<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<!DOCTYPE article PUBLIC "-//NLM//DTD JATS (Z39.96) Journal Publishing DTD v1.3 20210610//EN" "JATS-journalpublishing1-3.dtd">
<article article-type="research-article" dtd-version="1.3" xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xml:lang="ru"><front><journal-meta><journal-id journal-id-type="publisher-id">zhps</journal-id><journal-title-group><journal-title xml:lang="ru">Журнал прикладной спектроскопии</journal-title><trans-title-group xml:lang="en"><trans-title>Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii</trans-title></trans-title-group></journal-title-group><issn pub-type="ppub">0514-7506</issn><publisher><publisher-name>B. I. Stepanov Institute of Physics of the National Academy of Sciences</publisher-name></publisher></journal-meta><article-meta><article-id custom-type="elpub" pub-id-type="custom">zhps-1523</article-id><article-categories><subj-group subj-group-type="heading"><subject>Research Article</subject></subj-group><subj-group subj-group-type="section-heading" xml:lang="ru"><subject>СПЕКТРОСКОПИЯ ТВЕРДЫХ ТЕЛ</subject></subj-group><subj-group subj-group-type="section-heading" xml:lang="en"><subject>SPECTROSCOPY OF SOLIDS</subject></subj-group></article-categories><title-group><article-title>ИК-Фурье-спектроскопия нарушенного полного внутреннего  отражения пленок полиимида на пластинах монокристаллического кремния</article-title><trans-title-group xml:lang="en"><trans-title>IR-Fourier Spectroscopy of Attenuated Total Reflection of Polyimide Films on Mono￾crystalline Silicon Wafers</trans-title></trans-title-group></title-group><contrib-group><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Просолович</surname><given-names>В. С.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Prosolovich</surname><given-names>V. S.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Минск</p></bio><bio xml:lang="en"><p>Minsk</p></bio><email xlink:type="simple">prosolovich@bsu.by</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Бринкевич</surname><given-names>Д. И.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Brinkevich</surname><given-names>D. I.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Минск</p></bio><bio xml:lang="en"><p>Minsk</p></bio><email xlink:type="simple">brinkevich@bsu.by</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Гринюк</surname><given-names>Е. В.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Grinyuk</surname><given-names>E. V.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Минск</p></bio><bio xml:lang="en"><p>Minsk</p></bio><email xlink:type="simple">grinyuk@tut.by</email><xref ref-type="aff" rid="aff-2"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Бринкевич</surname><given-names>С. Д.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Brinkevich</surname><given-names>S. D.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Минск</p><p>Всеволожск Ленинградской обл.</p></bio><bio xml:lang="en"><p>Minsk</p><p>Vsevolozhsk, Leningrad region</p></bio><xref ref-type="aff" rid="aff-3"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Колос</surname><given-names>В. В.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Kolos</surname><given-names>V. V.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Минск</p></bio><bio xml:lang="en"><p>Minsk</p></bio><email xlink:type="simple">VVKolos@integral.by</email><xref ref-type="aff" rid="aff-4"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Зубова</surname><given-names>О. А.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Zubova</surname><given-names>O. A.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Минск</p></bio><bio xml:lang="en"><p>Minsk</p></bio><email xlink:type="simple">OZubova@integral.by</email><xref ref-type="aff" rid="aff-4"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Ластовский</surname><given-names>С. Б.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Lastovskii</surname><given-names>S.  B.