PHOTOLUMINESCENCE PROPERTIES OF b-Ga2O3 THIN FILMS PRODUCED BY ION-PLASMA SPUTTERING
Abstract
About the Authors
O. M. BordunRussian Federation
B. O. Bordun
Russian Federation
I. Yo. Kukharskyy
Russian Federation
I. I. Medvid
Russian Federation
References
1. M. Passlack, M. Hong, E. F. Schubert, J. R. Kwo, J. P. Mannaerts, S. N. G. Chu, N. Moriya, F. A. Thiel. Appl. Phys. Lett., 66, N 5 (1995) 625-629
2. J.-G. Zhao, Z.-X. Zhang, Z.-W. Ma, H.-G. Duan, X.-S. Guo, E.-Q. Xie. Chinese Phys. Lett., 25, N 10, (2008) 3787-3789
3. K. Shimamura, E. G. Víllora, T. Ujiie, K. Aoki. Appl. Phys. Lett., 92, N 20 (2008) 201914 (1-3)
4. P. Wellenius, A. Suresh, J. V. Foreman, H. O. Everitt, J. F. Muth. Mater. Sci. Eng. B, 146, N 1-3 (2008) 252-255
5. T. Minami, T. Shirai, T. Nakatani, T. Miyata. Jpn. J. Appl. Phys., 39, N 6A (2000) L524-L526
6. T. Miyata, T. Nakatani, T. Minami. Thin Sol. Films, 373 (2000) 145-149
7. Z. Ji, J. Du, J. Fan, W. Wang. Opt. Mater., 28, N 4 (2006) 415-417
8. Y. Nakano, T. Jimbo. Appl. Phys. Lett., 82, N 2 (2003) 218-220
9. T. Minami, Y. Kuroi, T. Miyata, H. Yamada, S. Takata. J. Lumin., 72-74 (1997) 997-998
10. S.-A. Lee, S.-Y. Jeong, J.-Y. Hwang, J.-P. Kim, M.-G. Ha, C.-R. Cho. Integr. Ferroelectr., 74, N 1 (2005) 173-180
11. В. М. Калыгина, А. Н. Зарубин, В. А. Новиков, Ю. С. Петрова, О. П. Толбанов, А. В. Тяжев, С. Ю. Цупий, Т. М. Яскевич. ФТП, 47, № 5 (2013) 598-603
12. Y. Kokubun, K.Miura, F. Endo, S. Nakagomi. Appl. Phys. Lett., 90, N 3 (2007) 031912 (1-3)
13. J. Hao, M. Cocivera. J. Phys. D: Appl. Phys., 35, N 5 (2002) 433-438
14. Y. Wei, Y. Jinliang, W. Jiangyan, Z. Liying. J. Semicond., 33, N 7 (2012) 073003 (1-4)
15. Технология тонких пленок, справочник в 2-х т., Т. 1, под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга, Москва, Сов. радио (1977)
16. Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии, Москва, Техносфера (2010)
17. О. М. Бордун, И. И. Кухарский, Б. О. Бордун, В. Б. Лущанец. Журн. прикл. спектр., 81, № 5 (2014) 699-703 [O. M. Bordun, I. Yo. Kukharskyy, B. O. Bordun, V. B. Lushchanets. J. Appl. Spectr., 81, N 5 (2014) 771-775]
18. М. В. Фок. Тр. ФИАН, 59 (1972) 3-24
19. N. Ueda, H. Hosono, R. Waseda, H. Kawazoe. Appl. Phys. Lett., 70 (1997) 3561 (1-4)
20. Ч. Б. Лущик, А. Ч. Лущик. Распад электронных возбуждений с образованием дефектов в твердых телах, Москва, Наука (1989)
21. T. Harwig, F. Kellendonk. J. Solid State Chem., 24, N 3-4 (1978) 255-263
22. L. Binet, D. Gourier. J. Phys. Chem. Solids, 59, N 8 (1998) 1241-1249
23. Т. П. Пека, В. Ф. Коваленко, В. Н. Куценко. Люминесцентные методы контроля параметров полупроводниковых материалов и приборов, Киев, Техника (1986) 152
24. B. Liu, M. Gu, X. Liu. Appl. Phys. Lett., 91, N 17 (2007) 172102 (1-3)
25. M. Mohamed, C. Janowtz, I. Unger, R. Manzke, Z. Galazka, R. Uecker, R. Formari, J. R. Weber, J. B. Varley, C. G. Van der Walle. Appl. Phys. Lett., 97, N 21 (2010) 211903 (1-3)
26. L. Binet, D. Gourier. Appl. Phys. Lett., 77, N 8 (2000) 1138-1140
27. J. Zhang, B. Li, C. Xia, G. Pei, Q. Deng, Z. Yang, W. Xu, H. Shi, F. Wu, Y. Wu, J. Xu. J. Phys. Chem. Solids, 67, N 12 (2006) 2448-2451
Review
For citations:
Bordun O.M., Bordun B.O., Kukharskyy I.Y., Medvid I.I. PHOTOLUMINESCENCE PROPERTIES OF b-Ga2O3 THIN FILMS PRODUCED BY ION-PLASMA SPUTTERING. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2017;84(1):56-62. (In Russ.)