zhpsЖурнал прикладной спектроскопииZhurnal Prikladnoii Spektroskopii0514-7506B. I. Stepanov Institute of Physics of the National Academy of Scienceszhps-1400Research ArticleСПЕКТРОСКОПИЯ НАНОСТРУКТУРSPECTROSCOPY OF NANOSTRUCTUREМикроструктура и свойства тонких пленок циркония, полученных при высокочастотном лазерном осажденииMicrostructure and Properties of Thin Zirconium Films Produced by High-Frequency Laser DepositionБосакН. А.BosakN. A.

Минск

Minsk

n.bosak@ifanbel.bas-net.byЧумаковА. Н.ChumakovA. N.

Минск

Minsk

БаранЛ. В.BaranL. V.

Минск

Minsk

baran@bsu.byМалютина-БронскаяВ. В.Malyutina-BronskayaV. V.

Минск

Minsk

malyutina@oelt.basnet.byИвковичМ.IvkovichM.

Белград

Belgrade

СаканН.SakanN.

Белград

Belgrade

nsakan@ipb.ac.rsИвановА. А.IvanovA. A.

Минск

Minsk

Институт физики НАН БеларусиB. I. Stepanov Institute of Physics of the National Academy of Sciences of BelarusБелорусский государственный университетBelarusian State UniversityГНПО “Оптика, оптоэлектроника и лазерная техника” НАН БеларусиSSPA “Optics, Optoelectronics, and Laser TechnologyИнститут физикиInstitute of Physics202324112023906877881Copyright © Босак Н.А., Чумаков А.Н., Баран Л.В., Малютина-Бронская В.В., Ивкович М., Сакан Н., Иванов А.А., 20232023Босак Н.А., Чумаков А.Н., Баран Л.В., Малютина-Бронская В.В., Ивкович М., Сакан Н., Иванов А.А.Bosak N.A., Chumakov A.N., Baran L.V., Malyutina-Bronskaya V.V., Ivkovich M., Sakan N., Ivanov A.A.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://zhps.ejournal.by/jour/article/view/1400

Методом высокочастотного импульсно-периодического f ~ 6—10 кГц воздействия лазерного излучения с длиной волны l = 1.064 мкм и плотностью мощности q = 120 МВт/см2 на цирконий при давлении в вакуумной камере p = 2.2 Па получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой подложке. Изучена морфология тонких пленок циркония с помощью атомно-силовой микроскопии. Получены спектры пропускания пленок циркония в видимой, ближней и средней ИК-областях. Проанализированы электрофизические характеристики структур Zr/Si.

By the method of high-frequency repetitively pulsed f ~ 6—10 kHz laser radiation with wavelength l = 1.064 μm and power density q = 120 MW/cm2 on zirconium target at a pressure in the vacuum chamber p = 2.2 Pa nanostructured thin films on a silicon substrate have been obtained. The morphology of thin zirconium films has been studied using atomic force microscopy. Transmission spectra of zirconium films have been obtained in the visible, near and mid-IR regions. The electrophysical characteristics of Zr/Si structures are analyzed.

высокочастотное лазерное воздействиеструктура тонких пленокспектры пропускания и отраженияэлектрофизические характеристикиhigh-frequency laser irradiationthe structure of thin filmstransmission and reflection spectraelectrophysical characteristicsReferencesЛ. М. Лыньков, Т. В. Молодечкина, В. А. Богуш, Т. В. Борботько. Докл. БГУИР, № 3 (2004) 73—84Л. М. Лыньков, Т. В. Молодечкина, В. А. Богуш, Т. В. Борботько. Докл. БГУИР, № 3 (2004) 73—84Xu Jingping, Bai Tiecheng, Li Xingjiao, Zheng Xiangbin, Su Wuda, An Changwu. Vacuum, 43, N 11 (1992) 1051—1053Xu Jingping, Bai Tiecheng, Li Xingjiao, Zheng Xiangbin, Su Wuda, An Changwu. Vacuum, 43, N 11 (1992) 1051—1053Н. Е. Некрасова, С. С. Кругликов. Физикохимия поверхности и защита материалов, 47, № 6 (2011) 668—672Н. Е. Некрасова, С. С. Кругликов. Физикохимия поверхности и защита материалов, 47, № 6 (2011) 668—672С. В. Иванова, Э. М. Глаговский, В. К. Орлов, И. А. Шлепов, К. Ю. Никоноров, В. В. Рожко, В. А. Глебов, С. Я. Бецофен. Ядерная физика и инжиниринг, 2, № 3 (2011) 224—234С. В. Иванова, Э. М. Глаговский, В. К. Орлов, И. А. Шлепов, К. Ю. Никоноров, В. В. Рожко, В. А. Глебов, С. Я. Бецофен. Ядерная физика и инжиниринг, 2, № 3 (2011) 224—234D. G. Olmedo, D. R. Tasat, P. Evelson, R. Rebagliatti, M. B. Guglielmotti, R. L. Cabrini. J. Biomed. Mater. Res. A, 98A, N 4 (2011) 604—613D. G. Olmedo, D. R. Tasat, P. Evelson, R. Rebagliatti, M. B. Guglielmotti, R. L. Cabrini. J. Biomed. Mater. Res. A, 98A, N 4 (2011) 604—613R. H. Nielsen, J. H. Schlewitz, H. Neilson. Kirk-Othmer Encycl. Chem. Technol. (2000) 1—46R. H. Nielsen, J. H. Schlewitz, H. Neilson. Kirk-Othmer Encycl. Chem. Technol. (2000) 1—46S. Q. Hussain, S. Kim, S. Ahn, N. Balaji, Y. Lee, J. H. Lee, J. Yi. Solar Energy Mater. Solar Cells, 122 (2014) 130—135S. Q. Hussain, S. Kim, S. Ahn, N. Balaji, Y. Lee, J. H. Lee, J. Yi. Solar Energy Mater. Solar Cells, 122 (2014) 130—135B. Zhang, X. Dong, X. Xu, P. Zhao, J. Wu. Solar Energy Mater. Solar Cells, 92, N 10 (2008) 1224—1229B. Zhang, X. Dong, X. Xu, P. Zhao, J. Wu. Solar Energy Mater. Solar Cells, 92, N 10 (2008) 1224—1229D. A. Aldemir. Modern Phys. Lett. B, 34, N 10 (2020) 2050095D. A. Aldemir. Modern Phys. Lett. B, 34, N 10 (2020) 2050095E. H. Rhoderick. IEE Proc. I, Solid-State Electron. Dev., 129, N 1 (1982) 1—4E. H. Rhoderick. IEE Proc. I, Solid-State Electron. Dev., 129, N 1 (1982) 1—4Л. Я. Минько, А. Н. Чумаков, Н. А. Босак. Квант. электрон., 17, № 11 (1990) 1480—1484Л. Я. Минько, А. Н. Чумаков, Н. А. Босак. Квант. электрон., 17, № 11 (1990) 1480—1484

The authors declare that there are no conflicts of interest present.