zhpsЖурнал прикладной спектроскопииZhurnal Prikladnoii Spektroskopii0514-7506B. I. Stepanov Institute of Physics of the National Academy of Sciences10.47612/0514-7506-2021-88-6-962-966zhps-945Research ArticleСтатьиЭкспресс-анализ триэтоксисилана и тетраэтоксисилана методом спектроскопии комбинационного рассеяния света для оптимизации технологического процесса синтеза моносиланаExpress analysis of triethoxysilane and tetraethoxysilane using the raman spectroscopy method for optimization of the technological process of monosilane synthesisРотштейнВ. М.RotshteynV. M.

Taшкент

Tashkent

vladimir.rotshteyn@gmail.comАшуровХ. Б.AshurovKh. B.

Taшкент

Tashkent

АшуровР. Х.AshurovR. Kh.

Taшкент

Tashkent

Институт ионно-плазменных и лазерных технологий АН РУзInstitute of Ion-Plasma and Laser Technologies of the Uzbekistan Academy of Sciences202129112021886962966Copyright © Ротштейн В.М., Ашуров Х.Б., Ашуров Р.Х., 20212021Ротштейн В.М., Ашуров Х.Б., Ашуров Р.Х.Rotshteyn V.M., Ashurov K.B., Ashurov R.K.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://zhps.ejournal.by/jour/article/view/945

Описана методика экспресс-анализа продуктов технологических процессов, разработанная с использованием спектроскопии комбинационного рассеяния света. Анализ спектров комбинационного рассеяния включает в себя расшифровку спектральных полос с учетом характеристических частот колебательных спектров органических соединений, а также определение интегральных интенсивностей в соответствующих спектральных диапазонах. На примере процедуры контроля в реальном времени за протеканием технологического процесса синтеза моносилана осуществлен экспресс-анализ тетраэтоксисилана — побочного продукта данного технологического процесса. Продемонстрированы существенные преимущества экспресс-анализа, обеспечивающие контроль за штатным ходом технологического процесса и получение результатов, позволяющих вносить коррективы в технологическую схему процесса с целью его оптимизации. 

A technique for the express analysis of the products of technological processes is described, which was developed using the Raman spectroscopy method. The analysis of the Raman spectra includes the interpretation of the spectral bands, taking into account the values of the characteristic frequencies of the vibrational spectra of organic compounds, as well as the determination of the integral intensities of the corresponding spectral ranges. By example of the real time control procedure for the technological process of monosilane synthesis, the express analysis of tetraethoxysilane, which is a by-product of this technological process, is carried out. Significant advantages of using the express analysis method are demonstrated, which provide control over the normal course of the technological process and obtaining results that allow making adjustments to the process flow diagram in order to optimize it. 

