zhpsЖурнал прикладной спектроскопииZhurnal Prikladnoii Spektroskopii0514-7506B. I. Stepanov Institute of Physics of the National Academy of Scienceszhps-1755Research ArticleСПЕКТРОСКОПИЯ ТВЕРДЫХ ТЕЛSPECTROSCOPY OF SOLIDSМорфология поверхности, оптические и электрофизические свойства пьезокерамических пленок, полученных методом лазерного осаждения в вакуумеSURFACE MORPHOLOGY, OPTICAL AND ELECTROPHYSICAL PROPERTIES OF PIEZOCERAMIC FILMS OBTAINED BY LASER DEPOSITION IN VACUUMБосакН. А.BosakN. A.

Минск

Minsk

n.bosak@ifanbel.bas-net.byБушинскийМ. В.BushinskyM. V.

Минск

Minsk

bushinsky@physics.byЧоботА. Н.ChobotA. N.

Минск

Minsk

БаранЛ. В.BaranL. V.

Минск

Minsk

baran@bsu.byМалютина-БронскаяВ. В.Malyutina-BronskayaV. V.

Минск

Minsk

malyutina@oelt.basnet.byТаратынИ. А.TaratynI. A.

Минск

Minsk

Институт физики НАН БеларусиB. I. Stepanov Institute of Physics of the National Academy of Sciences of BelarusГНПО “Научно-практический центр НАН Беларуси по материаловедению”SSPA “Scientific and Practical Center of the National Academy of Sciences of Belarus for Materials Science”Белорусский государственный университетBelarusian State UniversityГНПО “Оптика, оптоэлектроника и лазерная техника”SSPA “Optics, Optoelectronics and Laser Technology”Белорусский национальный технический университетBelarusian National Technical University2025070220259215964Copyright © Босак Н.А., Бушинский М.В., Чобот А.Н., Баран Л.В., Малютина-Бронская В.В., Таратын И.А., 20252025Босак Н.А., Бушинский М.В., Чобот А.Н., Баран Л.В., Малютина-Бронская В.В., Таратын И.А.Bosak N.A., Bushinsky M.V., Chobot A.N., Baran L.V., Malyutina-Bronskaya V.V., Taratyn I.A.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://zhps.ejournal.by/jour/article/view/1755

Методом высокочастотного импульсно-периодического (f ~ 10—12 кГц) воздействия лазерного излучения с длиной волны 1.064 мкм и плотностью мощности q = 33 МВт/см2 на пьезокерамику ЦТС-19 при давлении в вакуумной камере p = 2.2 * 10–2 мм рт. ст. получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой и стеклянной подложках. С помощью атомно-силовой микроскопии изучена морфология тонких пьезокермических пленок. Исследованы спектры пропускания пленок в видимой, ближней и средней ИК-областях. Проведен анализ электрофизических свойств структуры ЦТС-19/Si на кремниевой подложке. 

By the method of high-frequency repetitively pulsed f ~ 10–12 kHz laser radiation with wavelength λ = 1.064 μm and power density q = 33 MW/cm2  on the piezoceramics PZT-19 target at pressure in the vacuum chamber p = 2.2 * 10–2 mm Hg nanostructured thin films on a silicon and glass substrates have been obtained. The morphology of thin piezoceramics films was studied using atomic force microscopy. Transmission spectra of the obtained films were investigated in the visible, near and mid-IR regions. The electrophysical characteristics of piezoceramics on Si structures are analyzed. 

