МОДИФИКАЦИЯ ОПТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛЕНОК ПОЛИАМИДА ИМПЛАНТАЦИЕЙ ИОНОВ КОБАЛЬТА

Представлены спектральные зависимости коэффициентов пропускания и отражения в диапазоне длин волн 200—1100 нм пленок полиамида толщиной 40 мкм, имплантированных ионами кобальта с энергией 40 кэВ в интервале доз 2.5 × 10¹⁶—1.5 × 10¹⁷ см^–2 при плотности тока в ионном пучке 4 мкА/см². Имплантация приводит к существенному (до 80 %) уменьшению пропускания имплантированными пленками и увеличению отражения как имплантированной, так и неимплантированной стороной вследствие карбонизации приповерхностного слоя и формирования в нем включений кобальта. В рамках двух- и трехслойной моделей, включающих в себя один или два модифицированных слоя и неповрежденную часть пленки, проведено моделирование прохождения света при падении на имплантированную и неимплантированную стороны и определена дозовая зависимость эффективного показателя преломления модифицированного слоя, который в исследуемом интервале доз изменяется в пределах 1.3—2.1.

1. R. I. Khaibullin. Nucl. Instrume. Meth., В148 (1999) 1023—1028

2. V. N. Popok. Rev. Adv. Mater. Sci., 30, B148 (2011) 14—34

3. Ф. А. Нажим, М. Г. Лукашевич, В. И. Нуждин, Р. И. Хайбуллин, В. Б. Оджаев. Изв. НАН. Сер. физ.-мат. наук, № 2 (2010) 100—105

4. А. А. Харченко, М. Г. Лукашевич, В. И. Нуждин, Р. И. Хайбуллин, В. Б. Оджаев. ФТТ, 55, № 1 (2013) 75—80

5. M. G. Lukashevich, V. N. Popok, V. S. Volobuev, A. A. Melnikov, R. I. Khaibullin, V. V. Bazarov, A. Wieck, V. B. Odzhaev. Open Appl. Phys. J., N 3 (2010) 1—5

6. М. Г. Лукашевич. Материалы, технологиии, инструменты, 20, № 1 (2015) 61—69

7. Ю. А. Бумай, В. Ф. Валеев, Н. И. Долгих, М. Г. Лукашевич, Ф. А. Нажим, В. И. Нуждин, В. Б. Оджаев. Материалы, технологии, инструменты, 15, № 4 (2010) 54—58

8. Ю. А. Бумай, В. С. Волобуев, В. Ф. Валеев, Н. И. Долгих, М. Г. Лукашевич, Р. И. Хайбуллин, В. И. Нуждин, В. Б. Оджаев. Журн. прикл. спектр., 79, № 5 (2012) 781—787 [U. A. Boomу, V. S. Volobuev, V. F. Valeev, N. I. Dolgikh, M. G. Lukashevich, R. I. Khaibullin, V. I. Nuzhdin, V. B. Odzhaev. J.Appl. Spectr., 79 (2012) 773—779]

9. Ю. А. Бумай, Н. И. Долгих, А. А. Харченко, В. Ф. Валеев, В. И. Нуждин, Р. И. Хайбуллин, Ф. А. Нажим, М. Г. Лукашевич, В. Б. Оджаев. Журн. прикл. спектр., 81, № 2 (2014) 192—196 [Yu. A. Bumai, N. I. Dolgikh, A. A. Kharchenko, V. F. Valeev, V. I. Nuzhdin, R. I. Khaibullin, F. A. Nagim, M. G. Lukashevich, V. B. Odzhaev. J. Appl. Spectr., 81 (2014) 188—192]

10. А. А. Харченко, Д. И. Бринкевич, С. Д. Бринкевич, М. Г. Лукашевич, В. Б. Оджаев. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, № 4 (2015) 94—99

11. Ю. А. Бумай, Д. И. Бринкевич, Н. И. Долгих, И. А. Карпович, А. А. Харченко, М. Г. Лукашевич, В. Б. Оджаев. Весцi НАН Беларусі. Сер. Фіз-мат. навук, № 1 (2013) 92—96

12. Ю. А. Бумай, Н. И. Долгих, И. А. Карпович, А. А. Харченко, М. Г. Лукашевич, В. Б. Оджаев. Материалы. Технологии. Инструменты, № 4 (2012) 70—72

13. J. F. Ziegler, J. P. Biersack, U. Littmark. The Stopping and Range of Ions in Solids, New York, Pergamon Press (1985); SRIM-2008 software at http://www.srim.org/

14. A. Y.-C. Yu, N. M. Donovan, W. E. Spicer. Phys. Rev., 167, N 3 (1968) 670—673

15. U. Кreibig, M. Vollmer. Optical Properties of Metal Clusters, Berlin, Springer-Verlag (1995) 275—436

16. N. Kishimoto, Y. Takeda, N. Umeda, V.T. Crityna, Lee Saito. Nucl. Instr. Meth., 166B (2000) 840—844

17. А. Л. Степанов. ЖТФ, 74, № 2 (2004) 1—11

18. С. Г. Ястребов, Т. Аллен, В. И. Иванов-Омский, В. Чан, С. Жукотински. Письма в ЖТФ, 29, № 20 (2003) 49—57