ОПРЕДЕЛЕНИЕ МАССОВОГО КОЭФФИЦИЕНТА ПОГЛОЩЕНИЯ В ДВУХСЛОЙНОЙ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ СИСТЕМЕ Co/Cr РЕНТГЕНОФЛУОРЕСЦЕНТНЫМ МЕТОДОМ

Предложен способ определения массового коэффициента поглощения при рентгенофлуоресцентном анализе двухслойных тонкопленочных систем Co/Cr на подложках из поликора с использованием простых в изготовлении унифицированных пленочных слоев, получаемых нанесением кобальта на подложки из пленки полимера. Рассчитаны поправочные коэффициенты, учитывающие ослабление первичного излучения рентгеновской трубки и интенсивности аналитической линии элемента нижнего слоя в верхнем слое.

1. Ю. А. Игнатова, А. Н. Еритенко, А. Г. Ревенко, А. Л. Цветянский. Аналитика и контроль, 15, № 2 (2011) 126—140

2. В.Р.Дарашкевич, Б. А.Малюков, Г.М.Туровская. Журн. аналит. химии, 34, № 1 (1979) 138—141

3. B. Kanrar, K. Sanyal, N. L. Misra, S. K. Aggarwal. Spectrochim. Acta B: At. Spectrosc., 101 (2015) 130—133

4. P. Jonnard, H. Maury, J.-M. Andre. X-Ray Spectrom., 36 (2007) 72—75

5. K. Nygård, K. Hämäläinen, S. Manninen, P. Jalas, J.-P. Ruottinen. X-Ray Spectrom., 33 (2004) 354—359

6. В. Я. Борходоев. Журн. аналит. химии, 53, № 6 (1998) 571—577

7. Н. И. Машин, Н. К. Рудневский, Ю. С. Калинин, А. И. Машин. Зав. лаб., 56, № 12 (1990) 34—36

8. Е. Е. Беляева, А. В. Ершов, А. И. Машин, Н. И. Машин, Н. К. Рудневский. Журн. аналит. химии, 53, № 6 (1998) 638—640

9. Н. И. Машин, А. Н. Туманова, Н. К. Рудневский. Журн. аналит. химии, 56, № 6 (2001) 651—654

10. Н. И. Машин, Р. В. Лебедева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Журн. прикл. спектр., 79, № 2 (2012) 328—332

11. Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Неорг. матер., 49, № 12 (2013) 1294—1299

12. Е. А. Черняева, А. А. Князева, Е. О. Зимина, И. С. Белякова, Н. И. Машин. Журн. прикл. спектр., 86, № 6 (2019) 936—941

13. А. С. Березин, О. Р. Мочалкина. Технология и конструирование интегральных микросхем, Москва, Радио и связь (1983) 84—86

14. В. П. Афонин, Н. И. Комяк, В. П. Николаев, Р. И. Плотников. Рентгенофлуоресцентный анализ, Новосибирск, Наука (1991) 128—129

15. Н. Ф. Лосев, А. Н. Смагунова. Основы рентгеноспектрального флуоресцентного анализа, Москва, Химия (1982) 97

16. В. Р. Дарашкевич, Б. А. Малюков. Зав. лаб., 46, № 6 (1980) 512—513

17. М. А. Блохин, И. Г. Швейцер. Рентгеноспектральный справочник, Москва, Наука (1982)