zhpsЖурнал прикладной спектроскопииZhurnal Prikladnoii Spektroskopii0514-7506B. I. Stepanov Institute of Physics of the National Academy of Sciences10.47612/0514-7506-2022-89-5-668-673zhps-1134Research ArticleСтатьиОПРЕДЕЛЕНИЕ МАССОВОГО КОЭФФИЦИЕНТА ПОГЛОЩЕНИЯ В ДВУХСЛОЙНОЙ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ СИСТЕМЕ Co/Cr РЕНТГЕНОФЛУОРЕСЦЕНТНЫМ МЕТОДОМDETERMINATION OF THE MASS ABSORPTION COEFFICIENT IN TWO-LAYER Co/Cr THIN-FILM SYSTEMS BY THE X-RAY FLUORESCENCE METНODЧерняеваЕ. А.CherniaevaE. A.

Нижний Новгород

Nizhny Novgorod

КнязеваА. А.KniazevaA. A.

Нижний Новгород

Nizhny Novgorod

КочетковаИ. С.KochetkovaI. S.

Нижний Новгород

Nizhny Novgorod

МашинН. И.MashinN. I.

Нижний Новгород

Nizhny Novgorod

mashin@chem.unn.ruНациональный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. ЛобачевскогоN. I. Lobachevskii State University of Nizhni Novgorod202226092022895668673Copyright © Черняева Е.А., Князева А.А., Кочеткова И.С., Машин Н.И., 20222022Черняева Е.А., Князева А.А., Кочеткова И.С., Машин Н.И.Cherniaeva E.A., Kniazeva A.A., Kochetkova I.S., Mashin N.I.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://zhps.ejournal.by/jour/article/view/1134

Предложен способ определения массового коэффициента поглощения при рентгенофлуоресцентном анализе двухслойных тонкопленочных систем Co/Cr на подложках из поликора с использованием простых в изготовлении унифицированных пленочных слоев, получаемых нанесением кобальта на подложки из пленки полимера. Рассчитаны поправочные коэффициенты, учитывающие ослабление первичного излучения рентгеновской трубки и интенсивности аналитической линии элемента нижнего слоя в верхнем слое.

X-ray fluorescence analysis procedure for determining a mass absorption coefficient in two-layer Co/Cr thin-film systems on polycor substrates has been proposed. Easy-to-make thin-film layers of sputtered cobalt on a polymer film substrate were used. Correction coefficients have been calculated that take into account the attenuation of the primary radiation of the X-ray tube and the absorption intensity of the analytical line of a bottom layer element in a top layer.

рентгенофлуоресцентный методтонкая двухслойная пленкапоправочный коэффициентмассовый коэффициент поглощенияподложка из пленки полимераX-ray fluorescence analysisthin two-layer filmcorrection coefficientmass absorption coefficientpolymer film substrateReferencesЮ. А. Игнатова, А. Н. Еритенко, А. Г. Ревенко, А. Л. Цветянский. Аналитика и контроль, 15, № 2 (2011) 126—140Ю. А. Игнатова, А. Н. Еритенко, А. Г. Ревенко, А. Л. Цветянский. Аналитика и контроль, 15, № 2 (2011) 126—140В.Р.Дарашкевич, Б. А.Малюков, Г.М.Туровская. Журн. аналит. химии, 34, № 1 (1979) 138—141В.Р.Дарашкевич, Б. А.Малюков, Г.М.Туровская. Журн. аналит. химии, 34, № 1 (1979) 138—141B. Kanrar, K. Sanyal, N. L. Misra, S. K. Aggarwal. Spectrochim. Acta B: At. Spectrosc., 101 (2015) 130—133B. Kanrar, K. Sanyal, N. L. Misra, S. K. Aggarwal. Spectrochim. Acta B: At. Spectrosc., 101 (2015) 130—133P. Jonnard, H. Maury, J.-M. Andre. X-Ray Spectrom., 36 (2007) 72—75P. Jonnard, H. Maury, J.-M. Andre. X-Ray Spectrom., 36 (2007) 72—75K. Nygård, K. Hämäläinen, S. Manninen, P. Jalas, J.-P. Ruottinen. X-Ray Spectrom., 33 (2004) 354—359K. Nygård, K. Hämäläinen, S. Manninen, P. Jalas, J.-P. Ruottinen. X-Ray Spectrom., 33 (2004) 354—359В. Я. Борходоев. Журн. аналит. химии, 53, № 6 (1998) 571—577В. Я. Борходоев. Журн. аналит. химии, 53, № 6 (1998) 571—577Н. И. Машин, Н. К. Рудневский, Ю. С. Калинин, А. И. Машин. Зав. лаб., 56, № 12 (1990) 34—36Н. И. Машин, Н. К. Рудневский, Ю. С. Калинин, А. И. Машин. Зав. лаб., 56, № 12 (1990) 34—36Е. Е. Беляева, А. В. Ершов, А. И. Машин, Н. И. Машин, Н. К. Рудневский. Журн. аналит. химии, 53, № 6 (1998) 638—640E. E. Belyaeva, A. V. Ershov, A. I. Mashin, N. I. Mashin, N. K. Rudnevskii. J. Anal. Chem., 53 (1998) 561—563Н. И. Машин, А. Н. Туманова, Н. К. Рудневский. Журн. аналит. химии, 56, № 6 (2001) 651—654N. I. Mashin, A. N. Tumanova, N. K. Rudnevskii. J. Anal. Chem., 56 (2001) 581—584Н. И. Машин, Р. В. Лебедева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Журн. прикл. спектр., 79, № 2 (2012) 328—332N. I. Mashin, R. V. Lebedeva, A. N. Tumanova, A. A. Ershov. J. Appl. Spectr., 79 (2012) 307—311Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Неорг. матер., 49, № 12 (2013) 1294—1299Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Неорг. матер., 49, № 12 (2013) 1294—1299Е. А. Черняева, А. А. Князева, Е. О. Зимина, И. С. Белякова, Н. И. Машин. Журн. прикл. спектр., 86, № 6 (2019) 936—941E. A. Cherniaeva, A. A. Kniazeva, E. O. Zimina, I. S. Belyakova, N. I. Mashin. J. Appl. Spectr., 86 (2019) 1048—1052А. С. Березин, О. Р. Мочалкина. Технология и конструирование интегральных микросхем, Москва, Радио и связь (1983) 84—86А. С. Березин, О. Р. Мочалкина. Технология и конструирование интегральных микросхем, Москва, Радио и связь (1983) 84—86В. П. Афонин, Н. И. Комяк, В. П. Николаев, Р. И. Плотников. Рентгенофлуоресцентный анализ, Новосибирск, Наука (1991) 128—129В. П. Афонин, Н. И. Комяк, В. П. Николаев, Р. И. Плотников. Рентгенофлуоресцентный анализ, Новосибирск, Наука (1991) 128—129Н. Ф. Лосев, А. Н. Смагунова. Основы рентгеноспектрального флуоресцентного анализа, Москва, Химия (1982) 97Н. Ф. Лосев, А. Н. Смагунова. Основы рентгеноспектрального флуоресцентного анализа, Москва, Химия (1982) 97В. Р. Дарашкевич, Б. А. Малюков. Зав. лаб., 46, № 6 (1980) 512—513В. Р. Дарашкевич, Б. А. Малюков. Зав. лаб., 46, № 6 (1980) 512—513М. А. Блохин, И. Г. Швейцер. Рентгеноспектральный справочник, Москва, Наука (1982)М. А. Блохин, И. Г. Швейцер. Рентгеноспектральный справочник, Москва, Наука (1982)

The authors declare that there are no conflicts of interest present.