

Tver

kaplunov.ia@tversu.ruРоссийский экономический университет им. Г. В. ПлехановаPlekhanov Russian University of EconomicsИнститут электрофизики и электроэнергетики Российской АНInstitute of Electrophysics and Electric Power of the Russian Academy of SciencesТверской государственный университетTver State University202226052022893410418Copyright © Филин С.А., Рогалин В.Е., Каплунов И.А., 20222022Филин С.А., Рогалин В.Е., Каплунов И.А.Filin S.A., Rogalin V.E., Kaplunov I.A.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://zhps.ejournal.by/jour/article/view/1061

Проанализирована возможность контроля химической чистоты поверхности оптических элементов эллипсометрическим методом. Приведено обоснование возможности измерения параметров загрязняющих пленок на оптической поверхности элементов эллипсометрическим методом. Показано упрощение процесса определения толщины загрязняющей пленки при расширении возможности ее измерения на оптическом элементе из разных материалов. Выполнены эллипсометрические исследования свежеполированных и побывавших в эксплуатации металлических зеркал из меди и сплава меди (циркониевой бронзы), алюминия и его сплавов АМГ-6, АЛ-9, АЛ-24. Проведены исследования на элементах из оптических стекол К-8 и К-108 (ГОСТ 3514-94) — наиболее типичных материалов, используемых для изготовления оптических деталей для лазерной техники видимого и ближнего ИК-диапазона, из монокристаллов NaCl, BaF2 и сапфира (Al2O3); измерены параметры загрязняющих пленок на поверхности данных элементов. Установлено, что метод эллипсометрии целесообразно использовать при входном (перед проведением физико-химической очистки) и выходном (после очистки) контроле оптического элемента для оценки загрязненности оптической поверхности, а также для количественного анализа концентрации загрязнений на оптической поверхности элементов при отработке технологии их физико-химической очистки.

The possibility of controlling the chemical purity of the surface of optical elements by the ellipsometric method has been analyzed. The rationale of the possibility of measuring the parameters of contaminating films on the optical surface of elements by the ellipsometric method has been given simplification has been shown of the process of determining the thickness of the contaminating film while expanding the possibility of its measurement on an optical element made of different materials. Ellipsometric studies of freshly polished and used metal mirrors made of copper and copper alloy (zirconium bronze), aluminum and its alloys AMG-6, AL-9, AL-24 have been carried out. Research has also been conducted on elements made of K-8 and K-108 (State Standard 3514-94) optical glasses, which are the most typical materials used for manufacture of optical parts for laser technique of visible and near IR-range, from single crystals of NaCl, BaF2 and sapphire (Al2O3). Parameters of contaminating films on the surface of these elements have been measured. It has been concluded that it is advisable to use the ellipsometry method during the input (before carrying out physicochemical cleaning) and during the output (after cleaning) control of the optical element to assess the contamination of the optical surface and also for the quantitative analysis of the concentration of contaminants on the optical surface of the elements while working off the technology of their physicochemical cleaning.

