zhpsЖурнал прикладной спектроскопииZhurnal Prikladnoii Spektroskopii0514-7506B. I. Stepanov Institute of Physics of the National Academy of Scienceszhps-1810Research ArticleСПЕКТРОСКОПИЯ ГАЗОВ И ПЛАЗМЫSPECTROSCOPY IN GAS AND PLASMAВлияние лазерного излучения на процесс образования налетов на поверхности оптических деталей, расположенных в герметизированном объемеInfluence of Laser Radiation on the Process of Film-Like Deposits Formation on the Surface of Optical Components Located in a Sealed VolumeАбрамовП. И.AbramovP. I.

Москва

Moscow

КузнецовЕ. В.KuznetsovE. V.

Москва

Moscow

СкворцовЛ. А.SkvortsovL. A.

Москва

Moscow

lskvortsov@gmail.comСкворцоваМ. И.SkvortsovaM. I.

Москва

Moscow

АО “НИИ “Полюс” им. М. Ф. Стельмаха”M. F. Stelmakh JSC “Polyus”АО “НИИ “Полюс” им. М. Ф. Стельмаха”; Российский технологический университет — МИРЭАM. F. Stelmakh JSC “Polyus”; MIREA — Russian Technological UniversityАО “НИИ “Полюс” им. М. Ф. Стельмаха”; Российский технологический университет — МИРЭА; Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)M. F. Stelmakh JSC “Polyus”; MIREA — Russian Technological University; Moscow Institute of Physics and Technology (National Research University)Российский технологический университет — МИРЭАMIREA — Russian Technological University202527032025922204210Copyright © Абрамов П.И., Кузнецов Е.В., Скворцов Л.А., Скворцова М.И., 20252025Абрамов П.И., Кузнецов Е.В., Скворцов Л.А., Скворцова М.И.Abramov P.I., Kuznetsov E.V., Skvortsov L.A., Skvortsova M.I.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://zhps.ejournal.by/jour/article/view/1810

Исследовано влияние лазерного излучения на процесс образования налетов на поверхности оптических деталей, расположенных в замкнутых объемах, содержащих герметизирующие компаунды типа ВГО-1, КЛТ-30, У-2-28, К-68. Для определения состава налетов применялись методы рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и ИК-спектроскопии; состава газовой среды — метод масс-спектрометрии. Исследованы кинетика образования налетов в зависимости от температуры среды и параметров лазерного излучения. Рассмотрены возможные механизмы образования налетов и методы их устранения.

The effect of laser radiation on the formation of film-like deposits on the surface of optical parts located in closed volumes containing sealing compounds such as VGO-1, KLT-30, U-2-28, K-68 has been studied. Methods of X-ray photoelectron spectroscopy and IR spectroscopy were used to determine the composition of the film-like deposits; the composition of the gas medium was determined by the method of mass spectrometry. The kinetics of film-like deposits formation is investigated depending on the temperature of the medium and the parameters of laser radiation. The possible mechanisms of the formation of film-like deposits and methods of their elimination are considered.

