

Исследование методом спектроскопии комбинационного рассеяния света концентрации носителей заряда и механических напряжений в графене, перенесенном с помощью различных каркасов
Аннотация
Проведены сравнительные исследования концентрации носителей заряда (n) и относительной деформации (e) в графене, синтезированном методом химического парофазного осаждения и перенесенном на поверхность подложки SiO2/Si с использованием двух различных каркасов — полиметилметакрилата (ПММА) и парафина — с последующей комплексной обработкой. Использован корреляционный метод анализа положений КР-активных мод. Установлено, что в случае использования парафина концентрация носителей заряда в графене меньше, чем для ПММА. Дальнейшая жидкофазная и термическая обработка, применяемая для удаления каркаса из парафина, приводит к росту n вплоть до 1.2 ∙ 1013 см–2. Для образцов графена, перенесенных с помощью каркаса из ПММА, тенденции в изменении n не наблюдается независимо от видов обработки. Разброс значений e для графена, перенесенного с помощью парафина с последующим применением жидкофазной и термической обработки в вакууме, больше, чем для графена, перенесенного с помощью ПММА и прошедшего аналогичную обработку: от –0.01875 до –0.1488 % и от –0.04375 до –0.0875 %. Установлено, что помимо непосредственно самого материала каркаса для переноса определяющее влияние на качество графена оказывает сочетание методов обработки. Оптимизация этих параметров позволяет повысить эффективность методики переноса графена с одновременным улучшением эксплуатационных характеристик устройств графеновой наноэлектроники.
Для цитирования:
Дронина Е.А., Михалик М.М., Ковальчук Н.Г., Нигериш К.А., Фельшерук А.В., Прищепа С.Л., Комиссаров И.В. Исследование методом спектроскопии комбинационного рассеяния света концентрации носителей заряда и механических напряжений в графене, перенесенном с помощью различных каркасов. Журнал прикладной спектроскопии. 2023;90(4):584-592.
For citation:
Dronina E.A., Mikhalik M.M., Kovalchuk N.G., Niherysh K.A., Felsharuk A.V., Prischepa S.L., Komissarov I.V. Raman Spectroscopy Study of the Charge Carrier Concentration and Mechanical Stresses in Graphene Transferred Employing Different Frames. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2023;90(4):584-592. (In Russ.)