эллипсометрияоптическая поверхностьзагрязненияфизико-химическая очисткаколичественный анализellipsometryoptical surfacecontaminationphysical and chemical cleaningquantitative analysisReferencesВ. Е. Рогалин, И. А. Каплунов. Изв. Сочинского гос. ун-та, 4-2(28) (2013) 120—127В. Е. Рогалин, И. А. Каплунов. Изв. Сочинского гос. ун-та, 4-2(28) (2013) 120—127Б. И. Макшанцев, Р. Е. Ровинский, В. Е. Рогалин. Квант. электрон., 12, 1 (1985) 22—28 [B. I. Makshantsev, R. E. Rovinskiĭ, V. E. Rogalin. Sov. J. Quantum Electron., 15, N 1 (1985) 10—14], doi: 10.1070/QE1985v015n01ABEH005834Б. И. Макшанцев, Р. Е. Ровинский, В. Е. Рогалин. Квант. электрон., 12, 1 (1985) 22—28 [B. I. Makshantsev, R. E. Rovinskiĭ, V. E. Rogalin. Sov. J. Quantum Electron., 15, N 1 (1985) 10—14], doi: 10.1070/QE1985v015n01ABEH005834И. А. Каплунов, В. Е. Рогалин, С. А. Филин. Цветные металлы, 7 (2014) 72—75 [I. A. Kaplunov, V. E. Rogalin, S. A. Filin. Non-Ferrous Metals, 1 (2015) 29—31], doi: 10.17580/nfm.2015.01.07И. А. Каплунов, В. Е. Рогалин, С. А. Филин. Цветные металлы, 7 (2014) 72—75 [I. A. Kaplunov, V. E. Rogalin, S. A. Filin. Non-Ferrous Metals, 1 (2015) 29—31], doi: 10.17580/nfm.2015.01.07S. A. Filin, V. E. Rogalin, I. A. Kaplunov, K. M. Zingerman. AIP Conf. Proc., 1915 (2017) 040016, doi: 10.1063/1.5017364S. A. Filin, V. E. Rogalin, I. A. Kaplunov, K. M. Zingerman. AIP Conf. Proc., 1915 (2017) 040016, doi: 10.1063/1.5017364В. И. Иванов. Науковедение, 4, № 23 (2014) 87В. И. Иванов. Науковедение, 4, № 23 (2014) 87Ю. В. Архипов, И. Н. Белашков, Н. П. Дацкевич, В. Н. Егоров, А. Ф. Изюмов, Н. В. Карлов, В. И. Конов, Н. Н. Кононов, Г. П. Кузьмин, А. А. Нестеренко, Н. И. Чаплиев. Квант. электрон., 13, № 1 (1986) 103—109 [Yu. V. Arkhipov, I. N. Belashkov, N. P. Datskevich, V. N. Egorov, A. F. Izyumov, N. V. Karlov, V. I. Konov, N. N. Kononov, G. P. Kuz’min, A. A. Nesterenko, N. I. Chapliev. Sov. J. Quantum Electron., 16, N 1 (1986) 63—67]Ю. В. Архипов, И. Н. Белашков, Н. П. Дацкевич, В. Н. Егоров, А. Ф. Изюмов, Н. В. Карлов, В. И. Конов, Н. Н. Кононов, Г. П. Кузьмин, А. А. Нестеренко, Н. И. Чаплиев. Квант. электрон., 13, № 1 (1986) 103—109 [Yu. V. Arkhipov, I. N. Belashkov, N. P. Datskevich, V. N. Egorov, A. F. Izyumov, N. V. Karlov, V. I. Konov, N. N. Kononov, G. P. Kuz’min, A. A. Nesterenko, N. I. Chapliev. Sov. J. Quantum Electron., 16, N 1 (1986) 63—67]Г. М. Мансуров, P. K. Мамедов, A. C. Сударушкин, В. К. Сидорин, К. К. Сидорин, В. И. Пшеницын, В. М. Золотарев. Опт. и спектр., 52, № 5 (1982) 852—857Г. М. Мансуров, P. K. Мамедов, A. C. Сударушкин, В. К. Сидорин, К. К. Сидорин, В. И. Пшеницын, В. М. Золотарев. Опт. и спектр., 52, № 5 (1982) 852—857А. П. Ящерицын, А. К. Цокур, М. Л. Еременко. Тепловые явления при шлифовании и свойства обработанных