Для цитирования:
Телеш Е.В., Достанко А.П., Гуревич О.В. СТЕХИОМЕТРИЯ ПЛЕНОК ДИОКСИДА КРЕМНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ ИОННО-ЛУЧЕВЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ. Журнал прикладной спектроскопии. 2018;85(1):76-81.
For citation:
Telesh E.V., Dostanko A.P., Gurevich O.V. STOICHIOMETRY OF SILICON DIOXIDE FILMS OBTAINED BY ION-BEAM SPUTTERING. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2018;85(1):76-81. (In Russ.)