zhpsЖурнал прикладной спектроскопииZhurnal Prikladnoii Spektroskopii0514-7506B. I. Stepanov Institute of Physics of the National Academy of Scienceszhps-201Research ArticleСтатьиУЧЕТ ВЗАИМНОГО ВЛИЯНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ ПРИ РЕНТГЕНОФЛУОРЕСЦЕНТНОМ АНАЛИЗЕ ТОНКИХ ДВУХСЛОЙНЫХ Ti/V-СИСТЕМACCOUNT OF THE MUTUAL INFLUENCE OF ELEMENTS IN THE X-RAY FLUORESCENCE ANALYSIS OF THIN TWO-LAYER Ti/V-SYSTEMSМашинН. И.MashinN. I.mashin@chem.unn.ruРазуваевА. Г.RazuvaevA. G.noemail@neicon.ruЧерняеваЕ. А.CherniaevaE. A.noemail@neicon.ruГафароваЛ. М.GafarovaL. M.noemail@neicon.ruЕршовА. В.ErshovA. V.noemail@neicon.ruНациональный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. ЛобачевскогоN. I. Lobachevskii State University of Nizhni Novgorod201810032020851100107Copyright © Машин Н.И., Разуваев А.Г., Черняева Е.А., Гафарова Л.М., Ершов А.В., 20202020Машин Н.И., Разуваев А.Г., Черняева Е.А., Гафарова Л.М., Ершов А.В.Mashin N.I., Razuvaev A.G., Cherniaeva E.A., Gafarova L.M., Ershov A.V.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://zhps.ejournal.by/jour/article/view/201

Предложен новый способ определения толщины слоев при рентгенофлуоресцентном анализе двухслойных систем Ti/V с использованием простых в изготовлении унифицированных пленочных слоев, получаемых напылением титана на подложку из пленки полимера. Рассчитаны поправочные коэффициенты, учитывающие уровень ослабления интенсивности первичного излучения рентгеновской трубки и аналитической линии элемента нижнего слоя в верхнем слое и усиления интенсивности флуоресценции верхнего слоя излучением атомов нижнего.

A new XFA procedure of determining the thickness of layers in two-layer Ti/V-systems is proposed. It is based on the application of easy-to-make unified thin-film layers obtained by the method of sputtering titan on a polymer substrate. Correction coefficients are calculated, which permits to take into account the following factors: the absorption of primary radiation of the X-ray tube, the absorption of the analytical line of the element of the bottom layer in the top layer, and the strengthening of the fluorescence intensity of the top layer by the radiation of atoms of the bottom layer.

