zhpsЖурнал прикладной спектроскопииZhurnal Prikladnoii Spektroskopii0514-7506B. I. Stepanov Institute of Physics of the National Academy of Scienceszhps-2408Research ArticleСтатьиМорфология поверхности, оптические и электрофизические свойства пленок оксида циркония, полученных методом лазерного осаждения в вакуумеSurface Morphology, Optical, and Electrophysical Properties of Zirconium Oxide Films Produced by Laser Deposition in VacuumБосакН. А.BosakN. A.

Минск

Minsk

n.bosak@ifanbel.bas-net.byЧумаковА. Н.ChumakovA. N.

Минск

Minsk

БаранЛ. В.BaranL. V.

Минск

Minsk

baran@bsu.byМалютина-БронскаяВ. В.Malyutina-BronskayaV. V.

Минск

Minsk

malyutina@oelt.basnet.byДробушВ. С.DrobushV. S.

Минск

Minsk

КузьмицкаяА. С.KuzmitskayaА. S.

Минск

Minsk

Институт физики НАН БеларусиБеларусьB. I. Stepanov Institute of Physics of the National Academy of Sciences of BelarusBelarusБелорусский государственный университетБеларусьBelarusian State UniversityBelarusГНПО “Оптика, оптоэлектроника и лазерная техника”БеларусьSSPA “Optics, Optoelectronic and Lazer Technology”Belarus202628092026935663668Copyright © Босак Н.А., Чумаков А.Н., Баран Л.В., Малютина-Бронская В.В., Дробуш В.С., Кузьмицкая А.С., 20262026Босак Н.А., Чумаков А.Н., Баран Л.В., Малютина-Бронская В.В., Дробуш В.С., Кузьмицкая А.С.Bosak N.A., Chumakov A.N., Baran L.V., Malyutina-Bronskaya V.V., Drobush V.S., Kuzmitskaya А.S.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://zhps.ejournal.by/jour/article/view/2408

Представлены результаты комплексного исследования  тонких пленок оксида циркония (ZrО2), осажденных в вакууме (p = 2.2 Па) на кварцевую и кремниевую подложки при многоимпульсном высокочастотном (f  10—12 кГц) лазерном воздействии на керамическую мишень при плотности мощности лазерного излучения q = 79 МВт/см2. Изучена морфология полученных пленок с помощью атомносиловой микроскопии, выявлены особенности спектров пропускания. Проведен анализ фотоэлектрических свойств структуры ZrО2/Si.

The results of complex study of thin ZrО2 films deposited in vacuum (p = 2.2 Pa) on quartz and silicon substrates under multipulse high-frequency (f  10—12 kHz) laser action on the ceramic target at a laser power density q = 79 MW/cm2 were presented. The morphology of the obtained films was studied using atomic force microscopy, the features of the transmission spectra were presented. The analysis of the electrical properties of ZrО2/Si structure was carried out.

