zhpsЖурнал прикладной спектроскопииZhurnal Prikladnoii Spektroskopii0514-7506B. I. Stepanov Institute of Physics of the National Academy of Scienceszhps-861Research ArticleСтатьиМетод экспресс-анализа триэтоксисиланаTrietoxysilane express analysis methodРотштейнВ. М.RotshteynV. M.

Taшкент

Tashkent

vladimir.rotshteyn@gmail.comАшуровХ. Б.AshurovKh. B.

Taшкент

Tashkent

АшуровР. Х.AshurovR. Kh.

Taшкент

Tashkent

Институт ионно-плазменных и лазерных технологий АН РУзInstitute of Ion-Plasma and Laser Technologies of the Uzbekistan Academy of Sciences202122072021884550555Copyright © Ротштейн В.М., Ашуров Х.Б., Ашуров Р.Х., 20212021Ротштейн В.М., Ашуров Х.Б., Ашуров Р.Х.Rotshteyn V.M., Ashurov K.B., Ashurov R.K.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://zhps.ejournal.by/jour/article/view/861

Описана методика проведения экспресс-анализа триэтоксисилана (TES) — основного промежуточного продукта химических реакций, протекающих в рамках силановой технологии синтеза поликристаллического кремния. Методика разработана на основе данных, полученных в результате комплексных аналитических исследований TES, с использованием хромато-масс-спектрометра MSD 5975C-GC 7890A и спектрометра InViaRaman, обеспечивающих построение градуировочного графика и проведение количественного экспресс-анализа TES с помощью InViaRaman без наличия стандартов.

The technique of express-analysis of triethoxysilane (TES), which is the main intermediate product of chemical reactions occurring in the processes of silane synthesis, is described. The presented technique was developed on the basis of data obtained as a result of analytical studies of TES, using а MSD 5975C-GC 7890A chromato-mass spectrometer and an InViaRaman Spectrometer, which provide the construction of a calibration graph and a quantitative express-analysis TES using InVia Raman without standards