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Минск</p></bio><bio xml:lang="en"><p>Minsk</p></bio><email xlink:type="simple">lastov@ifttp.bas-net.by</email><xref ref-type="aff" rid="aff-5"/></contrib></contrib-group><aff-alternatives id="aff-1"><aff xml:lang="ru"><institution>Белорусский государственный университет</institution></aff><aff xml:lang="en"><institution>Belarusian State University</institution></aff></aff-alternatives><aff-alternatives id="aff-2"><aff xml:lang="ru"><institution>Белорусский государственный университет; Институт физико-химических проблем Белорусского государственного университета</institution></aff><aff xml:lang="en"><institution>Belarusian State University; Institute for Physical Chemical Problems of the Belarusian State University</institution></aff></aff-alternatives><aff-alternatives id="aff-3"><aff xml:lang="ru"><institution>Белорусский государственный университет; ООО “Мой медицинский центр — высокие технологии”</institution></aff><aff xml:lang="en"><institution>Belarusian State University; LLC “My Medical Center — High Technologies”</institution></aff></aff-alternatives><aff-alternatives id="aff-4"><aff xml:lang="ru"><institution>ОАО “ИНТЕГРАЛ” — управляющая компания холдинга “ИНТЕГРАЛ”</institution></aff><aff xml:lang="en"><institution>JSC “INTEGRAL” — “INTEGRAL” Holding Managing Company</institution></aff></aff-alternatives><aff-alternatives id="aff-5"><aff xml:lang="ru"><institution>Научно-практический центр НАН Беларуси по материаловедению</institution></aff><aff xml:lang="en"><institution>Scientific-Practical Materials Research Centre,  National Academy of Sciences of Belarus</institution></aff></aff-alternatives><pub-date pub-type="collection"><year>2024</year></pub-date><pub-date pub-type="epub"><day>27</day><month>04</month><year>2024</year></pub-date><volume>91</volume><issue>2</issue><fpage>221</fpage><lpage>226</lpage><permissions><copyright-statement>Copyright &amp;#x00A9; Просолович В.С., Бринкевич Д.И., Гринюк Е.В., Бринкевич С.Д., Колос В.В., Зубова О.А., Ластовский С.Б., 2024</copyright-statement><copyright-year>2024</copyright-year><copyright-holder xml:lang="ru">Просолович В.С., Бринкевич Д.И., Гринюк Е.В., Бринкевич С.Д., Колос В.В., Зубова О.А., Ластовский С.Б.</copyright-holder><copyright-holder xml:lang="en">Prosolovich V.S., Brinkevich D.I., Grinyuk E.V., Brinkevich S.D., Kolos V.V., Zubova O.A., Lastovskii S.B.</copyright-holder><license xml:lang="ru" license-type="creative-commons-attribution" xlink:href="https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/" xlink:type="simple"><license-p>Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.</license-p></license><license xml:lang="en" license-type="creative-commons-attribution" xlink:href="https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/" xlink:type="simple"><license-p>This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.</license-p></license></permissions><self-uri xlink:href="https://zhps.ejournal.by/jour/article/view/1523">https://zhps.ejournal.by/jour/article/view/1523</self-uri><abstract><p>Исследованы спектры нарушенного полного внутреннего отражения пленок полиимида PI2610, сформированных на пластинах монокристаллического кремния методом центрифугирования. Облучение электронами с энергией 5 МэВ проведено на линейном ускорителе в интервале доз 1 · 1014— 2 · 1015 cм–2. Наиболее интенсивными в спектре полиимидных пленок PI2610 являются полосы колебаний связи C-N-Cst имидного цикла (1349 см–1), колебаний ароматического кольца (1517 см–1), валентных колебаний группы C=Ostr имидного цикла (1700 см–1) и валентных колебаний С-С-связи  в СО-Сst-группе (1074 см–1), а также полосы деформационных колебаний С-Н-связей с максимумами при 734 и 828 см–1. При начальной дозе 1 · 1014 cм–2 наблюдалось изменение спектральной формы  и интенсивности полос с максимумами при 1700 и 1349 см–1, соответствующих колебаниям С=О-  и C=N-Cstr-групп. Предполагается, что это обусловлено релаксацией метастабильных состояний указанных групп. При дозе 2 · 1015 cм–2 обнаружено уменьшение интенсивности полос, соответствующих асимметричным и симметричным валентным колебаниям С-Н2-связей. Интенсивность полос нарушенного полного внутреннего отражения, обусловленных колебаниями С=О- и С-N-связей ароматических и имидных циклов, практически не изменялась.</p><p>Ключевые слова: ··.</p></abstract><trans-abstract xml:lang="en"><p>The spectra of attenuated total reflection of polyimide PI-2610 films deposited on single-crystal silicon wafers by centrifugation are studied. The films were irradiated by electrons with energy of 5 MeV on a linear electron accelerator at doses of 1 · 1014–2 · 1015 cm–2. The most intense in the spectrum of PI-2610 polyimide films are the C-N-Cst vibration bands of the imide ring (1349 cm–1), aromatic ring vibrations (1517 cm–1), C=Ostr stretching vibrations of the imide ring group (1700 cm–1), and stretching vibrations of C-C bonds in the CO-Cst group (1074 cm–1), as well as bands of bending vibrations of C-H bonds with maxima at 734 and 828 cm–1. At an initial dose of 1 · 1014 cm–2, a change