поверхностей, Минск, Наука и техника (1973) 88—102А. П. Ящерицын, А. К. Цокур, М. Л. Еременко. Тепловые явления при шлифовании и свойства обработанных поверхностей, Минск, Наука и техника (1973) 88—102М. К. Адам. Физика и химия поверхностей, Москва, ОГИЗ (1947) 50—110М. К. Адам. Физика и химия поверхностей, Москва, ОГИЗ (1947) 50—110А. П. Семенов. Трение и контактное воздействие графита и алмаза с металлами и сплавами, Москва, Наука (1974) 125—128А. П. Семенов. Трение и контактное воздействие графита и алмаза с металлами и сплавами, Москва, Наука (1974) 125—128С. П. Русин. Теплофизика и аэромеханика, 19, № 5 (2012) 643—654С. П. Русин. Теплофизика и аэромеханика, 19, № 5 (2012) 643—654В. В. Аполлонов, Ю. М. Васьковский, М. И. Жаворонков, А. М. Прохоров, Р. Е. Ровинский, В. Е. Рогалин, Н. Д. Устинов, К. Н. Фирсов, И. С. Ценина, В. А. Ямщиков. Квант. электрон., 12, № 1 (1985) 5—9 [V. V. Apollonov, Yu. M. Vas’kovskiĭ, M. I. Zhavoronkov, A. M. Prokhorov, R. E. Rovinskiĭ, V. E. Rogalin, N. D. Ustinov, K. N. Firsov, I. S. Tsenina, V. A. Yamshchikov. Sov. J. Quantum Electron., 15, N 1 (1985) 1—3], doi: 10.1070/QE1985v015n01ABEH005831В. В. Аполлонов, Ю. М. Васьковский, М. И. Жаворонков, А. М. Прохоров, Р. Е. Ровинский, В. Е. Рогалин, Н. Д. Устинов, К. Н. Фирсов, И. С. Ценина, В. А. Ямщиков. Квант. электрон., 12, № 1 (1985) 5—9 [V. V. Apollonov, Yu. M. Vas’kovskiĭ, M. I. Zhavoronkov, A. M. Prokhorov, R. E. Rovinskiĭ, V. E. Rogalin, N. D. Ustinov, K. N. Firsov, I. S. Tsenina, V. A. Yamshchikov. Sov. J. Quantum Electron., 15, N 1 (1985) 1—3], doi: 10.1070/QE1985v015n01ABEH005831И. Е. Скалецкая, В. Т. Прокопенко, Е. К. Скалецкий. Введение в прикладную эллипсометрию, СПб, НИУ ИТМО (2014) 28—66И. Е. Скалецкая, В. Т. Прокопенко, Е. К. Скалецкий. Введение в прикладную эллипсометрию, СПб, НИУ ИТМО (2014) 28—66А. И. Семененко, И. А. Семененко. Науч. приборостроение, 17, № 3 (2007) 54—64А. И. Семененко, И. А. Семененко. Науч. приборостроение, 17, № 3 (2007) 54—64А. И. Семененко, И. А. Семененко. Науч. приборостроение, 17, № 4 (2007) 42—54А. И. Семененко, И. А. Семененко. Науч. приборостроение, 17, № 4 (2007) 42—54В. Т. Прокопенко, Е. К. Скалецкий, Л. В. Лапушкина, О. В. Майорова, И. Е. Скалецкая, Е. Е. Орлова. Науч.-техн. вестн. Санкт-Петербург. гос. ун-та информ. технол., механ. и оптики, 18 (2005) 107—109В. Т. Прокопенко, Е. К. Скалецкий, Л. В. Лапушкина, О. В. Майорова, И. Е. Скалецкая, Е. Е. Орлова. Науч.-техн. вестн. Санкт-Петербург. гос. ун-та информ. технол., механ. и оптики, 18 (2005) 107—109В. И. Ковалев, А. И. Руковишников, Н. М. Россуканый, С. В. Ковалев, В. В. Ковалев, В. В. Амеличев, Д. В. Костюк, Д. В. Васильев, Е. П. Орлов. Приборы и техн. эксперимента, 5 (2016) 87—91В. И. Ковалев, А. И. Руковишников, Н. М. Россуканый, С. В. Ковалев, В. В. Ковалев, В. В. Амеличев, Д. В. Костюк, Д. В. Васильев, Е. П. Орлов. Приборы и техн. эксперимента, 5 (2016) 87—91А. М. Штеренберг, Ю. В. Великанова. Эллипсометрия, Самара, Самар. гос. техн. ун-т (2012) 28—30А. М. Штеренберг, Ю. В. Великанова. Эллипсометрия, Самара, Самар. гос. техн. ун-т (2012) 