Для цитирования:

Оджаев В.Б., Петлицкий А.Н., Просолович В.С., Ковальчук Н.С., Соловьев Я.А., Жигулин Д.В., Шестовский Д.В., Янковский Ю.Н., Бринкевич Д.И. Спектры нарушенного полного внутреннего отражения азотированных структур SiO₂/Si. Журнал прикладной спектроскопии. 2022;89(4):498-504. https://doi.org/10.47612/0514-7506-2022-89-4-498-504

For citation:

Odzhaev V.B., Pyatlitski A.N., Prosolovich V.S., Kovalchuk N.S., Soloviev Ya.A., Zhygulin D.V., Shestovsky D.V., Yankovski Yu.N., Brinkevich D.I. Spectra of Attenuated Total Reflection of Nitrided SiO₂/Si Structures. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2022;89(4):498-504. (In Russ.) https://doi.org/10.47612/0514-7506-2022-89-4-498-504