in the spectral shape and intensity of the bands with maxima at 1700 and 1349 cm–1, caused by vibrations of the C=0 and C=N-Cstr groups, was observed. It is assumed that this is due to the relaxation of the metastable states of these groups. At a dose of 2 · 1015 cm–2,  a decrease in the intensity of bands caused by asymmetric and symmetric stretching vibrations of C-H2 bonds was detected. The intensity of the ATR bands caused by vibrations of C=O and C-N bonds, aromatic and imide rings remained practically unchanged. </p></trans-abstract><kwd-group xml:lang="ru"><kwd>полиимид PI-2610</kwd><kwd>кремний</kwd><kwd>облучение электронами</kwd><kwd>нарушенное полное внутреннее отражение</kwd></kwd-group><kwd-group xml:lang="en"><kwd>polyimide PI-2610</kwd><kwd>silicon</kwd><kwd>electron irradiation</kwd><kwd>attenuated total reflection</kwd></kwd-group></article-meta></front><back><ref-list><title>References</title><ref id="cit1"><label>1</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">M. Zawierta, M. Martyniuk, R. D. Jeffery, G. Putrino, A. Keating, K. K. M. B. Dilusha Silva, L. Faraone. J. Microelectromech. Systems, 26, N 3 (2017) 593—600</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">M. Zawierta, M. Martyniuk, R. D. Jeffery, G. Putrino, A. Keating, K. K. M. B. Dilusha Silva, L. Faraone. J. Microelectromech. Systems, 26, N 3 (2017) 593—600</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit2"><label>2</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">А. А. Жуков, С. А. Жукова, Ю. С. Четверов, П. Г. Бабаевский. Прикл. физика, № 6 (2005) 154—159</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">А. А. Жуков, С. А. Жукова, Ю. С. Четверов, П. Г. Бабаевский. Прикл. физика, № 6 (2005) 154—159</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit3"><label>3</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">В. В. Коршак, В. В. Ляшевич, В. В. Родэ, Я. С. Выгодский. Высокомол. соединения, А22, № 11 (1980) 2559—2566</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">В. В. Коршак, В. В. Ляшевич, В. В. Родэ, Я. С. Выгодский. Высокомол. соединения, А22, № 11 (1980) 2559—2566</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit4"><label>4</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">С. Д. Бринкевич, Е. В. Гринюк, Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович. ХВЭ, 54, № 5 (2020) 377—386 [S. D. Brinkevich, E. V. Grinyuk, D. I. Brinkevich, V. S. Prosolovich. High Energy Chemistry, 54, N 5 (2020) 342—351]</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">С. Д. Бринкевич, Е. В. Гринюк, Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович. ХВЭ, 54, № 5 (2020) 377—386 [S. D. Brinkevich, E. V. Grinyuk, D. I. Brinkevich, V. S. Prosolovich. High Energy Chemistry, 54, N 5 (2020) 342—351]</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit5"><label>5</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Б. Н. Тарасевич. ИК спектры основных классов органических соединений. Справочные материалы, Москва, МГУ (2012)</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Б. Н. Тарасевич. ИК спектры основных классов органических соединений. Справочные материалы, Москва, МГУ (2012)</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit6"><label>6</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">А. А. Харченко, Ю. А. Федотова, И. А. Зур, Д. И. Бринкевич, С. Д. Бринкевич, Е. В. Гринюк, В. С. Просолович, С. А. Мовчан, Г. Е. Ремнев, C. А. Линник, С. Б. Ластовский. ХВЭ, 56, № 5 (2022) 378—387 [A. A. Kharchenko, Yu. A. Fedotova, I. A. Zur, D. I. Brinkevich, S. D. Brinkevich, E. V. Grinyuk, V. S. Prosolovich, S. A. Movchan, G. E. Remnev, S. A. Linnik, S. B. Lastovskii. High Energy Chemistry, 56, N 5 (2022) 354—362]</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">А. А. Харченко, Ю. А. Федотова, И. А. Зур, Д. И. Бринкевич, С. Д. Бринкевич, Е. В. Гринюк, В. С. Просолович, С. А. Мовчан, Г. Е. Ремнев, C. А. Линник, С. Б. Ластовский. ХВЭ, 56, № 5 (2022) 378—387 [A. A. Kharchenko, Yu. A. Fedotova, I. A. Zur, D. I. Brinkevich, S. D. Brinkevich, E. V. Grinyuk, V. S. Prosolovich, S. A. Movchan, G. E. Remnev, S. A. Linnik, S. B. Lastovskii. High Energy Chemistry, 56, N 5 (2022) 354—362]</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit7"><label>7</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">С. А. Вабищевич, Н. В. Вабищевич, Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович, В. В. Колос, О. А. Зубова. Вестн. Полоц. гос. ун-та. Серия С. Фундамент. науки. Физика, № 11 (2022) 