zhpsЖурнал прикладной спектроскопииZhurnal Prikladnoii Spektroskopii0514-7506B. I. Stepanov Institute of Physics of the National Academy of Scienceszhps-461Research ArticleСтатьиОПРЕДЕЛЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫХ КВАРЦЕВЫХ ПЛАСТИН ПРИ УГЛАХ БРЮСТЕРА МЕТОДОМ СПЕКТРАЛЬНОЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИИDETERMINATION OF OPTICAL CHARACTERISTICS OF PARALLEL-SIDED QUARTZ PLATES AT BREWSTER ANGLES BY SPECTRAL ELLIPSOMETRYСтаськовН. И.StaskovN. I.
212022, Могилев
Mogilev, 212022
ni_staskov@mail.ruМухаммедмурадовА. А.MohammedmuradovA. A.
212022, Могилев
Mogilev, 212022
КрекотеньН. А.KrekotenN. A.
Минск
Minsk
ПарашковС. О.ParashkovS. O.
Могилев
Mogilev
Могилевский государственный университет имени А. А. КулешоваA. A. Kuleshov Mogilev State UniversityОАО “ИНТЕГРАЛ” — управляющая компания холдинга “ИНТЕГРАЛ”“Integral” Joint Stock CompanyБелорусско-Российский университетBelarusian-Russian University202014032020871122129Copyright © Стаськов Н.И., Мухаммедмурадов А.А., Крекотень Н.А., Парашков С.О., 20202020Стаськов Н.И., Мухаммедмурадов А.А., Крекотень Н.А., Парашков С.О.Staskov N.I., Mohammedmuradov A.A., Krekoten N.A., Parashkov S.O.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://zhps.ejournal.by/jour/article/view/461спектральная эллипсометрияспектральная зависимость показателя преломлениязакон Брюстераповерхностные слоиформулы Зельмейера и Лорентцаspectral ellipsometryrefractive index spectrumBrewster's lawsurface layersZellmeyer and Lorentz formulasReferencesR. Swanepoel. J. Phys. E: Sci. Instrum., 16 , N 12 (1983) 1214—1222R. Swanepoel. J. Phys. E: Sci. Instrum., 16 , N 12 (1983) 1214—1222D. A. Minkov, G. M. Gavrilov, E. Marquez, S. M. Fernandez. 2016 XXV International Scientific Conference Electronics (ET), September 12–14, 2016, Sozopol, Bulgaria (2016) 1—4D. A. Minkov, G. M. Gavrilov, E. Marquez, S. M. Fernandez. 2016 XXV International Scientific Conference Electronics (ET), September 12–14, 2016, Sozopol, Bulgaria (2016) 1—4A. Penzkofer, E. Drotleff, W. Holzer. Opt. Commun., 158 (1998) 221—230A. Penzkofer, E. Drotleff, W. Holzer. Opt. Commun., 158 (1998) 221—230А. Б. Сотский, К. Н. Кривецкий, С. О. Парашков, Л. И. Сотская. Журн. прикл. спектр., 83 , № 5 (2016) 809—817 [ A. B. Sotsky, K. N. Krivetskii, S. O. Parashkov, L. I. Sotskaya. J. Appl. Spectr., 83 (2016) 845—853]А. Б. Сотский, К. Н. Кривецкий, С. О. Парашков, Л. И. Сотская. Журн. прикл. спектр., 83 , № 5 (2016) 809—817 [ A. B. Sotsky, K. N. Krivetskii, S. O. Parashkov, L. I. Sotskaya. J. Appl. Spectr., 83 (2016) 845—853]В. И. Пшеницын, М. И. Абаев, Н. Ю. Лызлов. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях, Москва, Химия (1986) 71В. И. Пшеницын, М. И. Абаев, Н. Ю. Лызлов. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях, Москва, Химия (1986) 71В. Г. Жупанов, Ф. В. Григорьев, В. Б. Сулимов, А. В. Тихонравов. Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физика. Астрономия, № 6 (2017) 64—67В. Г. Жупанов, Ф. В. Григорьев, В. Б. Сулимов, А. В. Тихонравов. Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физика. Астрономия, № 6 (2017) 64—67M. R. Nenkov, T. G. Pencheva. Eur. Phys. J. Appl. Phys., 42 , N 3 (2008) 219—228M. R. Nenkov, T. G. Pencheva. Eur. Phys. J. Appl. Phys., 42 , N 3 (2008) 219—228Аззам, Н. Башара. Эллипсометрия и поляризованный свет, Москва, Мир (1981)Аззам, Н. Башара. Эллипсометрия и поляризованный свет, Москва, Мир (1981)H. G. Tompkins, E. A. Irene. Handbook of Ellipsometry, New York, Norwich, William Andrew, Inc., Springer (2005)H. G. Tompkins, E. A. Irene. Handbook of Ellipsometry, New York, Norwich, William Andrew, Inc., Springer (2005)K. Ogusu, K. Suzuki, H. Nishio. Opt. Lett., 31 , N 7 (2006) 909—911K. Ogusu, K. Suzuki, H. Nishio. Opt. Lett., 31 , N 7 (2006) 909—911Edward D. Palik. Handbook of Optical Constants of Solids, Academic Press (1988)Edward D. Palik. Handbook of Optical Constants of Solids, Academic Press (1988)Horiba Scientific. http://nytek.ru/upload/iblock/556/faq-spektralnaya-ellipsometriya-_-obshchie-voprosy.pdf (дата обращения: 24.04.2019)Horiba Scientific. http://nytek.ru/upload/iblock/556/faq-spektralnaya-ellipsometriya-_-obshchie-voprosy.pdf (дата обращения: 24.04.2019)ГОСТ 15130-86. Стекло кварцевое оптическое, ИНК изд-во стандартов, Москва (1991) 30ГОСТ 15130-86. Стекло кварцевое оптическое, ИНК изд-во стандартов, Москва (1991) 30Кварцевое стекло для производства оптики ООО “Тидекс”; http://www.tydexoptics.com/pdf/Fused_Silica_ru.pdf (дата обращения: 24.04.2019)Кварцевое стекло для производства оптики ООО “Тидекс”; http://www.tydexoptics.com/pdf/Fused_Silica_ru.pdf (дата обращения: 24.04.2019)I. H. Malitson. J. Opt. Soc. Am., 55 , N 10 (1965) 1205—1209I. H. Malitson. J. Opt. Soc. Am., 55 , N 10 (1965) 1205—1209R. Kitamura, L. Pilon, M. Jonasz. Appl. Opt., 46 , N 33 (2007) 8118—8133R. Kitamura, L. Pilon, M. Jonasz. Appl. Opt., 46 , N 33 (2007) 8118—8133М. М. Горшков. Эллипсометрия, Москва, Советское радио (1974)М. М. Горшков. Эллипсометрия, Москва, Советское радио (1974)J. M. González-Leal, R. Prieto-Alcón, J. A. Angel, D. A. Minkov, E. Márquez. Appl. Opt., 41 , N 34 (2002) 7300—7308J. M. González-Leal, R. Prieto-Alcón, J. A. Angel, D. A. Minkov, E. Márquez. Appl. Opt., 41 , N 34 (2002) 7300—7308
The authors declare that there are no conflicts of interest present.