хромато-масс-спектрометриякомбинационное рассеяние светатриэтоксисилантетраэтоксисиланколичественный и качественный экспресс-анализградуировочный графикоптимизация технологического процессаchromatography-mass spectrometryRaman scatteringtriethoxysilanetetraethoxysilanequantitative and qualitative express analysiscalibration graphprocess optimizationReferencesВ. М. Ротштейн, Х. Б. Ашуров, Р. Х. Ашуров. Uzbek J. Phys., 22, № 5 (2020) 314—324, https://doi.org/10.52304/.v22i5.197В. М. Ротштейн, Х. Б. Ашуров, Р. Х. Ашуров. Uzbek J. Phys., 22, № 5 (2020) 314—324, https://doi.org/10.52304/.v22i5.197В. М. Ротштейн, Х. Б. Ашуров, Р. Х. Ашуров. Журн. прикл. спектр., 88, № 4 (2021) 550—555, https://doi.org/10.1007/s10812-021-01232-1В. М. Ротштейн, Х. Б. Ашуров, Р. Х. Ашуров. Журн. прикл. спектр., 88, № 4 (2021) 550—555, https://doi.org/10.1007/s10812-021-01232-1Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Taek Joong Kim, Yong Kim, Kyung Yeol Kim, Deok Yun Kim, Sh. Salikhov, R. Ashurov. A Method for Preparing Monosilane by Using Trialkoxysilane, Patent US9278864 (B2), Pub. Date: March 8, 2016 (2016)Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Taek Joong Kim, Yong Kim, Kyung Yeol Kim, Deok Yun Kim, Sh. Salikhov, R. Ashurov. A Method for Preparing Monosilane by Using Trialkoxysilane, Patent US9278864 (B2), Pub. Date: March 8, 2016 (2016)Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Se In Yang, Kyung Kim, Yong Kim. A Method for Preparing Monosilane, Patent JP 6014771 (B2), Pub. Date: 25.10.2016 (2016)Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Se In Yang, Kyung Kim, Yong Kim. A Method for Preparing Monosilane, Patent JP 6014771 (B2), Pub. Date: 25.10.2016 (2016)Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Se In Yang, Yong Kim, B. Abdurakhmanov, A. Salimboev. Method for Preparing Trialkoxysilane, Patent EP 2 754 664 (B1), Pub. Date: 28.12.2016, Bulletin 2016/52 (2016)Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Se In Yang, Yong Kim, B. Abdurakhmanov, A. Salimboev. Method for Preparing Trialkoxysilane, Patent EP 2 754 664 (B1), Pub. Date: 28.12.2016, Bulletin 2016/52 (2016)А. Ю. Созин, В. А. Крылов, О. Ю. Чернова, Т. Г. Сорочкина, А. Д. Буланов, О. Ю. Трошин, А. П. Котков, Н. Д. Гришнова, А. И. Скосырев. Журн. аналит. химии, 75, № 11 (2020) 1040—1048А. Ю. Созин, В. А. Крылов, О. Ю. Чернова, Т. Г. Сорочкина, А. Д. Буланов, О. Ю. Трошин, А. П. Котков, Н. Д. Гришнова, А. И. Скосырев. Журн. аналит. химии, 75, № 11 (2020) 1040—1048В. Г. Бондалетов, А. А. Троян, Н. О. Кухленкова, Р. Я. Дебердеев. Вестн. Казан. технол. ун-та, 17, № 18 (2014) 21—24В. Г. Бондалетов, А. А. Троян, Н. О. Кухленкова, Р. Я. Дебердеев. Вестн. Казан. технол. ун-та, 17, № 18 (2014) 21—24В. А. Крылов, О. Ю. Чернова, А. Ю. Созин. Масс-спектрометрия, 4, № 2 (2007) 125—130В. А. Крылов, О. Ю. Чернова, А. Ю. Созин. Масс-спектрометрия, 4, № 2 (2007) 125—130P. A. Volkov, V. V. Fadeev. Method for Determination of Quantitative Content of Content of Components in Mixture, Patent RU 2352920, Pub. Date: 20.04.2009 (2009)P. A. Volkov, V. V. Fadeev. Method for Determination of Quantitative Content of Content of Components in Mixture, Patent RU 2352920, Pub. Date: 20.04.2009 (2009)Э. Преч, Ф. Бюльманн, К. Аффольтер. Определение строения органических соединений, Москва, Мир, БИНОМ. Лаборатория знаний (2006)Э. Преч, Ф. Бюльманн, К. Аффольтер. Определение строения органических соединений, Москва, Мир, БИНОМ. Лаборатория знаний (2006)Л. Беллами. Инфракрасные спектры сложных молекул, Москва, Иностр. лит. (1963)Л. Беллами. Инфракрасные спектры сложных молекул, Москва, Иностр. лит. (1963)Л. Беллами. Новые данные по ИК спектрам сложных молекул, Москва, Мир (1971)Л. Беллами. Новые данные по ИК спектрам сложных молекул, Москва, Мир (1971)К. Накамото. ИК спектры и спектры КР неорганических и координационных соединений, Москва, Мир (1991)К. Накамото. ИК спектры и спектры КР неорганических и координационных соединений, Москва, Мир (1991)Б. Н. Тарасевич. ИК спектры основных классов органических соединений. Справочные материалы, Москва, МГУ (2012)Б. Н. Тарасевич. ИК спектры основных классов органических соединений. Справочные материалы, Москва, МГУ (2012)

The authors declare that there are no conflicts of interest present.