ТРЕХКОМПОНЕНТНАЯ МОДЕЛЬ ЭФФЕКТИВНОЙ СРЕДЫ ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СОСТАВА СЛОЕВ НА КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИНАХ

Предлагаемая модель эффективной среды, в которой матричная среда Максвелла-Гарнетта заполнена средой Бруггемана, применена при решении обратных задач многоугловой эллипсометрии для определения состава переходных слоев, окружающих слой термического диоксида кремния на кремниевой подложке. Объемные факторы заполнения слоя корректно отражают возможные структурные превращения при окислении кристаллического кремния.

модель эффективной среды, многоугловая эллипсометрия, слой на подложке, переходные слои, окисление пластин кремния, effective medium model, multi-angle ellipsometry, substrate layer, transition layers, oxidation of silicon wafers

1. А. Н. Тихонов, В. Я. Арсенин. Методы решения некорректных задач, Москва, Наука (1975)

2. http://www.horiba.com/scientific/products/ellipsometers/spectroscopic-ellipsometers/uvisel/uvisel-spectro-scopic-ellipsometer-covering-a-range-from-fuv-to-nir-640

3. H. G. Tompkins, E. A. Irene. Handbook of Ellipsometry, William Andrew Publishing & Springer (2005)

4. Е. В. Астрова. ФТП, 33, № 10 (1999) 1264-1270

5. С. Е. Козик. Неразрушающий контроль и диагностика, № 2 (2015) 67-77

6. Л. А. Головань. УФН, 177, № 6 (2007) 619-638

7. T. E. Benson. J. Electron. Mater., 25, N 6 (1996) 955-964

8. D. E. Aspnes. Thin Solid Films, 89 (1982) 249-262

9. Н. И. Стаськов. Проблемы физики, математики и техники, № 2 (15) (2013) 18-24

10. Н. И. Стаськов. Проблемы физики, математики и техники, № 4 (25) (2015) 31-37

11. А. И. Дусь. ФТП, 42, № 11 (2008) 1400-1406

12. В. А. Гриценко. УФН, 179, № 9 (2009) 921-930

13. В. К. Милославский, Е. Д. Маковецкий, Л. А. Агеев, К. С. Белошенко. Опт. и спектр., 107, № 5 (2009) 854-859

14. P. H. Roussel, J. Vanhellemont, H. E. Maes. Thin Solid Films, 234 (1993) 423-427

15. В. И. Пшеницын, М. И. Абаев, Н. Ю. Лызлов. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях, Москва, Химия (1986)

16. М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики, пер. с англ., Москва, Наука (1970)

17. А. Б. Сотский. Материалы Всерос. науч. интернет-конф. с междунар. участием “Спектрометрические методы анализа”, Казань, 26 сентября 2013 г., 103-107

18. E. D. Palik. Нandbook of Optical Constants of Solids, Academic Press (1988)