zhpsЖурнал прикладной спектроскопииZhurnal Prikladnoii Spektroskopii0514-7506B. I. Stepanov Institute of Physics of the National Academy of Scienceszhps-1923Research ArticleСПЕКТРОСКОПИЯ ТВЕРДЫХ ТЕЛSPECTROSCOPY OF SOLIDSМорфология поверхности, оптические и электрофизические свойства пленок Nb2O5Surface Morphology, Optical, and Electrophysical Properties of Nb2O5 FilmsБосакН. А.BosakN. A.

Минск

Minsk

n.bosak@ifanbel.bas-net.byШпакП. В.ShpakP. V.

Минск

Minsk

ЧумаковА. Н.ChumakovA. N.

Минск

Minsk

БаранЛ. В.BaranL. V.

Минск

Minsk

baran@bsu.byМалютина-БронскаяВ. В.Malutina-BronskayaV. V.

Минск

Minsk

malyutina@oelt.basnet.byДробушВ. С.DrobushV. S.

Минск

Minsk

КузьмицкаяА. С.KuzmitskayaA. S.

Минск

Minsk

Институт физики НАН БеларусиB.I. Stepanov Institute of Physics of the National Academy of Sciences of BelarusБелорусский государственный университетBelarusian State UniversityГНПО “Оптика, оптоэлектроника и лазерная техника”SSPA “Optics, Optoelectronics, and Lazer Technology”202507092025924462468Copyright © Босак Н.А., Шпак П.В., Чумаков А.Н., Баран Л.В., Малютина-Бронская В.В., Дробуш В.С., Кузьмицкая А.С., 20252025Босак Н.А., Шпак П.В., Чумаков А.Н., Баран Л.В., Малютина-Бронская В.В., Дробуш В.С., Кузьмицкая А.С.Bosak N.A., Shpak P.V., Chumakov A.N., Baran L.V., Malutina-Bronskaya V.V., Drobush V.S., Kuzmitskaya A.S.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://zhps.ejournal.by/jour/article/view/1923

Представлены результаты комплексного исследования тонких пленок оксида ниобия Nb2O5, осажденных в вакууме (p = 2.2 Па) на кварцевую и кремниевую подложки при многоимпульсном высокочастотном (f ~ 10—12 кГц) лазерном воздействии на керамическую мишень при плотности мощности лазерного излучения q = 81 МВт/см2. Изучена морфология полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии, выявлены особенности спектров пропускания. Проведен анализ фотоэлектрических свойств структуры Nb2O5/Si.

The results of complex studies of thin Nb2O5 films were presented. Thin Nb2O5 films were deposited in vacuum (p = 2.2 Pa) on quartz and silicon substrates under multi-pulse high-frequency (f ~ 10–12 kHz) laser action on a ceramic target at laser power density of q = 81 MW/cm2. The morphology of the obtained films was studied using atomic force microscopy, the features of the transmission spectra were presented. The analysis of photoelectrical properties of Nb2O5/Si structure was carried out.