53—58</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">С. А. Вабищевич, Н. В. Вабищевич, Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович, В. В. Колос, О. А. Зубова. Вестн. Полоц. гос. ун-та. Серия С. Фундамент. науки. Физика, № 11 (2022) 53—58</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit8"><label>8</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Э. Преч, Ф. Бюльманн, К. Аффольтер. Определение строения органических соединений. Таблицы спектральных данных, Москва, Мир, Бином (2006)</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Э. Преч, Ф. Бюльманн, К. Аффольтер. Определение строения органических соединений. Таблицы спектральных данных, Москва, Мир, Бином (2006)</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit9"><label>9</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">I. Poljansek, U. Sebenik, M. Krajnc. J. Appl. Polymer Sci., 99 (2006) 2016—2028</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">I. Poljansek, U. Sebenik, M. Krajnc. J. Appl. Polymer Sci., 99 (2006) 2016—2028</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit10"><label>10</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">С. Д. Бринкевич, Е. В. Гринюк, Р. Л. Свердлов, Д. И. Бринкевич, В. С.Просолович, А. Н. Петлицкий. Журн. прикл. спектр., 87, № 4 (2020) 589—594 [S. D. Brinkevich, E. V. Grinyuk, D. I. Brinkevich, R. L. Sverdlov, V. S. Prosolovich, A. N. Pyatlitski. J. Appl. Spectr., 87, N 4 (2020) 647—651]</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">С. Д. Бринкевич, Е. В. Гринюк, Р. Л. Свердлов, Д. И. Бринкевич, В. С.Просолович, А. Н. Петлицкий. Журн. прикл. спектр., 87, № 4 (2020) 589—594 [S. D. Brinkevich, E. V. Grinyuk, D. I. Brinkevich, R. L. Sverdlov, V. S. Prosolovich, A. N. Pyatlitski. J. Appl. Spectr., 87, N 4 (2020) 647—651]</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit11"><label>11</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">В. Б. Оджаев, А. Н. Петлицкий, В. С. Просолович, Н. С. Ковальчук, Я. А. Соловьев, Д. В. Жигулин, Д. В. Шестовский, Ю. Н. Янковский, Д. И. Бринкевич. Журн. прикл. спектр., 89, № 4 (2022) 498—504 [V. B. Odzhaev, A. N. Pyatlitski, V. S. Prosolovich, N. S. Kovalchuk, Ya. A. Soloviev, D. V. Zhygulin, D. V. Shestovsky, Yu. N. Yankovski, D. I. Brinkevich. J. Appl. Spectr., 89, N 4 (2022) 665—670]</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">В. Б. Оджаев, А. Н. Петлицкий, В. С. Просолович, Н. С. Ковальчук, Я. А. Соловьев, Д. В. Жигулин, Д. В. Шестовский, Ю. Н. Янковский, Д. И. Бринкевич. Журн. прикл. спектр., 89, № 4 (2022) 498—504 [V. B. Odzhaev, A. N. Pyatlitski, V. S. Prosolovich, N. S. Kovalchuk, Ya. A. Soloviev, D. V. Zhygulin, D. V. Shestovsky, Yu. N. Yankovski, D. I. Brinkevich. J. Appl. Spectr., 89, N 4 (2022) 665—670]</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit12"><label>12</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">S. Diaham, M.-L. Locatelli, R. Khazak. High Performance Polymers – Polyimides Based. From Chemistry to Applications, Ed. Marc Abadie (2012), doi: 10.5772/53994</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">S. Diaham, M.-L. Locatelli, R. Khazak. High Performance Polymers – Polyimides Based. From Chemistry to Applications, Ed. Marc Abadie (2012), doi: 10.5772/53994</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit13"><label>13</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">С. Д. Бринкевич, Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович, Р. Л. Свердлов. ХВЭ, 55, № 1 (2021) 66—75 [S. D. Brinkevich, D. I. Brinkevich, V. S. Prosolovich, R. L. Sverdlov. High Energy Chemistry, 55, N 1 (2021) 65—74]</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">С. Д. Бринкевич, Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович, Р. Л. Свердлов. ХВЭ, 55, № 1 (2021) 66—75 [S. D. Brinkevich, D. I. Brinkevich, V. S. Prosolovich, R. L. Sverdlov. High Energy Chemistry, 55, N 1 (2021) 65—74]</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit14"><label>14</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">В. В. Петров, Ю. А. Пупков. ЖТФ, 86, № 7 (2016) 65—68 [V. V. Petrov, Yu. A. Pupkov. Technical Physics, 61, N 7 (2016) 1023—1026]</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">В. В. Петров, Ю. А. Пупков. ЖТФ, 86, № 7 (2016) 65—68 [V. V. Petrov, Yu. A. Pupkov. Technical Physics, 61, N 7 (2016) 1023—1026]</mixed-citation></citation-alternatives></ref></ref-list><fn-group><fn fn-type="conflict"><p>The authors declare that there are no conflicts of interest present.</p></fn></fn-group></back></article>
