Влияние температуры окислительного отжига на структурные и оптические характеристики пленок оксидов олова

Исследованы кристаллическая структура и оптические характеристики неупорядоченных пленок оксидов олова, синтезированных методом магнетронного распыления мишени олова на стеклянные подложки с последующим двухстадийным отжигом на воздухе. Анализ микроструктуры пленок оксидов олова проведен методом рентгеновской дифракции и спектроскопии комбинационного рас сеяния света. Измерены спектры пропускания образцов в диапазоне длин волн λ = 200—3000 нм.  С помощью конвертного метода определены оптические константы (показатель преломления n(λ), коэффициент поглощения α(λ)) тонких пленок оксидов олова в зависимости от длины волны. Показана возможность получения пленок оксидов олова с управляемо варьируемыми оптическими пара метрами (коэффициент поглощения α до 82 % в видимом диапазоне электромагнитного спектра, показатель преломления n = 2—2.6, оптическая щель Тауца в диапазоне 2.62—3.46 эВ) посредством изменения температуры на второй стадии окислительного отжига в диапазоне 325—475 °С.

1. M. Z. Iqbal, F. Wang, R. Hussain, M. Y. Rafique, S. Ali, I. Ali. Mater. Focus, 3 (2014) 1—6

2. Y. Li, T. Cui, L. Zhang, Y. M. Ma, G. T. Zou. J. Phys.: Cond. Matter, 19, N 42 (2007) 425230(1—10)

3. M. Ristić, M. Ivanda, S. Popović, S. Musić. J. Non Crystall. Solids, 303, N 2 (2002) 270—280

4. C. Li, M. Zheng, X. H. Wang, L. Yao, L. Ma, W. Shen. Nanoscale Res. Lett., 6, N 1 (2011) 615(1—7)

5. V. Ksenevich, V. Dorosinets, D. Adamchuk, J. Macutkevic, J. Banys. Materials, 13, N 23 (2020) 5415(1—14)

6. M. Batzill, U. Diebold. Progress Surface Sci., 79 (2005) 47—154

7. О. Л. Берсирова, Л. И. Брук, А. И. Дикусар, М. И. Караман, С. П. Сидельникова, А. В. Симашкевич, Д. А. Шербан, Ю. С. Японцева. Электронная обработка материалов, 6 (2007) 40—49

8. В. Ф. Громов, Г. Н. Герасимов, Т. В. Белышева, Л. И. Трахтенберг. Рос. хим. журн., LII, № 5 (2008) 80—87

9. К. П. Богданов, Д. Ц. Димитров, О. Ф. Луцкая, Ю. М. Таиров. ФТП, 32, № 10 (1998) 1158—1160

10. B. Yuliarto, G. Gumilar, N. L. W. Septiani. Adv. Mater. Sci. Eng., N 12 (2015) 694823(1—14)

11. T. Oshima, T. Okuno, S. Fujita. Jpn. J. Appl. Phys, 48 (2009) 120207(1—3)

12. M. Alaf, D. Gultekin, H. Akbulut. Acta Phys. Polonica A, 123, N 2 (2013) 323—325

13. Y. C. Lu, C. Ma, J. Alvarado, T. Kidera, N. Dimov, Y. S. Meng, S. Okada. J. Power Sources, 284 (2015) 287—295

14. V. K. Ksenevich, D. V. Adamchuk, V. B. Odzhaev, P. Zhukowski. Acta Phys. Polonica A, 128, N 5 (2015) 861—863

15. Д. B. Адамчук, В. К. Ксеневич. Приборы и методы измерений, 10, № 2 (2019) 138—150

16. D. V. Adamchuk, V. K. Ksenevich, N. A. Poklonski, M. Navickas, J. Banys. Lithuanian J. Phys., 59, N 4 (2019) 179—187

17. Д. В. Адамчук, В. К. Ксеневич, Н. А. Поклонский, А. И. Ковалев. Изв. НАН Беларуси. Сер. физ.-мат. наук, 56, № 1 (2020) 102—113, doi: 10.29235/1561-2430-2020-56-1-102-113

18. E. M. F. Vieira, J. P. B. Silva, K. Veltruská, V. Matolín, A. L. Pires, A. M. Pereira, M. J. M. Gomes, L. M. Goncalves. Nanotechnology, 30, N 43 (2019) 435502(1—22)

19. A. Shanmugasundaram, P. Basak, L. Satyanarayana, S. V. Manorama. Sensors and Actuators B, 185 (2013) 265—273

20. L. Li, C. Zhang, W. Chen. Nanoscale, 7, N 28 (2015) 12133—12142

21. W. Zeng, Y. Liu, G. Chen, H. Zhan, J. Mei, N. Luo, Z. He, C. Tang. RSC Adv., 10, N 50 (2020) 29843—29854

22. M. Saravanakumar, S. Agilan, N. Muthukumarasamy, V. Rukkumani. Int. J. Chem. Sci., 13, N 2 (2015) 605—612

23. P. Boroojerdian. Int. J. Nanosci. Nanotechnol., 9, N 2 (2013) 95—100

24. L. Sangaletti, L. E. Depero, B. Allieri, F. Pioselli, E. Comini, G. Sberveglieri, M. Zocchi. J. Mater. Res., 13, N 9 (1998) 2457—2460

25. M. Khosravi-Nouri, N. Shahtahmassebi, E. Attaran-Kakhki, G. Zohuri. Mater. Phys. Mech., 17 (2013) 29—32

26. Y. Q. Guo, R. Q. Tan, X. Li, J. H. Zhao, Z. L. Luo, C. Gao, W. J. Song. Cryst. Eng. Comm., 13 (2011) 5677—5680

27. B. Eifert, M. Becker, C. T. Reindl, M. Giar, L. Zheng, A. Polity, Y. He, C. Heiliger, P. J. Klar. Phys. Rev. Mater., 1, N 1 (2017) 014602(1—6)

28. C. Guillén, J. Herrero. J. Mater. Sci. Tech., 35, N 8 (2019) 1706—1711

29. D. Tuschel. Spectroscopy, 33, N 12 (2018) 12—19

30. В. И. Кондрашин. Технические науки. Электроника, измерительная и радиотехника, 2, № 38 (2016) 93—101

31. В. В. Брус, З. Д. Ковалюк, П. Д. Марьянчук. ЖТФ, 82, № 8 (2012) 110—113

32. В. В. Брус, М. Н. Солован, Э. В. Майструк, И. П. Козярский, П. Д. Марьянчук, К. С. Ульяницкий, J. Rappich. ФТТ, 56, № 10 (2014) 1886—1890

33. D. L. Wood, J. Tauc. Phys. Rev. B, 5 (1972) 3144—3151

34. J. Klein, L. Kampermann, B. Mockenhaupt, M. Behrens, J. Strunk, G. Bacher. Adv. Func. Mater., 33 (2023) 2304523(1—19)