28—30И. Г. Бурыкин, Л. П. Воробьева, В. В. Грушецкий, Э. Е. Дагман, Р. И. Любинская, Г. А. Сапрыкина, К. К. Свиташев, А. И. Семененко, Л. В. Семененко. Алгоритмы и программы для решения некоторых задач эллипсометрии, под ред. А. В. Ржанова, Новосибирск, Наука, Сиб. отд-е (1980) 40—55И. Г. Бурыкин, Л. П. Воробьева, В. В. Грушецкий, Э. Е. Дагман, Р. И. Любинская, Г. А. Сапрыкина, К. К. Свиташев, А. И. Семененко, Л. В. Семененко. Алгоритмы и программы для решения некоторых задач эллипсометрии, под ред. А. В. Ржанова, Новосибирск, Наука, Сиб. отд-е (1980) 40—55B. C. Стащук, В. И. Шкураг. В кн. “Эллипсометрия — метод исследования поверхности”, Новосибирск, Наука (1983) 35—40B. C. Стащук, В. И. Шкураг. В кн. “Эллипсометрия — метод исследования поверхности”, Новосибирск, Наука (1983) 35—40H. Jiang, Z. Ma, H. Gu, X. Chen, S. Liu. Appl. Sci., 9, N 4 (2019) 698, doi: 10.3390/app9040698H. Jiang, Z. Ma, H. Gu, X. Chen, S. Liu. Appl. Sci., 9, N 4 (2019) 698, doi: 10.3390/app9040698J. Bousquet, E. Bustarret, D. Eon, F. Jomard. Diamond Related Mater., 86 (2018) 41—46, doi: 10.1016/j.diamond.2018.04.009J. Bousquet, E. Bustarret, D. Eon, F. Jomard. Diamond Related Mater., 86 (2018) 41—46, doi: 10.1016/j.diamond.2018.04.009В. В. Базаров, В. И. Нуждин, В. Ф. Валеев, Н. М. Лядов. Жур. прикл. спектр., 86, № 1 (2019) 151—154 [V. V. Bazarov, V. I. Nuzhdin, V. F. Valeev, N. M. Lyadov. J. Appl. Spectr., 86, N 1 (2019) 134—137], doi: 10.1007/s10812-019-00793-6В. В. Базаров, В. И. Нуждин, В. Ф. Валеев, Н. М. Лядов. Жур. прикл. спектр., 86, № 1 (2019) 151—154 [V. V. Bazarov, V. I. Nuzhdin, V. F. Valeev, N. M. Lyadov. J. Appl. Spectr., 86, N 1 (2019) 134—137], doi: 10.1007/s10812-019-00793-6В. Н. Кручинин, В. А. Володин, Т. В. Перевалов, А. К. Герасимова, В. Ш. Алиев, В. А. Гриценко. Опт. и спектр., 124, № 6 (2018) 777—782, doi: 10.21883/OS.2018.06.46080.39-18 [V. N. Kruchinin, V. A. Volodin, T. V. Perevalov, A. K. Gerasimova, V. Sh. Aliev, V. A. Gritsenko. Opt. Spectrosc., 124 (2018) 808—813], doi: 10.1134/S0030400X18060140В. Н. Кручинин, В. А. Володин, Т. В. Перевалов, А. К. Герасимова, В. Ш. Алиев, В. А. Гриценко. Опт. и спектр., 124, № 6 (2018) 777—782, doi: 10.21883/OS.2018.06.46080.39-18 [V. N. Kruchinin, V. A. Volodin, T. V. Perevalov, A. K. Gerasimova, V. Sh. Aliev, V. A. Gritsenko. Opt. Spectrosc., 124 (2018) 808—813], doi: 10.1134/S0030400X18060140F. Lyzwa, P. Marsik, V. Roddatis, C. Bernhard, M. Jungbauer, V. Moshnyaga. J. Phys. D: Appl. Phys., 51, N 12 (2018) 125306, doi: 10.1088/1361-6463/aaac64F. Lyzwa, P. Marsik, V. Roddatis, C. Bernhard, M. Jungbauer, V. Moshnyaga. J. Phys. D: Appl. Phys., 51, N 12 (2018) 125306, doi: 10.1088/1361-6463/aaac64N. Farid, N. Mahmoud, N. J. Nagib. J. Opt., 47 (2018) 366—373, doi: 10.1007/s12596-018-0455-0N. Farid, N. Mahmoud, N. J. Nagib. J. Opt., 47 (2018) 366—373, doi: 10.1007/s12596-018-0455-0A. Furchner, C. Walder, K. Hinrichs, M. Zellmeier, J. Rappich. Appl. Opt., 57, N 27 (2018) 7895—7904, doi: 10.1364/AO.57.007895A. Furchner, C. Walder, K. Hinrichs, M. Zellmeier, J. Rappich. Appl. Opt., 57, N 27 (2018) 7895—7904, doi: 10.1364/AO.57.007895M. B. Bouzourâa, Y. Battie, S. Dalmasso, A. En Naciri, M. Oueslati, M. A. Zaïbi. Superlattices Microstruct., 117 (2018) 457—468, doi: 10.1016/j.spmi.2018.03.078M. B. Bouzourâa, Y. Battie, S. Dalmasso, A. En Naciri, M. Oueslati, M. A. Zaïbi. Superlattices Microstruct., 117 (2018) 457—468, doi: 10.1016/j.spmi.2018.03.078X.