Для цитирования:

Лобанок М.В., Мухаммад А.И., Гайдук П.И. Структурные и оптические характеристики гетероструктур SiC/Si, полученных методом быстрой вакуумно-термической карбидизации кремния. Журнал прикладной спектроскопии. 2022;89(2):204-209. https://doi.org/10.47612/0514-7506-2022-89-2-204-209

For citation:

Lobanok M.V., Mukhammad A.I., Gaiduk P.I. Structural and Optical Properties of SiC/Si Heterostructures Obtained Using Rapid Vaccum-Thermal Carbidization of Silicon. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2022;89(2):204-209. (In Russ.) https://doi.org/10.47612/0514-7506-2022-89-2-204-209