Исследован неравновесный Оже – переход, заключающийся в том, что вакансия на валентном слое заполняется за время ~10-14с электроном зонда, который получает энергию, выделавшуюся в результате перехода валентного электрона на К – слой, и эмитирует с поверхности. Впервые получен неравновесный Оже – спектр электронов с поверхности тонких (810 атомных слоев) пленок оксида серебра Ag2О на подложке Si3N4 при энергии зондирующего излучения 8-10 кэВ. Проанализирована вероятность выхода неравновесных Оже – электронов в зависимости от порядкового номера атомов Z. Установлены характерные амплитудные пики, характеризующие вклад неравновесных Оже – электронов в регистрируемый сигнал. Основываясь на математической модели, описывающей динамику неравновесного Оже – процесса, рассчитана его вероятность, время релаксации, а также сечение захвата нейтральной вакансией свободного носителя заряда.