zhpsЖурнал прикладной спектроскопииZhurnal Prikladnoii Spektroskopii0514-7506B. I. Stepanov Institute of Physics of the National Academy of Scienceszhps-1809Research ArticleСПЕКТРОСКОПИЯ НАНОСТРУКТУРSPECTROSCOPY OF NANOSTRUCTUREМорфология поверхности, оптические и электрофизические свойства пленок ванадата иттрия YVO4Surface Morphology, Optical and Electrophysical Properties of YVO4 FilmsБосакН. А.BosakN. A.

Минск

Minsk

n.bosak@ifanbel.bas-net.byЧумаковА. Н.ChumakovA. N.

Минск

Minsk

БаранЛ. В.BaranL. V.

Минск

Minsk

Малютина-БронскаяВ. В.Malyutina-BronskayaV. V.

Минск

Minsk

malyutina@oelt.basnet.byРайченокТ. Ф.RaichenokT. F.

Минск

Minsk

ИвановА. А.IvanovA. A.

Минск

Minsk

КирисВ. В.KirisV. V.

Минск

Minsk

ДятловаЕ. М.DyatlovaE. M.

Минск

Minsk

ШевченокА. А.ShevchenokA. A.

Минск

Minsk

БукаА. В.BukaA. V.

Минск

Minsk

КузьмицкаяА. С.KuzmitskayaA. S.

Минск

Minsk

Институт физики НАН БеларусиB. I. Stepanov Institute of Physics of the National Academy of Sciences of BelarusБелорусский государственный университетBelarusian State UniversityГНПО “Оптика, оптоэлектроника и лазерная техника”SSPA “Optics, Optoelectronics and Laser Technology”Белорусский государственный технологический университетBelarusian State Technological UniversityБелорусский государственный аграрный технический университетBelarusian State Agrarian Technical University202527032025922198203Copyright © Босак Н.А., Чумаков А.Н., Баран Л.В., Малютина-Бронская В.В., Райченок Т.Ф., Иванов А.А., Кирис В.В., Дятлова Е.М., Шевченок А.А., Бука А.В., Кузьмицкая А.С., 20252025Босак Н.А., Чумаков А.Н., Баран Л.В., Малютина-Бронская В.В., Райченок Т.Ф., Иванов А.А., Кирис В.В., Дятлова Е.М., Шевченок А.А., Бука А.В., Кузьмицкая А.С.Bosak N.A., Chumakov A.N., Baran L.V., Malyutina-Bronskaya V.V., Raichenok T.F., Ivanov A.A., Kiris V.V., Dyatlova E.M., Shevchenok A.A., Buka A.V., Kuzmitskaya A.S.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://zhps.ejournal.by/jour/article/view/1809

Методом высокочастотного импульсно-периодического (f ~ 13 кГц) воздействия лазерного излучения с длиной волны 1.064 мкм и плотностью мощности q = 64 МВт/см2 на керамику ванадата иттрия YVO4 при давлении в вакуумной камере p = 3 Па получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой подложке. Методом атомно-силовой микроскопии изучена морфология тонких пленок YVO4. Получены спектры пропускания пленок в видимой, ближней и средней ИК-областях. Проведен анализ электрофизических свойств структуры YVO4/Si.

Nanostructured thin films on silicon substrate were obtained by high-frequency pulse-periodic (f ~ 13 kHz) action of laser radiation with a wavelength of 1.064 μm and a power density of q = 64 MW/cm2 on yttrium vanadate YVO4 ceramics at a pressure in vacuum chamber of p = 3 Pa. The morphology of thin YVO4 films was studied using atomic force microscopy. Transmission spectra of YVO4 films were obtained in the visible, near and mid-IR regions. The electrophysical characteristics of YVO4 /Si structures were analyzed.

