DETERMINATION OF THE MASS ABSORPTION COEFFICIENT IN TWO-LAYER Co/Cr THIN-FILM SYSTEMS BY THE X-RAY FLUORESCENCE METНOD
https://doi.org/10.47612/0514-7506-2022-89-5-668-673
Abstract
X-ray fluorescence analysis procedure for determining a mass absorption coefficient in two-layer Co/Cr thin-film systems on polycor substrates has been proposed. Easy-to-make thin-film layers of sputtered cobalt on a polymer film substrate were used. Correction coefficients have been calculated that take into account the attenuation of the primary radiation of the X-ray tube and the absorption intensity of the analytical line of a bottom layer element in a top layer.
About the Authors
E. A. CherniaevaRussian Federation
Nizhny Novgorod
A. A. Kniazeva
Russian Federation
Nizhny Novgorod
I. S. Kochetkova
Russian Federation
Nizhny Novgorod
N. I. Mashin
Russian Federation
Nizhny Novgorod
References
1. Ю. А. Игнатова, А. Н. Еритенко, А. Г. Ревенко, А. Л. Цветянский. Аналитика и контроль, 15, № 2 (2011) 126—140
2. В.Р.Дарашкевич, Б. А.Малюков, Г.М.Туровская. Журн. аналит. химии, 34, № 1 (1979) 138—141
3. B. Kanrar, K. Sanyal, N. L. Misra, S. K. Aggarwal. Spectrochim. Acta B: At. Spectrosc., 101 (2015) 130—133
4. P. Jonnard, H. Maury, J.-M. Andre. X-Ray Spectrom., 36 (2007) 72—75
5. K. Nygård, K. Hämäläinen, S. Manninen, P. Jalas, J.-P. Ruottinen. X-Ray Spectrom., 33 (2004) 354—359
6. В. Я. Борходоев. Журн. аналит. химии, 53, № 6 (1998) 571—577
7. Н. И. Машин, Н. К. Рудневский, Ю. С. Калинин, А. И. Машин. Зав. лаб., 56, № 12 (1990) 34—36
8. E. E. Belyaeva, A. V. Ershov, A. I. Mashin, N. I. Mashin, N. K. Rudnevskii. J. Anal. Chem., 53 (1998) 561—563
9. N. I. Mashin, A. N. Tumanova, N. K. Rudnevskii. J. Anal. Chem., 56 (2001) 581—584
10. N. I. Mashin, R. V. Lebedeva, A. N. Tumanova, A. A. Ershov. J. Appl. Spectr., 79 (2012) 307—311
11. Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Неорг. матер., 49, № 12 (2013) 1294—1299
12. E. A. Cherniaeva, A. A. Kniazeva, E. O. Zimina, I. S. Belyakova, N. I. Mashin. J. Appl. Spectr., 86 (2019) 1048—1052
13. А. С. Березин, О. Р. Мочалкина. Технология и конструирование интегральных микросхем, Москва, Радио и связь (1983) 84—86
14. В. П. Афонин, Н. И. Комяк, В. П. Николаев, Р. И. Плотников. Рентгенофлуоресцентный анализ, Новосибирск, Наука (1991) 128—129
15. Н. Ф. Лосев, А. Н. Смагунова. Основы рентгеноспектрального флуоресцентного анализа, Москва, Химия (1982) 97
16. В. Р. Дарашкевич, Б. А. Малюков. Зав. лаб., 46, № 6 (1980) 512—513
17. М. А. Блохин, И. Г. Швейцер. Рентгеноспектральный справочник, Москва, Наука (1982)
Review
For citations:
Cherniaeva E.A., Kniazeva A.A., Kochetkova I.S., Mashin N.I. DETERMINATION OF THE MASS ABSORPTION COEFFICIENT IN TWO-LAYER Co/Cr THIN-FILM SYSTEMS BY THE X-RAY FLUORESCENCE METНOD. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2022;89(5):668-673. (In Russ.) https://doi.org/10.47612/0514-7506-2022-89-5-668-673