zhpsЖурнал прикладной спектроскопииZhurnal Prikladnoii Spektroskopii0514-7506B. I. Stepanov Institute of Physics of the National Academy of Scienceszhps-488Research ArticleСтатьиМОДЕЛИРОВАНИЕ ПЕРЕХОДНЫХ СЛОЕВ НА ГРАНИЦАХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ ПРИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЯХMODELING OF TRANSITION LAYERS AT THE BOUNDARIES OF THIN-FILM COATINGS AT ELLIPSOMETRIC MEASUREMENTSТихийА. А.TikhiiA. A.

91011, Луганск, ул. Оборонная, 2

2 Oboronnaya Str., Lugansk, 91011

ea0000ffff@mail.ruНиколаенкоЮ. М.NikolaenkoYu. M.

Донецк, 83114

Donetsk, 83114

КорнеевецА. С.KornievetsA. S.

Донецк, 83114

Donetsk, 83114

СвиридоваЕ. А.SvyrydovaK. A.

Донецк, 83114

Donetsk, 83114

ЖихареваЮ. И.ZhikharevaYu. I.

Киев, 01601

Kyiv, 01601

ЖихаревИ. В.ZhikharevI. V.

Донецк, 83114

Donetsk, 83114

Луганский национальный университет им. Т. ШевченкоTaras Shevchenko Lugansk National UniversityДонецкий физико-технический институт им. А. А. ГалкинаA. A. Galkin Donetsk Institute for Physics and EngineeringКиевский национальный университет имени Тараса ШевченкоTaras Shevchenko National University of Kyiv201917032020866942946Copyright © Тихий А.А., Николаенко Ю.М., Корнеевец А.С., Свиридова Е.А., Жихарева Ю.И., Жихарев И.В., 20202020Тихий А.А., Николаенко Ю.М., Корнеевец А.С., Свиридова Е.А., Жихарева Ю.И., Жихарев И.В.Tikhii A.A., Nikolaenko Y.M., Kornievets A.S., Svyrydova K.A., Zhikhareva Y.I., Zhikharev I.V.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://zhps.ejournal.by/jour/article/view/488эллипсометриямоделированиетонкие пленкиманганитыоксид индияellipsometrymodelingthin filmsmanganitesindium oxideReferencesВ. И. Пшеницын, М. И. Абаев, Н. Ю. Лызлов. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях, Ленинград, Химия (1986)В. И. Пшеницын, М. И. Абаев, Н. Ю. Лызлов. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях, Ленинград, Химия (1986)H. G. Tompkins, E. A. Irene. Handbook of Ellipsometry, USA, William Andrew Publishing (2005) 829—847H. G. Tompkins, E. A. Irene. Handbook of Ellipsometry, USA, William Andrew Publishing (2005) 829—847Б. В. Беляев, В. А. Грицких, И. В. Жихарев, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко, А. А. Тихий. Сб. докл. междунар. науч. конф. “Актуальные проблемы физики твердого тела ФТТ-2009”, 20—23 октября 2009 г., Минск, ЧПТУП “ЮВА”, 3 (2009) 169—170Б. В. Беляев, В. А. Грицких, И. В. Жихарев, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко, А. А. Тихий. Сб. докл. междунар. науч. конф. “Актуальные проблемы физики твердого тела ФТТ-2009”, 20—23 октября 2009 г., Минск, ЧПТУП “ЮВА”, 3 (2009) 169—170В. А. Александров. ЖТФ, 79 , № 3 (2009) 84—88В. А. Александров. ЖТФ, 79 , № 3 (2009) 84—88И. В. Жихарев, А. А. Тихий, Б. В. Беляев, В. А. Грицких, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко. Вісн. Східноукр. нац. ун-ту ім. В. Даля, 150 , № 8, Ч. 2 (2010) 60—63И. В. Жихарев, А. А. Тихий, Б. В. Беляев, В. А. Грицких, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко. Вісн. Східноукр. нац. ун-ту ім. В. Даля, 150 , № 8, Ч. 2 (2010) 60—63А. А. Тихий, В. А. Грицких, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко, Ю. Ф. Ревенко, И. Ю. Решидова, И. В. Жихарев. Физика низких температур, 40 , № 8 (2014) 968—974А. А. Тихий, В. А. Грицких, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко, Ю. Ф. Ревенко, И. Ю. Решидова, И. В. Жихарев. Физика низких температур, 40 , № 8 (2014) 968—974Ю. М. Николаенко, А. Б. Мухин, В. А. Чайка, В. В. Бурховецкий. ЖТФ, 80 (2010) 115—119 [ Yu. M. Nikolaenko, A. B. Mukhin, V. A. Chaika, V. V. Burkhovetskii. Techn. Phys., 80 (2010) 1189—1192]Ю. М. Николаенко, А. Б. Мухин, В. А. Чайка, В. В. Бурховецкий. ЖТФ, 80 (2010) 115—119 [ Yu. M. Nikolaenko, A. B. Mukhin, V. A. Chaika, V. V. Burkhovetskii. Techn. Phys., 80 (2010) 1189—1192]А. А. Тихий, В. А. Грицких, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко, В. В. Фарапонов, И. В. Жихарев. Опт. и спектр., 119 , № 2 (2015) 282—286 [ A. A. Tikhii, V. A. Gritskikh, S. V. Kara-Murza, N. V. Korchikova, Yu. M. Nikolaenko, V. V. Faraponov, I. V. Zhikharev. Opt. Spectrosc., 119 , N 2 (2015) 268—272]А. А. Тихий, В. А. Грицких, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко, В. В. Фарапонов, И. В. Жихарев. Опт. и спектр., 119 , № 2 (2015) 282—286 [ A. A. Tikhii, V. A. Gritskikh, S. V. Kara-Murza, N. V. Korchikova, Yu. M. Nikolaenko, V. V. Faraponov, I. V. Zhikharev. Opt. Spectrosc., 119 , N 2 (2015) 268—272]А. А. Тихий, Ю. М. Николаенко, Ю. И. Жихарева, А. С. Корнеевец, И. В. Жихарев. ФТП, 52 , № 3 (2018) 337—341А. А. Тихий, Ю. М. Николаенко, Ю. И. Жихарева, А. С. Корнеевец, И. В. Жихарев. ФТП, 52 , № 3 (2018) 337—341Z. M. Jarzebski. Phys. Status Solidi (a), 71 (1982) 13—41Z. M. Jarzebski. Phys. Status Solidi (a), 71 (1982) 13—41H. Kim, C. M. Gilmore, A. Piqué, J. S. Horwitz, H. Mattoussi, H. Murata, Z. H. Kafafi, D. B. Chrisey. J. Appl. Phys., 86 (1999) 6451—6461H. Kim, C. M. Gilmore, A. Piqué, J. S. Horwitz, H. Mattoussi, H. Murata, Z. H. Kafafi, D. B. Chrisey. J. Appl. Phys., 86 (1999) 6451—6461

The authors declare that there are no conflicts of interest present.