Практически показана эффективность привлечения дополнительной информации о величине оптического пропускания при решении обратной задачи эллипсометрии минимизационным методом для допированных и недопированных оловом пленок In2O3 на подложках Al2O3 (012). Этот подход позволяет однозначно определять толщину и показатель преломления тонких пленок с шероховатой поверхностью. Проведено сравнение результатов решения обратной задачи в рамках одно-, двух- и многослойной моделей, при этом последняя позволяет наилучшим образом описать экспериментальные данные и получить корректные параметры образцов. Зависимости свойств исследуемых пленок, полученных при различных режимах магнетронного напыления, найденные с использованием вышеописанных методов и моделей, не противоречат общим представлениям о формировании пленок данного материала.
The efficiency of additional information on the optical transmission in solving the inverse problem of ellipsometry by the minimization method is practically shown for tin doped and non-doped In2O3 films on Al2O3 (012) substrates. This approach is provide uniquely determining the thickness and refractive index of the thin films with a rough surface. The results of solving the inverse problem in the framework of one-, two-, and multilayer models are compared, while the latter provides the best description of the experimental data and correct parameters of the samples. The investigated film properties are found using the above methods and models depending on different magnetron sputtering modes, and these dependencies do not contradict the general idea of the formation of films of this material.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.