инфракрасная спектроскопиярентгеновская фотоэлектронная спектроскопиямасс-спектрометриягерметизированный объемналетылазерное излучениеinfrared spectroscopyX-ray photoelectron spectroscopymass spectrometrysealed volumefilm-like depositslaser radiationReferencesВ. А. Матвеев, М. А. Басараб, Б. С. Лунин, Р. А. Захарян, Е. А. Чуманкин. Машиностроение и компьютерные технологии, № 6 (2014) 222—231В. А. Матвеев, М. А. Басараб, Б. С. Лунин, Р. А. Захарян, Е. А. Чуманкин. Машиностроение и компьютерные технологии, № 6 (2014) 222—231М. А. Басараб, Р. А. Захарян, В. А. Крейсберг, Б. С. Лунин, В. А. Матвеев. Приборы и техника эксперимента, № 6 (2015) 108—112М. А. Басараб, Р. А. Захарян, В. А. Крейсберг, Б. С. Лунин, В. А. Матвеев. Приборы и техника эксперимента, № 6 (2015) 108—112В. И. Струнин, К. А. Белоусов, Г. Ж. Худайбергенов, Е. А. Чукавов, А. М. Ярош. Техника радиосвязи, № 3 (2018) 82—90В. И. Струнин, К. А. Белоусов, Г. Ж. Худайбергенов, Е. А. Чукавов, А. М. Ярош. Техника радиосвязи, № 3 (2018) 82—90С. А. Гарелина, Р. А. Захарян, М. А. Казарян, И. Н. Феофанов. Альтернативная энергетика и экология, 1, № 165 (2015) 85—96С. А. Гарелина, Р. А. Захарян, М. А. Казарян, И. Н. Феофанов. Альтернативная энергетика и экология, 1, № 165 (2015) 85—96B. S. Lunin, V. A. Kreisberg, R. A. Zakharyan, M. A. Basarab. Vacuum, 184 (2021) 109964B. S. Lunin, V. A. Kreisberg, R. A. Zakharyan, M. A. Basarab. Vacuum, 184 (2021) 109964С. Н. Гладких, Е. Н. Башарина, О. Л. Троицкая. Матер. конф. “Решетневские чтения”, 1, № 18 (2014) 106—110С. Н. Гладких, Е. Н. Башарина, О. Л. Троицкая. Матер. конф. “Решетневские чтения”, 1, № 18 (2014) 106—110Н. Н. Грошкова, В. Л. Дыляев, В. С. Наумов, О. Е. Сидорюк, Л. А. Скворцов, А. А. Якунин. Электронная техника. Сер. 11. Лазерная техника и оптоэлектроника, № 1 (1989) 46—50Н. Н. Грошкова, В. Л. Дыляев, В. С. Наумов, О. Е. Сидорюк, Л. А. Скворцов, А. А. Якунин. Электронная техника. Сер. 11. Лазерная техника и оптоэлектроника, № 1 (1989) 46—50А. В. Беликов, И. С. Клочков, И. В. Алексеев, С. А. Капралов. Науч.-тех. вестн. информ. технологий, механики и оптики, 21, № 2 (2021) 154—162А. В. Беликов, И. С. Клочков, И. В. Алексеев, С. А. Капралов. Науч.-тех. вестн. информ. технологий, механики и оптики, 21, № 2 (2021) 154—162А. В. Беликов, И. С. Клочков, И. В. Алексеев, С. А. Капралов. Науч.-тех. вестн. информ. технологий, механики и оптики, 22, № 1 (2022) 1—9А. В. Беликов, И. С. Клочков, И. В. Алексеев, С. А. Капралов. Науч.-тех. вестн. информ. технологий, механики и оптики, 22, № 1 (2022) 1—9C. W. Schneider, T. Lippert. Laser Ablation and Thin Film Deposition, Springer Series in Materials Science, 139 (2010) 89—112C. W. Schneider, T. Lippert. Laser Ablation and Thin Film Deposition, Springer Series in Materials Science, 139 (2010) 89—112H.-U. Krebs, M. Weisheit, J. Faupel, E. Süske, T. Scharf, C. Fuhse, M. Störmer, K. Sturm, M. Seibt, H. Kijewski, D. Nelke, E. Panchenko, M. Buback. Adv. Solid State Phys., 43 (2003) 505—518H.-U. Krebs, M. Weisheit, J. Faupel, E. Süske, T. Scharf, C. Fuhse, M. Störmer, K. Sturm, M. Seibt, H. Kijewski, D. Nelke, E. Panchenko, M. Buback. Adv. Solid State Phys., 43 (2003) 505—518A. Dler. Int. J. Modern Phys. Appl., 1, N 4 (2015) 193—199A. Dler. Int. J. Modern Phys. Appl., 1, N 4 (2015) 193—199K. Wasa, M. Kitabatake, H. Adechi. Thin Film Materials Technology: Sputtering of Compound Materials, Springer, William Andrew Inc publishing, New York (2004)K. Wasa, M. Kitabatake, H. Adechi. Thin Film Materials Technology: Sputtering of Compound Materials, Springer, William Andrew Inc publishing, New York (2004)В. Ю. Фоминский, Р. И. Романов, В. Н. Неволин, А. Г. Гнедовец. Перспективные материалы, № 2 (2011) 5—16В. Ю. Фоминский, Р. И. Романов, В. Н. Неволин, А. Г. Гнедовец. Перспективные материалы, № 2 (2011) 5—16О. Н. Долгов, М. Г. Воронков, М. П. Гринблат. Кремнийорганические каучуки и материалы на их основе, Ленинград, Химия (1976) 101—106О. Н. Долгов, М. Г. Воронков, М. П. Гринблат. Кремнийорганические каучуки и материалы на их основе, Ленинград, Химия (1976) 101—106К. Н. Кан, Л. Д. Николаевич, Л. Д. Гинзбург. Герметизация изделий полимерными материалами, Ленинград, Химия (1976) 17—24К. Н. Кан, Л. Д. Николаевич, Л. Д. Гинзбург. Герметизация изделий полимерными материалами, Ленинград, Химия (1976) 17—24Я. Я. Понуровский. Аналитика, 9, № 1 (2019) 68—74Я. Я. Понуровский. Аналитика, 9, № 1 (2019) 68—74Л. А. Скворцов. Квант. электрон., 42, № 1 (2012) 1—11Л. А. Скворцов. Квант. электрон., 42, № 1 (2012) 1—11Д. Васильев, М. Коняев, А. Ким, Л. Абрамов. Фотоника, 1 (2016) 70—83Д. Васильев, М. Коняев, А. Ким, Л. Абрамов. Фотоника, 1 (2016) 70—83А. Эшкин. Успехи физ. наук, 110, № 1 (1973) 101—116А. Эшкин. Успехи физ. наук, 110, № 1 (1973) 101—116И. О. Ковалева, О. Б. Ковалев. Прикл. механика и тех. физика, 53, № 1 (2012) 67—79И. О. Ковалева, О. Б. Ковалев. Прикл. механика и тех. физика, 53, № 1 (2012) 67—79В. Ф. Бункин, Н. А. Кириченко, Б. С. Лукьянчук. Изв. АН СССР, 46, № 6 (1982) 1150—1169В. Ф. Бункин, Н. А. Кириченко, Б. С. Лукьянчук. Изв. АН СССР, 46, № 6 (1982) 1150—1169Дж. Калверт, Дж. Питтс. Фотохимия, Москва, Мир (1968)Дж. Калверт, Дж. Питтс. Фотохимия, Москва, Мир (1968)

The authors declare that there are no conflicts of interest present.