-D. Zhu, R.-J. Zhang, Y.-X. Zheng, S.-Y. Wang, L.-Y. Chen. Chin. Opt., 12, N 6 (2019) 1195—1234, doi: 10.3788/CO.20191206.1195X.-D. Zhu, R.-J. Zhang, Y.-X. Zheng, S.-Y. Wang, L.-Y. Chen. Chin. Opt., 12, N 6 (2019) 1195—1234, doi: 10.3788/CO.20191206.1195G. A. Ermolaev, D. I. Yakubovsky, Y. V. Stebunov, A. V. Arsenin, V. S. Volkov. J. Vac. Sci. Technol. B: Nanotechnol. Microelectron., 38, N 1 (2020) 014002, doi: 10.1116/1.5122683G. A. Ermolaev, D. I. Yakubovsky, Y. V. Stebunov, A. V. Arsenin, V. S. Volkov. J. Vac. Sci. Technol. B: Nanotechnol. Microelectron., 38, N 1 (2020) 014002, doi: 10.1116/1.5122683S. Zollner, P. P. Paradis, F. Abadizaman, N. S. Samarasingha. J. Vac. Sci. Technol. B: Nanotechnol. Microelectron., 37, N 1 (2019) 012904, doi: 10.1116/1.5081055S. Zollner, P. P. Paradis, F. Abadizaman, N. S. Samarasingha. J. Vac. Sci. Technol. B: Nanotechnol. Microelectron., 37, N 1 (2019) 012904, doi: 10.1116/1.5081055В. М. Золотарев, К. К. Свиташев, А. И. Семененко. Опт. и спектр., 34, № 5 (1973) 941—946В. М. Золотарев, К. К. Свиташев, А. И. Семененко. Опт. и спектр., 34, № 5 (1973) 941—946Л. Л. Васильева, К. К. Свиташев, А. И. Семененко, Л. В. Семененко, В. К. Соколов. Опт. и спектр., 37, № 3 (1974) 574—581Л. Л. Васильева, К. К. Свиташев, А. И. Семененко, Л. В. Семененко, В. К. Соколов. Опт. и спектр., 37, № 3 (1974) 574—581А. В. Гаврилов, С. А. Бурцев, А. В. Бурмистров. Вестн. Казан. технол. ун-та, 17, № 18 (2014) 183—185А. В. Гаврилов, С. А. Бурцев, А. В. Бурмистров. Вестн. Казан. технол. ун-та, 17, № 18 (2014) 183—185Г. А. Григорьев, Н. К. Золкина, Ю. Ю. Столяров, Г. Р. Аллахвердов. ЖФХ, 75, № 10 (2001) 1843—1845 [G. A. Grigor’ev, N. K. Zolkina, Yu. Yu. Stolyarov, G. R. Allakhverdov. Russ. J. Phys. Chem. A, 75, N 10 (2001) 1688—1690]Г. А. Григорьев, Н. К. Золкина, Ю. Ю. Столяров, Г. Р. Аллахвердов. ЖФХ, 75, № 10 (2001) 1843—1845 [G. A. Grigor’ev, N. K. Zolkina, Yu. Yu. Stolyarov, G. R. Allakhverdov. Russ. J. Phys. Chem. A, 75, N 10 (2001) 1688—1690]R. E. Cuthrell. The Quantitative Detection of Molecular Layers with the Indium Adhegion Nester. Sandia Laboratories Report SCR. E. Cuthrell. The Quantitative Detection of Molecular Layers with the Indium Adhegion Nester. Sandia Laboratories Report SCВ. В. Климов, А. В. Шостак. Геофизические исследования скважин. Метод радиоактивных изотопов, Краснодар, ФГБОУ ВПО “КубГТУ”, Издательский дом “Юг” (2014) 135—137В. В. Климов, А. В. Шостак. Геофизические исследования скважин. Метод радиоактивных изотопов, Краснодар, ФГБОУ ВПО “КубГТУ”, Издательский дом “Юг” (2014) 135—137В. П. Афанасьев, П. В. Афанасьев, И. В. Грехов, Л. А. Делимова, С. П. Ким, Ю. М. Коо, Д. В. Машовец, А. В. Панкрашкин, Я. Парк, А. А. Петров, С. Шин. ФТТ, 48, № 6 (2006) 1130—1134 [V. P. Afanas’ev, P. V. Afanas’ev, I. V. Grekhov, L. A. Delimova, S.