высокочастотное лазерное воздействиетонкая пленкаспектры пропускания и отражениявольт-амперные и вольт-фарадные характеристикиспектральная чувствительностьhigh-frequency laser effectthin filmtransmission and reflections spectracurrent-voltage and farad-voltage characteristicsspectral sensitivityРабота частично поддержана при выполнении задания 2.2.07 ГПНИ “Конвергенция-2030”References. М. Лыньков, Т. В. Молодечкина, В. А. Богуш, Т. В. Борботько. Докл. БГУИР, № 3 (2004) 73—84. М. Лыньков, Т. В. Молодечкина, В. А. Богуш, Т. В. Борботько. Докл. БГУИР, № 3 (2004) 73—84V. Manjunath, C. Uppala, P. R. Bommireddy, B. Son, H. Kim, C.-H. Ahn, S.-H. Park. Phys. B: Cond. Matter, 648 (2023) 414423V. Manjunath, C. Uppala, P. R. Bommireddy, B. Son, H. Kim, C.-H. Ahn, S.-H. Park. Phys. B: Cond. Matter, 648 (2023) 414423K. Kanomata, K. Tokoro, T. Imai, P. Pansila, M. Miura, B. Ahmmad, S. Kubotaa, K. Hirahara, F. Hirose. Appl. Surf. Sci., 387 (2016) 497—502K. Kanomata, K. Tokoro, T. Imai, P. Pansila, M. Miura, B. Ahmmad, S. Kubotaa, K. Hirahara, F. Hirose. Appl. Surf. Sci., 387 (2016) 497—502C. Y. Ma, F. Lapostolle, P. Briois, Q. Y. Zhang. Appl. Surf. Sci., 253 (2007) 8718—8724C. Y. Ma, F. Lapostolle, P. Briois, Q. Y. Zhang. Appl. Surf. Sci., 253 (2007) 8718—8724A. K. Jonsson, G. A. Niklasson, M. Veszelei. Thin Solid Films, 402 (2002) 242—247A. K. Jonsson, G. A. Niklasson, M. Veszelei. Thin Solid Films, 402 (2002) 242—247C. M. Lopez, N. A. Suvorova, E. A. Irene, A. A. Suvorova, M. Saunders. J. Appl. Phys., 98 (2005) 033506-1—033506-6C. M. Lopez, N. A. Suvorova, E. A. Irene, A. A. Suvorova, M. Saunders. J. Appl. Phys., 98 (2005) 033506-1—033506-6Н. Вилья, Д. А. Голосов, С. М. Завадский, С. Н. Мельников, Д. Э. Окоджи. 12-я междунар. конф. “Взаимодействие излучений с твердым телом”, 19—22 сентября 2017 г., Минск (2017) 438—440Н. Вилья, Д. А. Голосов, С. М. Завадский, С. Н. Мельников, Д. Э. Окоджи. 12-я междунар. конф. “Взаимодействие излучений с твердым телом”, 19—22 сентября 2017 г., Минск (2017) 438—440H.C. Delgado, F. Sanchez, R. Aguiar, Y. Maniette, C. Ferrater, M. Varela. Appl. Phys. Lett., 68 (1996) 1048—1050H.C. Delgado, F. Sanchez, R. Aguiar, Y. Maniette, C. Ferrater, M. Varela. Appl. Phys. Lett., 68 (1996) 1048—1050D. B. Chrisey, G. B. Hubler. Pulsed Laser Deposition of Thin Films, Wiley, New York (1994)D. B. Chrisey, G. B. Hubler. Pulsed Laser Deposition of Thin Films, Wiley, New York (1994)Xu Jingping, Bai Tiecheng, Li Xingjiao, Zheng Xiangbin, Su Wuda, An Changwu. Vacuum, 43, N 11 (1992) 1051—1053Xu Jingping, Bai Tiecheng, Li Xingjiao, Zheng Xiangbin, Su Wuda, An Changwu. Vacuum, 43, N 11 (1992) 1051—1053P. S. Padhi, R. S. Ajimsha, Pankaj Misra. Adv. Mater. and Rad. Phys. (AMRP-2020) AIP Conf. Proc., 2352 (2020) 020077(1—5)P. S. Padhi, R. S. Ajimsha, Pankaj Misra. Adv. Mater. and Rad. Phys. (AMRP-2020) AIP Conf. Proc., 2352 (2020) 020077(1—5)M. Ghanashyam Krishna, K. Narasimha Rao, S. Mohan. Thin Solid Films, 193-194 (1990) 690—695M. Ghanashyam Krishna, K. Narasimha Rao, S. Mohan. Thin Solid Films, 193-194 (1990) 690—695S. Harasex, H.D. Wanzenboeck, B. Basnar, J. Smoliner, J. Brenner, H.S. Stoeri, E. Gornik, E. Bertagnoll. Thin Solid