A THREE-COMPONENT MODEL OF AN EFFECTIVE MEDIUM FOR DETERMINING THE COMPOSITION OF LAYERS ON SILICON PLATES
Abstract
The proposed model of an effective medium, in which the Maxwell-Garnett matrix medium is filled with the Bruggeman medium, is used in solving inverse problems of multi-angle ellipsometry to determine the composition of the transition layers surrounding the layer of thermal silicon dioxide on a silicon substrate. The volume factors of filling the layer correctly reflect possible structural transformations during the oxidation of crystalline silicon.
About the Authors
N. I. Staskov
A. A. Kuleshov Mogilev State University
Russian Federation
Russian Federation
L. I. Sotskaya
Belarusian-Russian State University
Russian Federation
Russian Federation
References
1. А. Н. Тихонов, В. Я. Арсенин. Методы решения некорректных задач, Москва, Наука (1975)
2. http://www.horiba.com/scientific/products/ellipsometers/spectroscopic-ellipsometers/uvisel/uvisel-spectro-scopic-ellipsometer-covering-a-range-from-fuv-to-nir-640/
3. H. G. Tompkins, E. A. Irene. Handbook of Ellipsometry, William Andrew Publishing & Springer (2005)
4. Е. В. Астрова. ФТП, 33, № 10 (1999) 1264-1270
5. С. Е. Козик. Неразрушающий контроль и диагностика, № 2 (2015) 67-77
6. Л. А. Головань. УФН, 177, № 6 (2007) 619-638
7. T. E. Benson. J. Electron. Mater., 25, N 6 (1996) 955-964
8. D. E. Aspnes. Thin Solid Films, 89 (1982) 249-262
9. Н. И. Стаськов. Проблемы физики, математики и техники, № 2 (15) (2013) 18-24
10. Н. И. Стаськов. Проблемы физики, математики и техники, № 4 (25) (2015) 31-37
11. А. И. Дусь. ФТП, 42, № 11 (2008) 1400-1406
12. В. А. Гриценко. УФН, 179, № 9 (2009) 921-930
13. В. К. Милославский, Е. Д. Маковецкий, Л. А. Агеев, К. С. Белошенко. Опт. и спектр., 107, № 5 (2009) 854-859
14. P. H. Roussel, J. Vanhellemont, H. E. Maes. Thin Solid Films, 234 (1993) 423-427
15. В. И. Пшеницын, М. И. Абаев, Н. Ю. Лызлов. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях, Москва, Химия (1986)
16. М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики, пер. с англ., Москва, Наука (1970)
17. А. Б. Сотский. Материалы Всерос. науч. интернет-конф. с междунар. участием “Спектрометрические методы анализа”, Казань, 26 сентября 2013 г., 103-107
18. E. D. Palik. Нandbook of Optical Constants of Solids, Academic Press (1988)
Review
For citations:
Staskov N.I., Sotskaya L.I. A THREE-COMPONENT MODEL OF AN EFFECTIVE MEDIUM FOR DETERMINING THE COMPOSITION OF LAYERS ON SILICON PLATES. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2017;84(5):703-709. (In Russ.)
Views: 320
Email this article 