высокочастотное лазерное воздействиеструктура тонких пленокспектры пропускания и отраженияэлектрофизические характеристикиhigh-frequency laser irradiationstructure of thin filmstransmission and reflection spectraelectrophysical characteristicsReferencesS. Baba, H. Tsuda, J. Akedo. IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 55, N 5 (2008) 1009—1016S. Baba, H. Tsuda, J. Akedo. IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 55, N 5 (2008) 1009—1016K. Y. Choi, T. S. Kim, D. K. Choi, J. Y. Park, D. S. Yoon. Integrated Ferroelectrics, 69, N 1 (2005) 93—101K. Y. Choi, T. S. Kim, D. K. Choi, J. Y. Park, D. S. Yoon. Integrated Ferroelectrics, 69, N 1 (2005) 93—101S. K. Pandey, A. R. James, C. Prakash, T. C. Goel, K. Zimik. Mater. Sci. Eng., B, 112, N 1 (2004) 96—100S. K. Pandey, A. R. James, C. Prakash, T. C. Goel, K. Zimik. Mater. Sci. Eng., B, 112, N 1 (2004) 96—100V. V. Petrov, Y. N. Varzarev, A. S. Kamentsev, A. A. Rozhko, O. A. Pakhomova. Nano Hybrids and Composites, 28 (2020) 65—70V. V. Petrov, Y. N. Varzarev, A. S. Kamentsev, A. A. Rozhko, O. A. Pakhomova. Nano Hybrids and Composites, 28 (2020) 65—70L. S. Jang, K. C. Kuo. Sensors, 7, N 4 (2007) 493—507L. S. Jang, K. C. Kuo. Sensors, 7, N 4 (2007) 493—507S. R. Krishnamoorthi, K. S. Venkatesh, R. Ilangovan. Adv. Cond. Matter Phys., 2013 (2013) 1—6S. R. Krishnamoorthi, K. S. Venkatesh, R. Ilangovan. Adv. Cond. Matter Phys., 2013 (2013) 1—6S. R. Krishnamoorthi, K. S. Venkatesh, R. Ilangovan. J. Ovonic Res., 9, N 3 (2013) 81—88S. R. Krishnamoorthi, K. S. Venkatesh, R. Ilangovan. J. Ovonic Res., 9, N 3 (2013) 81—88J. Hong, H. W. Song, S. Hong, H. Shin, K. No. J. Appl. Phys., 92 (2002) 7434—7441J. Hong, H. W. Song, S. Hong, H. Shin, K. No. J. Appl. Phys., 92 (2002) 7434—7441N. Izyumskaya, Y. I. Alivov, S. J. Cho, H. Morkoç, H. Lee, Y. S. Kang. Critical Reviews in Solid State and Materials Sciences, 32, N 3-4 (2007) 111—202N. Izyumskaya, Y. I. Alivov, S. J. Cho, H. Morkoç, H. Lee, Y. S. Kang. Critical Reviews in Solid State and Materials Sciences, 32, N 3-4 (2007) 111—202G. D. Shilpa, K. Sreelakshmi, M. G. Ananthaprasad. IOP Conference Series: Materials Science and Engineering, 149 (2016) 012190G. D. Shilpa, K. Sreelakshmi, M. G. Ananthaprasad. IOP Conference Series: Materials Science and Engineering, 149 (2016) 012190T. Ito, T. Nishi, T. Umegaki, H. Hida, I. Kanno. J. Phys.: Conference Series, 1052 (2018) 012094T. Ito, T. Nishi, T. Umegaki, H. Hida, I. Kanno. J. Phys.: Conference Series, 1052 (2018) 012094B. Beklešovas, A. Iljinas, V. Stankus, J. Čyvienė, M. Andrulevičius, M. Ivanov, J. Banys. Coatings, 12 (2022) 717B. Beklešovas, A. Iljinas, V. Stankus, J. Čyvienė, M. Andrulevičius, M. Ivanov, J. Banys. Coatings, 12 (2022) 717А. М. Солодуха, И. Е. Шрамченко, А. М. Ховив, В. А. Логачева. ФТТ, 49, № 4 (2007) 719—722А. М. Солодуха, И. Е. Шрамченко, А. М. Ховив, В. А. Логачева. ФТТ, 49, № 4 (2007) 719—722Экспресс-информация по зарубежной электронной технике, вып. 17 (6691) от 29 августа 2019 г. (2019)Экспресс-информация по зарубежной электронной технике, вып. 17 (6691) от 29 августа 2019 г. (2019)Л. Я. Минько, А. Н. Чумаков, Н. А. Босак. Квант. электрон., 17, № 11 (1990) 1480—1484Л. Я. Минько, А. Н. Чумаков, Н. А. Босак. Квант. электрон., 17, № 11 (1990) 1480—1484А. Н. Магунов, О. В. Лукин. Микроэлектроника, 25, № 2 (1996) 97—111А. Н. Магунов, О. В. Лукин. Микроэлектроника, 25, № 2 (1996) 97—111В. Н. Игумнов. Физические основы микроэлектроники: учебное пособие, изд. 2-е, Марийский государственный технический университет, Йошкар-Ола (2010)В. Н. Игумнов. Физические основы микроэлектроники: учебное пособие, изд. 2-е, Марийский государственный технический университет, Йошкар-Ола (2010)М. В. Каменщиков, А. В. Солнышкин, А. А. Богомолов, И. П. Пронин. ФТТ, 53, № 10 (2011) 1975—1979М. В. Каменщиков, А. В. Солнышкин, А. А. Богомолов, И. П. Пронин. ФТТ, 53, № 10 (2011) 1975—1979

The authors declare that there are no conflicts of interest present.