рентгенофлуоресцентный анализтонкая двухслойная пленкапоправочный коэффициентмассовый коэффициент поглощенияподложка из пленки полимераX-ray fluorescence analysisthin two-layer filmcorrection coefficientabsorption coefficientpolymer substrateReferencesЮ. А. Игнатова, А. Н. Еритенко, А. Г. Ревенко, А. Л. Цветянский. Аналитика и контроль, 15, № 2 (2011) 126-140Ю. А. Игнатова, А. Н. Еритенко, А. Г. Ревенко, А. Л. Цветянский. Аналитика и контроль, 15, № 2 (2011) 126-140В. Р. Дарашкевич, Б. А. Малюков, Г. М. Туровская. Журн. аналит. химии, 34, № 1 (1979) 138-141В. Р. Дарашкевич, Б. А. Малюков, Г. М. Туровская. Журн. аналит. химии, 34, № 1 (1979) 138-141B. Kanrar, K. Sanyal, N. L. Misra, S. K. Aggarwal. Spectrochim. Acta. B: At. Spectrosc., 101 (2015) 130-133B. Kanrar, K. Sanyal, N. L. Misra, S. K. Aggarwal. Spectrochim. Acta. B: At. Spectrosc., 101 (2015) 130-133P. Jonnard, H. Maury, J.-M. Andre. X-Ray Spectrom., 36 (2007) 72-75P. Jonnard, H. Maury, J.-M. Andre. X-Ray Spectrom., 36 (2007) 72-75K. Nygård, K. Hämäläinen, S. Mannien, P. Jalas, J.-P. Ruottinen. X-Ray Spectrom., 33 (2004) 354-359K. Nygård, K. Hämäläinen, S. Mannien, P. Jalas, J.-P. Ruottinen. X-Ray Spectrom., 33 (2004) 354-359В. Я. Борходоев. Журн. аналит. химии, 53, № 6 (1998) 571-577В. Я. Борходоев. Журн. аналит. химии, 53, № 6 (1998) 571-577Н. И. Машин, Н. К. Рудневский, Ю. С. Калинин, А. И. Машин. Зав. лаб., 56, № 12 (1990) 34-36Н. И. Машин, Н. К. Рудневский, Ю. С. Калинин, А. И. Машин. Зав. лаб., 56, № 12 (1990) 34-36Е. Е. Беляева, А. В. Ершов, А. И. Машин, Н. И. Машин, Н. К. Рудневский. Журн. аналит. химии, 53, № 6 (1998) 638-640 [E. E. Belyaeva, A. V. Ershov, A. I. Mashin, N. I. Mashin, N. K. Rudnevskii. J. Analyt. Chem., 53 (1998) 561-563]Е. Е. Беляева, А. В. Ершов, А. И. Машин, Н. И. Машин, Н. К. Рудневский. Журн. аналит. химии, 53, № 6 (1998) 638-640 [E. E. Belyaeva, A. V. Ershov, A. I. Mashin, N. I. Mashin, N. K. Rudnevskii. J. Analyt. Chem., 53 (1998) 561-563]Н. И. Машин, А. Н. Туманова, Н. К. Рудневский. Журн. аналит. химии, 56, № 6 (2001) 651-654 [N. I. Mashin, A. N. Tumanova, N. K. Rudnevskii. J. Analyt. Chem., 56 (2001) 581-584]Н. И. Машин, А. Н. Туманова, Н. К. Рудневский. Журн. аналит. химии, 56, № 6 (2001) 651-654 [N. I. Mashin, A. N. Tumanova, N. K. Rudnevskii. J. Analyt. Chem., 56 (2001) 581-584]Н. И. Машин, Р. В. Лебедева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Журн. прикл. спектр., 79, № 2 (2012) 328-332 [N. I. Mashin, R. V. Lebedeva, A. N. Tumanova, A. A. Ershov. J. Appl. Spectr., 79 (2012) 307-311]Н. И. Машин, Р. В. Лебедева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Журн. прикл. спектр., 79, № 2 (2012) 328-332 [N. I. Mashin, R. V. Lebedeva, A. N. Tumanova, A. A. Ershov. J. Appl. Spectr., 79 (2012) 307-311]Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Неорг. матер., 49, № 4 (2013) 372-375Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Неорг. матер., 49, № 4 (2013) 372-375K. Hirokava, M. Suzuki, H Gotô. Z. Аnal. Chem., 199, N 2 (1964) 89-94K. Hirokava, M. Suzuki, H Gotô. Z. Аnal. Chem., 199, N 2 (1964) 89-94H. Dahl, G. Schulz. Z. Angew. Phys., 29, N 2 (1970) 117-121H. Dahl, G. Schulz. Z. Angew. Phys., 29, N 2 (1970) 117-121С. Л. Дудик, Б. Д. Калинин, Р. И. Плотников, С. К. Савельев. Аналитика и контроль, 10, № 3-4 (2006) 282-289С. Л. Дудик, Б. Д. Калинин, Р. И. Плотников, С. К. Савельев. Аналитика и контроль, 10, № 3-4 (2006) 282-289В. Я. Борходоев. Аналитика и контроль, 19, № 1 (2015) 40-44В. Я. Борходоев. Аналитика и контроль, 19, № 1 (2015) 40-44Ш. И. Дуймакаев, М. В. Потькало. Аналитика и контроль, 20, № 1 (2016) 23-33Ш. И. Дуймакаев, М. В. Потькало. Аналитика и контроль, 20, № 1 (2016) 23-33Г. А. Бордовский, А. В. Марченко, П. П. Скрегин, Н. Н. Смирнова, Е. И. Теруков. Письма в ЖТФ, 35, № 22 (2009) 15-22Г. А. Бордовский, А. В. Марченко, П. П. Скрегин, Н. Н. Смирнова, Е. И. Теруков. Письма в ЖТФ, 35, № 22 (2009) 15-22M. West, A. T. Ellis, P. J. Potts, C. Streli, C. Vanhoof, P. Wobrauschek. J. Anal. At. Spectrom., 30 (2015) 1874-1877M. West, A. T. Ellis, P. J. Potts, C. Streli, C. Vanhoof, P. Wobrauschek. J. Anal. At. Spectrom., 30 (2015) 1874-1877В. Р. Дарашкевич, Н. А. Калинина, Б. А. Малюков, Ю. М. Украинский, С. П. Селиванова. Зав. лаб., 37, № 12 (1971) 1449-1452В. Р. Дарашкевич, Н. А. Калинина, Б. А. Малюков, Ю. М. Украинский, С. П. Селиванова. Зав. лаб., 37, № 12 (1971) 1449-1452Ф. Е. Наумцев, В. Ф. Волков, Н. Ф. Лосев. Зав. лаб., 54, № 4 (1988) 30-33Ф. Е. Наумцев, В. Ф. Волков, Н. Ф. Лосев. Зав. лаб., 54, № 4 (1988) 30-33Н. И. Машин, А. Г. Разуваев, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Журн. прикл. спектр., 80, № 1 (2013) 5-11 [N. I. Mashin, A. G. Razuvaev, E. A. Chernyaeva, A. N. Tumanova, A. A. Ershov. J. Appl. Spectr., 80 (2013) 1-7]Н. И. Машин, А. Г. Разуваев, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Журн. прикл. спектр., 80, № 1 (2013) 5-11 [N. I. Mashin, A. G. Razuvaev, E. A. Chernyaeva, A. N. Tumanova, A. A. Ershov. J. Appl. Spectr., 80 (2013) 1-7]Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, Л. М. Гафарова. Журн. прикл. спектр., 83 (2016) 65-69 [N. I. Mashin, E. A. Chernyaeva, A. N. Tumanova, L. M. Gafarova. J. Appl. Spectr., 83 (2016) 56-60]Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, Л. М. Гафарова. Журн. прикл. спектр., 83 (2016) 65-69 [N. I. Mashin, E. A. Chernyaeva, A. N. Tumanova, L. M. Gafarova. J. Appl. Spectr., 83 (2016) 56-60]Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова. Неорг. матер., 51, № 1 (2015) 44-48Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова. Неорг. матер., 51, № 1 (2015) 44-48В. П. Афонин, Н. И. Комяк, В. П. Николаев, Р. И. Плотников. Рентгенофлуоресцентный анализ, Новосибирск, Наука (1991) 128-129В. П. Афонин, Н. И. Комяк, В. П. Николаев, Р. И. Плотников. Рентгенофлуоресцентный анализ, Новосибирск, Наука (1991) 128-129А. С. Березин, О. Р. Мочалкина. Технология и конструирование интегральных микросхем, Москва, Радио и связь (1983) 84-86А. С. Березин, О. Р. Мочалкина. Технология и конструирование интегральных микросхем, Москва, Радио и связь (1983) 84-86

The authors declare that there are no conflicts of interest present.