высокочастотное лазерное воздействиетонкая пленкаспектры пропускания и отражениявольт-амперные и вольт-фарадные характеристикиспектральная чувствительностьhigh-frequency laser actionthin filmtransmission and reflection spectracurrent-voltage and farad-voltage characteristicsspectral sensitivityReferencesE. Çetinörgü-Goldenberg, J.-E. Klemberg-Sapieha, L. Martinu. Appl. Opt., 51, N 27 (2012) 6498—6507E. Çetinörgü-Goldenberg, J.-E. Klemberg-Sapieha, L. Martinu. Appl. Opt., 51, N 27 (2012) 6498—6507A. V. Rosario, E. C. Pereira. Sol. Energy Mater. Sol. Cells, 71, N 1 (2002) 41—50A. V. Rosario, E. C. Pereira. Sol. Energy Mater. Sol. Cells, 71, N 1 (2002) 41—50C. C. Lee, C. L. Tien, J. C. Hsu. Appl. Opt., 41, N 10 (2002) 2043—2047C. C. Lee, C. L. Tien, J. C. Hsu. Appl. Opt., 41, N 10 (2002) 2043—2047В. Reichmann, A. J. Bard. J. Electrochem. Soc., 127, N 1 (1980) 241—242В. Reichmann, A. J. Bard. J. Electrochem. Soc., 127, N 1 (1980) 241—242J. B. Xia, N. Masaki, K. J. Jiang, S. J. Yanagida. Photochem. and Photobiol. A: Chemistry, 188, N 1 (2007) 120—127J. B. Xia, N. Masaki, K. J. Jiang, S. J. Yanagida. Photochem. and Photobiol. A: Chemistry, 188, N 1 (2007) 120—127M. E. Gimon-Kinsel, K. J. Balkus, Jr. Microporous and Mesoporous Materials, 28, N 1 (1999) 113—123M. E. Gimon-Kinsel, K. J. Balkus, Jr. Microporous and Mesoporous Materials, 28, N 1 (1999) 113—123F. Lai, M. Li, H. Wang, H. Hu, X. Wang, J. G. Hou, Y. Song, Y. Jiang. Thin Solid Films, 488, N 1-2 (2005) 314–320F. Lai, M. Li, H. Wang, H. Hu, X. Wang, J. G. Hou, Y. Song, Y. Jiang. Thin Solid Films, 488, N 1-2 (2005) 314–320Y. Zhao, X. Zhou, L. Ye, S. Chi Edman Tsang. Nano Rev., 3, N 1 (2012) 17631(1—11)Y. Zhao, X. Zhou, L. Ye, S. Chi Edman Tsang. Nano Rev., 3, N 1 (2012) 17631(1—11)Y. Huang, Y. Xu, S.-J. Ding, H.-L. Lu, Q.-Q. Sun, D. W. Zhang, Z. Chen. Appl. Surf. Sci., 257, N 16 (2011) 7305—7309Y. Huang, Y. Xu, S.-J. Ding, H.-L. Lu, Q.-Q. Sun, D. W. Zhang, Z. Chen. Appl. Surf. Sci., 257, N 16 (2011) 7305—7309R. A. Rani, A. S. Zoolfakar, A. P. O’Mullane, M. W. Austin, K. Kalantar-Zadeh. J. Mater. Chem. A, 2, N 38 (2014) 15683—15703R. A. Rani, A. S. Zoolfakar, A. P. O’Mullane, M. W. Austin, K. Kalantar-Zadeh. J. Mater. Chem. A, 2, N 38 (2014) 15683—15703N. C. Emeka, P. E. Imoisili, T.-C. Jen. Rev. Coatings, 10, N 12 (2020) 1246(1—28)N. C. Emeka, P. E. Imoisili, T.-C. Jen. Rev. Coatings, 10, N 12 (2020) 1246(1—28)R. Panetta, A. Latini, I. Pettiti, C. Cavallo. Mater. Chem. Phys., 202 (2017) 289—301R. Panetta, A. Latini, I. Pettiti, C. Cavallo. Mater. Chem. Phys., 202 (2017) 289—301R. Chandrasekharan, I. Park, R. I. Masel, M. A. Shannon. J. Appl. Phys., 98, N 11 (2005) 114908R. Chandrasekharan, I. Park, R. I. Masel, M. A. Shannon. J. Appl. Phys., 98, N 11 (2005) 114908J.-P. Masse, H. Szymanowski, O. Zabeida, A. Amassian, J. E. Klemberg-Sapieha, L. Martinu. Thin Solid Films, 515, N 4 (2006) 1674—1682J.-P. Masse, H. Szymanowski, O. Zabeida, A. Amassian, J. E. Klemberg-Sapieha, L. Martinu. Thin Solid Films, 515, N 4 (2006) 1674—1682H. Szymanowski, O. Zabeida, J. E. Klemberg-Sapieha, L. Martinu. J. Vac. Sci. Technol. A Vacu- um, Surfaces, Film, 23, N 2 (2005) 241—247H. Szymanowski, O. Zabeida, J. E. Klemberg-Sapieha, L. Martinu. J. Vac. Sci. Technol. A Vacu- um, Surfaces, Film, 23, N 2 (2005) 241—247S. H. Mujawar, A. I. Inamdar, S. B. Patil, P. S. Patil. Solid State Ionics, 177, N 37-38 (2006) 3333—3338S. H. Mujawar, A. I. Inamdar, S. B. Patil, P. S. Patil. Solid State Ionics, 177, N 37-38 (2006) 3333—3338A. M. Al-Baradi, M. M. El-Nahass, A. M. Hassanien, A. A. Atta, M. S. Alqahtani, A. O. Aldawsari. Optik (Stuttg), 168 (2018) 853—863A. M. Al-Baradi, M. M. El-Nahass, A. M. Hassanien, A. A. Atta, M. S. Alqahtani, A. O. Aldawsari. Optik (Stuttg), 168 (2018) 853—863R. Georgiev, B. Georgieva, M. Vasileva, P. Ivanov, T. Babeva. Adv. Cond. Matter Phys., 2015, (2015) 403196 (1—8)R. Georgiev, B. Georgieva, M. Vasileva, P. Ivanov, T. Babeva. Adv. Cond. Matter Phys., 2015, (2015) 403196 (1—8)E. T. Salim, H. T. Halboos. Mater. Res. Express, 6, N 6 (2019) 066401E. T. Salim, H. T. Halboos. Mater. Res. Express, 6, N 6 (2019) 066401M. Abood, E. T. Salim, J. A. Saimon. J. Ovonic Res., 15, N 2 (2019) 109—115M. Abood, E. T. Salim, J. A. Saimon. J. Ovonic Res., 15, N 2 (2019) 109—115E. T. Salim, J. A. Saimon, M. K. Abood, M. A. Fakhri. Opt. and Quantum Electron., 52, N 10 (2020) 463E. T. Salim, J. A. Saimon, M. K. Abood, M. A. Fakhri. Opt. and Quantum Electron., 52, N 10 (2020) 463А. Н. Чумаков, В. Б. Авраменко, Н. А. Босак. Журн. прикл. спектр., 79, № 2 (2012) 279—287A. N. Chumakov, V. B. Avramenko, N. A. Bosak. J. Appl. Spectr., 79, N 2 (2012) 261—268В. Ф. Кабанов, А. М. Свердлова, Д. А. Коротков. ФТП, 30, № 10 (1996) 1756—1760В. Ф. Кабанов, А. М. Свердлова, Д. А. Коротков. ФТП, 30, № 10 (1996) 1756—1760C. Van Opdorp, H. K. J. Kanerva. Solid State Electron., 10, N 5 (1967) 401—421C. Van Opdorp, H. K. J. Kanerva. Solid State Electron., 10, N 5 (1967) 401—421M. J. Cristea. Electron. Instrum. Eng. Int. J. (EEIEJ), 1, N 3 (2014) 29—38M. J. Cristea. Electron. Instrum. Eng. Int. J. (EEIEJ), 1, N 3 (2014) 29—38

The authors declare that there are no conflicts of interest present.