высокочастотное лазерное воздействиеструктура тонких пленокспектры пропускания и отраженияэлектрофизические характеристикиhigh-frequency laser irradiationstructure of thin filmstransmission and reflection spectraelectrophysical characteristicsReferencesC. H. Huang, G. Zhang, Y. Wei, L. X. Huang, H. Y. Zhu, X. J. Huang. Optik – Int. J. Light and Electron Optics, 121, N 7 (2010) 595—598, doi: 10.1016/j.ijleo.2008.09.0C. H. Huang, G. Zhang, Y. Wei, L. X. Huang, H. Y. Zhu, X. J. Huang. Optik – Int. J. Light and Electron Optics, 121, N 7 (2010) 595—598, doi: 10.1016/j.ijleo.2008.09.0M. N. Getz, O. Nilsen, P. A. Hansen. Sci. Rep., 9 (2019) 10247(1—9), doi: 10.1038/s41598-019-46694-8M. N. Getz, O. Nilsen, P. A. Hansen. Sci. Rep., 9 (2019) 10247(1—9), doi: 10.1038/s41598-019-46694-8T. Chen, H. Zhang, Z. Luo, J. Liang, X. Facile Wu. Coatings, 12, N 4 (2022) 461, doi: 10.3390/coatings12040461T. Chen, H. Zhang, Z. Luo, J. Liang, X. Facile Wu. Coatings, 12, N 4 (2022) 461, doi: 10.3390/coatings12040461S. Georgescu, A. M. Voiculescu, E. Cotoi, O. Toma, L. Gheorghe, A. Achim, M. Osiac. ROMOPTO 2009: Ninth Conference on Optics: Micro- to Nanophotonics, II, 74690С (2009), doi: 10.1117/12.866769S. Georgescu, A. M. Voiculescu, E. Cotoi, O. Toma, L. Gheorghe, A. Achim, M. Osiac. ROMOPTO 2009: Ninth Conference on Optics: Micro- to Nanophotonics, II, 74690С (2009), doi: 10.1117/12.866769D. R. Milev, P. A. Atanasov, A. O. Dikovska, I. G. Dimitrov, K. P. Petrov, G. V. Avdeev. Appl. Surface Sci., 253, N 19 (2007) 8250—8253, doi: 10.1016/j.apsusc.2007.02.110D. R. Milev, P. A. Atanasov, A. O. Dikovska, I. G. Dimitrov, K. P. Petrov, G. V. Avdeev. Appl. Surface Sci., 253, N 19 (2007) 8250—8253, doi: 10.1016/j.apsusc.2007.02.110S. Yi, J. S. Bae, B. C. Choi, K. S. Shim, H. K. Yang, B. K. Moon, J. H. Kim. Opt. Mater., 28, N 6-7 (2006) 703—708, doi: 10.1016/j.optmat.2005.09.04S. Yi, J. S. Bae, B. C. Choi, K. S. Shim, H. K. Yang, B. K. Moon, J. H. Kim. Opt. Mater., 28, N 6-7 (2006) 703—708, doi: 10.1016/j.optmat.2005.09.04P. Kumari, P. K. Baitha, J. Manam. Indian J. Phys., 89, N 12 (2015) 1297—1306, doi: 10.1007/s12648-015-0712-xP. Kumari, P. K. Baitha, J. Manam. Indian J. Phys., 89, N 12 (2015) 1297—1306, doi: 10.1007/s12648-015-0712-xA. Klausch, H. Althues, T. Freudenberg, S. Kaskel. Thin Solid Films, 520, N 13 (2012) 4297—4301, doi: 10.1016/j.tsf.2012.02.062A. Klausch, H. Althues, T. Freudenberg, S. Kaskel. Thin Solid Films, 520, N 13 (2012) 4297—4301, doi: 10.1016/j.tsf.2012.02.062S. N. Ogugua, O. M. Ntwaeaborwa, H. C. Swart. Coatings, 10, N 11 (2020) 1078, doi: 10.3390/coatings10111078S. N. Ogugua, O. M. Ntwaeaborwa, H. C. Swart. Coatings, 10, N 11 (2020) 1078, doi: 10.3390/coatings10111078G. Bai, H. Zhang, C. Foster. Thin Solid Films, 325, N 1-2 (1998) 115—122, doi: 10.1016/s0040-6090(98)00508-2G. Bai, H. Zhang, C. Foster. Thin Solid Films, 325, N 1-2 (1998) 115—122, doi: 10.1016/s0040- 6090(98)00508-2Cho Shinho. Appl. Phys. A, 127 (2021) 161, doi: 10.1007/s00339-021-04308-zCho Shinho. Appl. Phys. A, 127 (2021) 161, doi: 10.1007/s00339-021-04308-zF. Wang, S. N. Zhu, K. W. Cheah. J. Appl. Phys., 99 (2006) 096103, doi: 10.1063/1.2192147F. Wang, S. N. Zhu, K. W. Cheah. J. Appl. Phys., 99 (2006) 096103, doi: 10.1063/1.2192147И. А. Наговицын, Г. К. Чудинова, А. И. Зубов, Е. В. Зведеев, Ю. М. Таиров, В. А. Мошников, И. Е. Кононова, В. В. Курилкин. Хим. физика, 35, № 7 (2016) 55—59И. А. Наговицын, Г. К. Чудинова, А. И. Зубов, Е. В. Зведеев, Ю. М. Таиров, В. А. Мошников, И. Е. Кононова, В. В. Курилкин. Хим. физика, 35, № 7 (2016) 55—59Л. Я. Минько, А. Н. Чумаков, Н. А. Босак. Квант. электрон., 17, № 11 (1990) 1480—1484Л. Я. Минько, А. Н. Чумаков, Н. А. Босак. Квант. электрон., 17, № 11 (1990) 1480—1484А. Н. Магунов, О. В. Лукин. Микроэлектроника, 25, № 2 (1996) 97—111А. Н. Магунов, О. В. Лукин. Микроэлектроника, 25, № 2 (1996) 97—111В. А. Гуртов. Электронные процессы в структурах металл–диэлектрик–полупроводник, Петрозаводск, ПГУ (1984)В. А. Гуртов. Электронные процессы в структурах металл–диэлектрик–полупроводник, Петрозаводск, ПГУ (1984)М. Я. Ходос, Б. В. Шульгин, Ф. Ф. Гаврилов, А. А. Фотиев, В. М. Лиознянский. Журн. прикл. спектр., 16, № 6 (1972) 1023—1028М. Я. Ходос, Б. В. Шульгин, Ф. Ф. Гаврилов, А. А. Фотиев, В. М. Лиознянский. Журн. прикл. спектр., 16, № 6 (1972) 1023—1028H. J. Rajendra, C. Pandurangappa. Nanosci. Nanotech. Res., 4, N 2 (2017) 43—48, doi: 10.12691/nnr-4-2-2H. J. Rajendra, C. Pandurangappa. Nanosci. Nanotech. Res., 4, N 2 (2017) 43—48, doi: 10.12691/nnr-4-2-2W. Xu, Y. Wang, X. Bai, B. Dong, Q. Liu, J. Chen, H. Song. J. Phys. Chem. C, 114, N 33 (2010) 14W. Xu, Y. Wang, X. Bai, B. Dong, Q. Liu, J. Chen, H. Song. J. Phys. Chem. C, 114, N 33 (2010) 14

The authors declare that there are no conflicts of interest present.