ОПТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПЛЕНОК ОКСИДА ЦИНКА НА СТЕКЛЯННЫХ ПОДЛОЖКАХ

Разработан алгоритм решения обратной задачи многоугловой спектрофотометрии слоя на плоскопараллельной подложке конечной толщины с использованием волн s- и p-поляризации, позволяющий исследовать дисперсионные свойства слоя и подложки как вдали, так и в окрестности резонансных длин волн. На его основе исследованы дисперсионные свойства слоев чистого и допированного алюминием оксида цинка на стеклянной подложке. Установлено, что допирование приводит к смещению максимума полосы поглощения в коротковолновую область и уменьшению показателя преломления материала. Оценены границы применимости известных приближенных формул для определения спектральной зависимости показателя поглощения слоя по спектрофотометрическим данным.

многоугловая спектрофотометрия, оксид цинка, показатели преломления и поглощения, ширина запрещенной зоны, multiangular spectrophotometry, zinc oxide, absorption and refractive indexes, band gap

1. Ü. Özgür, Ya. I. Alivov, C. Liu, A. Teke, M. A. Reshchikov, S. Doğan, V. Avrutin, S.-J. Cho, H. Morkoç. J. Appl. Phys., 98 (2005) 041301

2. C. Guillun, J. Herrero. Vacuum, 82, N 6 (2008) 668-672

3. Q. Hou, F. Meng, J. Sun. Nanoscale Res. Lett., 8, N 1 (2013) 144

4. Y. Ammaih, A. Lfaki, B. Hartiti, A. Ridah, P. Thevenin, M. Siadat. Opt. Quantum Electron., 46, N 46 (2014) 229-234

5. Y. H. Kim, K. S. Lee, T. S. Lee, B. Cheong, T.-Y. Seong, W. M. Kim. Appl. Surface Sci., 255 (2009) 7251-7256

6. J.-H. Oh, K.-K. Kim, T.-Y. Seong. Appl. Surface Sci., 257, N 7 (2011) 2731-2736

7. S. W. Xue, X. T. Zu, W. G. Zheng, H. X. Deng, X. Xiang. Physica, 381(2006) 209-213

8. S. H. Jeong, S. Kho, D. Jung, S. B. Lee, J.-H. Boo. Surface Coat. Technol., 174-175 (2003) 187-192

9. M. Wimmer, F. Ruske, S. Scherf, B. Rech. Thin Solid Films, 520 (2012) 4203-4207

10. Y. C. Liu, J. H. Hsieh, S. K. Tung. Thin Solid Films, 510 (2006) 32-38

11. Q. H. Li, D. Zhu, W. Liu, Y. Liu, X. C. Ma. Appl. Surf. Sci., 254 (2008) 2922-2926

12. Lihong Gao, Fabien Lemarchand, Michel Lequime. Opt. Express, 20, N 14 (2012) 15751

13. А. Б. Сотский, К. Н. Кривецкий, С. О. Парашков, Л. И. Сотская. Журн. прикл. спектр., 83, № 5 (2016) 809-817

14. М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики, пер. с англ., Москва, Наука (1970)

15. S. Bidmeshkipour, N. Shahtahmasebi. ФТП, 47, № 6 (2013) 777-779

16. Min Su Kim, Kwang Gug Yim, Jeong-Sik Son, Jae-Young Leem. Bull. Korean Chem. Soc., 33, N 4 (2012) 1235-1241

17. https://dspace.lboro.ac.uk/2134/15677

18. Ю. И. Уханов. Оптические свойства полупроводников, Москва, Наука (1977) 64

19. О. А. Новодворский, Л. С. Горбатенко, В. Я. Панченко, О. Д. Храмова, Е. А. Черебыло. ФТП, 43, № 4 (2009) 439-444

20. Edward D. Palik. Handbook of Optical Constants of Solids, Academic press (1988)

21. S. H. Lee, T. S. Lee, K. S. Lee, B. Cheong, Y. D. Kim, W. M. Kim. J. Phys. D: Appl. Phys., 41 (2008) 095303

22. J. Tauc, R. Grigorovici, A. Vancu. Phys. Status Solidi, 15 (1966) 627-637

23. A. Penzkofer, E. Drotleff, W. Holzer. Opt. Commun., 158 (1998) 221-230