Films, 414 (2002) 199—204S. Harasex, H.D. Wanzenboeck, B. Basnar, J. Smoliner, J. Brenner, H.S. Stoeri, E. Gornik, E. Bertagnoll. Thin Solid Films, 414 (2002) 199—204Е. В. Фролова, М. И. Ивановская, И. И. Азарко. Химические проблемы создания новых материалов и технологий, Минск (2003) 152—167Е. В. Фролова, М. И. Ивановская, И. И. Азарко. Химические проблемы создания новых материалов и технологий, Минск (2003) 152—167И. Ю. Бригаднов, М. К. Самохвалов. Вестник УлГТУ, 1 (2001) 14—17И. Ю. Бригаднов, М. К. Самохвалов. Вестник УлГТУ, 1 (2001) 14—17W. Zhang, Y. Cui, Z. G. Hu, W. L. Yu, J. Sun, N. Xu, Z. F. Ying, J. D. Wu. Thin Solid Films, 520 (2012) 6361—6367W. Zhang, Y. Cui, Z. G. Hu, W. L. Yu, J. Sun, N. Xu, Z. F. Ying, J. D. Wu. Thin Solid Films, 520 (2012) 6361—6367S. Sayan, N. V. Nguyen, J. Ehrstein, T. Emge, E. Garfunkel, M. Croft, Xinyuan Zhao, D. Vanderbilt, I. Levin, E. P. Gusev, Hyoungsub Kim, P. J. McIntyre. Appl. Phys. Lett., 86 (2005) 152902(1—3)S. Sayan, N. V. Nguyen, J. Ehrstein, T. Emge, E. Garfunkel, M. Croft, Xinyuan Zhao, D. Vanderbilt, I. Levin, E. P. Gusev, Hyoungsub Kim, P. J. McIntyre. Appl. Phys. Lett., 86 (2005) 152902(1—3)J. M. Howard, V. Craciun, C. Essary, R. K. Singh. Appl. Phys. Lett., 81 (2002) 3431—3433J. M. Howard, V. Craciun, C. Essary, R. K. Singh. Appl. Phys. Lett., 81 (2002) 3431—3433Suroor H. Taha, Thamir A. Jumah. Al-Nahrain J. Sci. ANJS, 24, N 2 (2021) 27—32Suroor H. Taha, Thamir A. Jumah. Al-Nahrain J. Sci. ANJS, 24, N 2 (2021) 27—32В. Н. Кручинин, В. Ш. Алиев, А.К. Герасимова, В.А. Гриценко. Опт. и спектр., 121, № 2 (2016) 260—265В. Н. Кручинин, В. Ш. Алиев, А.К. Герасимова, В.А. Гриценко. Опт. и спектр., 121, № 2 (2016) 260—265P. Kondaiah, G. Mohan Rao, S. Uthanna. J. Phys.: Conf. Ser., 390 (2012) 012031(1—6)P. Kondaiah, G. Mohan Rao, S. Uthanna. J. Phys.: Conf. Ser., 390 (2012) 012031(1—6)J. Xing, E. Guo, H. Lu. Sci. China Phys. Mech. Astron., 54 (2011) 1416—1419J. Xing, E. Guo, H. Lu. Sci. China Phys. Mech. Astron., 54 (2011) 1416—1419H. M. K. Sheet, K. S. Mohan, A. M. Rosalin, S. Kosar, R. Marnadu, M. A. Manthrammel, M. Shkir, V. R. M. Reddy. Opt. Mater., 156 (2024) 116005H. M. K. Sheet, K. S. Mohan, A. M. Rosalin, S. Kosar, R. Marnadu, M. A. Manthrammel, M. Shkir, V. R. M. Reddy. Opt. Mater., 156 (2024) 116005А. Н. Чумаков, В. Б. Авраменко, Н. А. Босак. Журн. прикл. спектр., 79, № 2 (2012) 279—287 [A. N. Chumakov, V. B. Avramenko, N. A. Bosak. J. Appl. Spectr., 79 (2012) 261—268]А. Н. Чумаков, В. Б. Авраменко, Н. А. Босак. Журн. прикл. спектр., 79, № 2 (2012) 279—287 [A. N. Chumakov, V. B. Avramenko, N. A. Bosak. J. Appl. Spectr., 79 (2012) 261—268]Свойства структур металл-диэлектрик-полупроводник, под ред. А. В. Ржанова, Москва, Наука (1976)Свойства структур металл-диэлектрик-полупроводник, под ред. А. В. Ржанова, Москва, Наука (1976)В. В. Малютина-Бронская, О. А. Гребенщиков, В. Б. Залесский, Т. Р. Леонова. Конденсированные среды и межфазные границы, 14, № 4 (2012) 433—437В. В. Малютина-Бронская, О. А. Гребенщиков, В. Б. Залесский, Т. Р. Леонова. Конденсированные среды и межфазные границы, 14, № 4 (2012) 433—437

The authors declare that there are no conflicts of interest present.