zhpsЖурнал прикладной спектроскопииZhurnal Prikladnoii Spektroskopii0514-7506B. I. Stepanov Institute of Physics of the National Academy of Scienceszhps-127Research ArticleСтатьиТРЕХКОМПОНЕНТНАЯ МОДЕЛЬ ЭФФЕКТИВНОЙ СРЕДЫ ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СОСТАВА СЛОЕВ НА КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИНАХA THREE-COMPONENT MODEL OF AN EFFECTIVE MEDIUM FOR DETERMINING THE COMPOSITION OF LAYERS ON SILICON PLATESСтаськовН. И.StaskovN. I.ni_staskov@mail.ruСотскаяЛ. И.SotskayaL. I.noemail@neicon.ruМогилевский государственный университет им. А. А. КулешоваA. A. Kuleshov Mogilev State UniversityБелорусско-Pоссийский университетBelarusian-Russian State University201710032020845703709Copyright © Стаськов Н.И., Сотская Л.И., 20202020Стаськов Н.И., Сотская Л.И.Staskov N.I., Sotskaya L.I.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://zhps.ejournal.by/jour/article/view/127

Предлагаемая модель эффективной среды, в которой матричная среда Максвелла-Гарнетта заполнена средой Бруггемана, применена при решении обратных задач многоугловой эллипсометрии для определения состава переходных слоев, окружающих слой термического диоксида кремния на кремниевой подложке. Объемные факторы заполнения слоя корректно отражают возможные структурные превращения при окислении кристаллического кремния.

The proposed model of an effective medium, in which the Maxwell-Garnett matrix medium is filled with the Bruggeman medium, is used in solving inverse problems of multi-angle ellipsometry to determine the composition of the transition layers surrounding the layer of thermal silicon dioxide on a silicon substrate. The volume factors of filling the layer correctly reflect possible structural transformations during the oxidation of crystalline silicon.

модель эффективной средымногоугловая эллипсометрияслой на подложкепереходные слоиокисление пластин кремнияeffective medium modelmulti-angle ellipsometrysubstrate layertransition layersoxidation of silicon wafersReferencesА. Н. Тихонов, В. Я. Арсенин. Методы решения некорректных задач, Москва, Наука (1975)А. Н. Тихонов, В. Я. Арсенин. Методы решения некорректных задач, Москва, Наука (1975)http://www.horiba.com/scientific/products/ellipsometers/spectroscopic-ellipsometers/uvisel/uvisel-spectro-scopic-ellipsometer-covering-a-range-from-fuv-to-nir-640/http://www.horiba.com/scientific/products/ellipsometers/spectroscopic-ellipsometers/uvisel/uvisel-spectro-scopic-ellipsometer-covering-a-range-from-fuv-to-nir-640/H. G. Tompkins, E. A. Irene. Handbook of Ellipsometry, William Andrew Publishing & Springer (2005)H. G. Tompkins, E. A. Irene. Handbook of Ellipsometry, William Andrew Publishing & Springer (2005)Е. В. Астрова. ФТП, 33, № 10 (1999) 1264-1270Е. В. Астрова. ФТП, 33, № 10 (1999) 1264-1270С. Е. Козик. Неразрушающий контроль и диагностика, № 2 (2015) 67-77С. Е. Козик. Неразрушающий контроль и диагностика, № 2 (2015) 67-77Л. А. Головань. УФН, 177, № 6 (2007) 619-638Л. А. Головань. УФН, 177, № 6 (2007) 619-638T. E. Benson. J. Electron. Mater., 25, N 6 (1996) 955-964T. E. Benson. J. Electron. Mater., 25, N 6 (1996) 955-964D. E. Aspnes. Thin Solid Films, 89 (1982) 249-262D. E. Aspnes. Thin Solid Films, 89 (1982) 249-262Н. И. Стаськов. Проблемы физики, математики и техники, № 2 (15) (2013) 18-24Н. И. Стаськов. Проблемы физики, математики и техники, № 2 (15) (2013) 18-24Н. И. Стаськов. Проблемы физики, математики и техники, № 4 (25) (2015) 31-37Н. И. Стаськов. Проблемы физики, математики и техники, № 4 (25) (2015) 31-37А. И. Дусь. ФТП, 42, № 11 (2008) 1400-1406А. И. Дусь. ФТП, 42, № 11 (2008) 1400-1406В. А. Гриценко. УФН, 179, № 9 (2009) 921-930В. А. Гриценко. УФН, 179, № 9 (2009) 921-930В. К. Милославский, Е. Д. Маковецкий, Л. А. Агеев, К. С. Белошенко. Опт. и спектр., 107, № 5 (2009) 854-859В. К. Милославский, Е. Д. Маковецкий, Л. А. Агеев, К. С. Белошенко. Опт. и спектр., 107, № 5 (2009) 854-859P. H. Roussel, J. Vanhellemont, H. E. Maes. Thin Solid Films, 234 (1993) 423-427P. H. Roussel, J. Vanhellemont, H. E. Maes. Thin Solid Films, 234 (1993) 423-427В. И. Пшеницын, М. И. Абаев, Н. Ю. Лызлов. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях, Москва, Химия (1986)В. И. Пшеницын, М. И. Абаев, Н. Ю. Лызлов. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях, Москва, Химия (1986)М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики, пер. с англ., Москва, Наука (1970)М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики, пер. с англ., Москва, Наука (1970)А. Б. Сотский. Материалы Всерос. науч. интернет-конф. с междунар. участием “Спектрометрические методы анализа”, Казань, 26 сентября 2013 г., 103-107А. Б. Сотский. Материалы Всерос. науч. интернет-конф. с междунар. участием “Спектрометрические методы анализа”, Казань, 26 сентября 2013 г., 103-107E. D. Palik. Нandbook of Optical Constants of Solids, Academic Press (1988)E. D. Palik. Нandbook of Optical Constants of Solids, Academic Press (1988)

The authors declare that there are no conflicts of interest present.