-P. Kim, J.-M. Koo, D. V. Mashovets, A. V. Pankrashkin, Y. Park, A. A. Petrov, S. Shin. Phys. Solid State, 48, N 6 (2006) 1200—1204], doi: 10.1134/S1063783406060588В. П. Афанасьев, П. В. Афанасьев, И. В. Грехов, Л. А. Делимова, С. П. Ким, Ю. М. Коо, Д. В. Машовец, А. В. Панкрашкин, Я. Парк, А. А. Петров, С. Шин. ФТТ, 48, № 6 (2006) 1130—1134 [V. P. Afanas’ev, P. V. Afanas’ev, I. V. Grekhov, L. A. Delimova, S.-P. Kim, J.-M. Koo, D. V. Mashovets, A. V. Pankrashkin, Y. Park, A. A. Petrov, S. Shin. Phys. Solid State, 48, N 6 (2006) 1200—1204], doi: 10.1134/S1063783406060588M. J. Pellin, I. Veryovkin, W. F. Calaway. Изв. РАН. Сер. физ., 70, № 6 (2006) 859—861M. J. Pellin, I. Veryovkin, W. F. Calaway. Изв. РАН. Сер. физ., 70, № 6 (2006) 859—861Е. А. Виноградов, В. А. Яковлев. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, № 2 (2018) 51—57, doi: 10.7868/S0207352818020087 [E. A. Vinogradov, V. A. Yakovlev. J. Surf. Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 12, N 1 (2018) 139—144], doi: 10.1134/S1027451018010330Е. А. Виноградов, В. А. Яковлев. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, № 2 (2018) 51—57, doi: 10.7868/S0207352818020087 [E. A. Vinogradov, V. A. Yakovlev. J. Surf. Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 12, N 1 (2018) 139—144], doi: 10.1134/S1027451018010330А. Н. Ишматов, Б. И. Ворожцов. Опт. атм. и океана, 25, № 7 (2012) 653—656А. Н. Ишматов, Б. И. Ворожцов. Опт. атм. и океана, 25, № 7 (2012) 653—656Р. И. Непомнящий, К. Г. Зверев. Контроль и оценка качества очистки поверхности металлов, Москва, Советское радио (1978) 35—40Р. И. Непомнящий, К. Г. Зверев. Контроль и оценка качества очистки поверхности металлов, Москва, Советское радио (1978) 35—40E. D. Palik, R. T. Holm. Opt. Eng., 17, N 5 (1978) 512—525E. D. Palik, R. T. Holm. Opt. Eng., 17, N 5 (1978) 512—525S. A. Hawkins, B. Park, G. H. Poole, T. Gottwald, W. R. Windham, K. C. Lawrence. Appl. Spectrosc., 64, N 1 (2010) 100—103S. A. Hawkins, B. Park, G. H. Poole, T. Gottwald, W. R. Windham, K. C. Lawrence. Appl. Spectrosc., 64, N 1 (2010) 100—103Р. Р. Резвый. Эллипсометрия в микроэлектронике, Москва, Радио и связь (1983) 26—45Р. Р. Резвый. Эллипсометрия в микроэлектронике, Москва, Радио и связь (1983) 26—45О. Е. Осинцев, В. Н. Федоров. Медь и медные сплавы. Отечественные и зарубежные марки. Справочник, Москва, Машиностроение (2004) 33—39О. Е. Осинцев, В. Н. Федоров. Медь и медные сплавы. Отечественные и зарубежные марки. Справочник, Москва, Машиностроение (2004) 33—39А. А. Шибков, А. Е. Золотов. Кристаллография, 56, № 1 (2011) 147—154А. А. Шибков, А. Е. Золотов. Кристаллография, 56, № 1 (2011) 147—154М. А. Окатов. Справочник технолога-оптика, Санкт-Петербург, Политехника (2004) 208—262М. А. Окатов. Справочник технолога-оптика, Санкт-Петербург, Политехника (2004) 208—262Э. Я. Гоз, Р. С. Соколова, А. Я. Кузнецов. Опт.-мех. промышленность, 12 (1969)Э. Я. Гоз, Р. С. Соколова, А. Я. Кузнецов. Опт.-мех. промышленность, 12 (1969)

The authors declare that there are no conflicts of interest present.