хромато-масс-спектрометриякомбинационное рассеяниетриэтоксисиланколичественный и качественный экспресс-анализградуировочный графикchromato-mass spectrometryRaman scatteringtriethoxysilanequantitative and qualitative express analysiscalibration graphReferencesKh. Ashurov, V. Rotshteyn, Se In Yang, Yong Kim, B. Abdurakhmanov, A. Salimboev. Method for Preparing Trialkoxysilane, Patent EP 2 754 664 (B1), Pub. Date: 28.12.2016, Bulletin 2016/52 (2016)Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Se In Yang, Yong Kim, B. Abdurakhmanov, A. Salimboev. Method for Preparing Trialkoxysilane, Patent EP 2 754 664 (B1), Pub. Date: 28.12.2016, Bulletin 2016/52 (2016)Se In Yang, Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Yong Kim, Sh. Salikhov. Method for Preparing Trialkoxysilane, Patent US9156861 B2, Pub. Date: October. 13, 2015 (2015)Se In Yang, Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Yong Kim, Sh. Salikhov. Method for Preparing Trialkoxysilane, Patent US9156861 B2, Pub. Date: October. 13, 2015 (2015)Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Se In Yang, Yong Kim, Kyung Kim. A Method for Preparing Monosilane by Using Trialkoxysilane, Patent KR101532142 (B1), Pub. Date: June 26, 2015 (2015)Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Se In Yang, Yong Kim, Kyung Kim. A Method for Preparing Monosilane by Using Trialkoxysilane, Patent KR101532142 (B1), Pub. Date: June 26, 2015 (2015)Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Taek Kim, Yong Kim, Kyung Kim, Deok Kim, Sh. Salikhov, R. Ashurov. A Method for Preparing Monosilane by Using Trialkoxysilane, Patent EP 2 905 258 (A1), Pub. Date: August 12, 2015 Bulletin 2015 (33) (2015)Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Taek Kim, Yong Kim, Kyung Kim, Deok Kim, Sh. Salikhov, R. Ashurov. A Method for Preparing Monosilane by Using Trialkoxysilane, Patent EP 2 905 258 (A1), Pub. Date: August 12, 2015 Bulletin 2015 (33) (2015)Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Se In Yang, Kyung Kim, Yong Kim. A Method for Preparing Monosilane, Patent JP 6014771 (B2), Pub. Date: 2016.10.25 (2016)Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Se In Yang, Kyung Kim, Yong Kim. A Method for Preparing Monosilane, Patent JP 6014771 (B2), Pub. Date: 2016.10.25 (2016)Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Taek Joong Kim, Yong Kim, Kyung Yeol Kim, Deok Yun Kim, Sh. Salikhov, R. Ashurov. A Method for Preparing Monosilane by Using Trialkoxysilane, Patent US9278864 (B2), Pub. Date: March 8, 2016 (2016)Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Taek Joong Kim, Yong Kim, Kyung Yeol Kim, Deok Yun Kim, Sh. Salikhov, R. Ashurov. A Method for Preparing Monosilane by Using Trialkoxysilane, Patent US9278864 (B2), Pub. Date: March 8, 2016 (2016)Химическая энциклопедия, под ред. Н. С. Зефирова, Москва (1995)Химическая энциклопедия, под ред. Н. С. Зефирова, Москва (1995)А. Ю. Созин, В. А. Крылов, О. Ю. Чернова, Т. Г. Сорочкина, А. Д. Буланов, О. Ю. Трошин, А. П. Котков, Н. Д. Гришнова, А. И. Скосырев. Журн. аналит. химии, 75, № 11 (2020), 1040—1048А. Ю. Созин, В. А. Крылов, О. Ю. Чернова, Т. Г. Сорочкина, А. Д. Буланов, О. Ю. Трошин, А. П. Котков, Н. Д. Гришнова, А. И. Скосырев. Журн. аналит. химии, 75, № 11 (2020), 1040—1048В. Г. Бондалетов, А. А. Троян, Н. О. Кухленкова, Р. Я. Дебердеев. Вестн. Казан. технол. ун-та, 17, № 18 (2014) 21—24В. Г. Бондалетов, А. А. Троян, Н. О. Кухленкова, Р. Я. Дебердеев. Вестн. Казан. технол. ун-та, 17, № 18 (2014) 21—24В. А. Крылов, О. Ю. Чернова, А. Ю. Созин. Масс-спектрометрия, 4, № 2 (2007) 125—130В. А. Крылов, О. Ю. Чернова, А. Ю. Созин. Масс-спектрометрия, 4, № 2 (2007) 125—130P. A. Volkov, V. V. Fadeev. Method for Determination of Quantitative Content of Content of Components in Mixture, Patent RU 2352920, Pub. Date: 20.04.2009 (2009)P. A. Volkov, V. V. Fadeev. Method for Determination of Quantitative Content of Content of Components in Mixture, Patent RU 2352920, Pub. Date: 20.04.2009 (2009)Э. Преч, Ф. Бюльманн, К. Аффольтер. Определение строения органических соединений, Москва, Мир, БИНОМ. Лаборатория знаний (2006)Э. Преч, Ф. Бюльманн, К. Аффольтер. Определение строения органических соединений, Москва, Мир, БИНОМ. Лаборатория знаний (2006)Л. Беллами. Инфракрасные спектры сложных молекул, Москва, Иностр. лит. (1963)Л. Беллами. Инфракрасные спектры сложных молекул, Москва, Иностр. лит. (1963)Л. Беллами. Новые данные по ИК спектрам сложных молекул, Москва, Мир (1971)Л. Беллами. Новые данные по ИК спектрам сложных молекул, Москва, Мир (1971)К. Накамото. ИК спектры и спектры КР неорганических и координационных соединений, Москва, Мир (1991)К. Накамото. ИК спектры и спектры КР неорганических и координационных соединений, Москва, Мир (1991)Б. Н. Тарасевич. ИК спектры основных классов органических соединений. Справочные материалы, Москва, МГУ (2012)Б. Н. Тарасевич. ИК спектры основных классов органических соединений. Справочные материалы, Москва, МГУ (2012)Дж. Бранд, Г. Эглинтон. Applications of Spectroscopy to Organic Chemistry, пер. с англ. М. Ю. Корнилова, В. А. Чуйгука, под ред. Ю. Н. Шейнкера, Москва, Мир (1967) 127—135Дж. Бранд, Г. Эглинтон. Applications of Spectroscopy to Organic Chemistry, пер. с англ. М. Ю. Корнилова, В. А. Чуйгука, под ред. Ю. Н. Шейнкера, Москва, Мир (1967) 127—135C. A. M. Mulder, A. A. J. M. Damen. J. Non-Cryst. Solids, 93 (1987) 387—394C. A. M. Mulder, A. A. J. M. Damen. J. Non-Cryst. Solids, 93 (1987) 387—394C. A. M. Mulder. J. Non-Cryst. Solids, 95-96 (1987) 303—310C. A. M. Mulder. J. Non-Cryst. Solids, 95-96 (1987) 303—310C. L. Frye, W. T. Collins. J. Am. Chem. Soc., 92 (1970) 5586—5588C. L. Frye, W. T. Collins. J. Am. Chem. Soc., 92 (1970) 5586—5588M. Pauthe, J. Phalippou, R. Corriu, D. Leclercq, A. Vioux. J. Non-Cryst. Sol., 113 (1989) 21—30M. Pauthe, J. Phalippou, R. Corriu, D. Leclercq, A. Vioux. J. Non-Cryst. Sol., 113 (1989) 21—30

The authors declare that there are no conflicts of interest present.