Оптические характеристики приповерхностного слоя рутила, имплантированного ионами кобальта

Методом спектроскопии отражения и пропускания света в видимой области спектра исследована монокристаллическая пластина рутила (TiO₂), имплантированная ионами кобальта дозой 1.25 ∙ 10¹⁷ ион/см² с энергией 40 кэВ при постоянной плотности тока в ионном пучке 2 мкА/см² и температуре облучаемой подложки 620 °С. Получены спектральные зависимости оптических параметров модифицированного слоя. Рассчитана оптическая щель Тауца слоя 0.2—0.3 эВ.

1. D. Strukov, G. Snider, D. Stewart. Nature, 453 (2008) 80—83, doi: 10.1038/nature06932

2. L. A. Reznichenko, L. A. Shilkina, S. V. Titov, O. N. Razumovskaya. Crystallogr. Rep., 48 (2003) 377—383

3. R. I. Khaibullin, Sh. Z. Ibragimov, L. R. Tagirov. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., B257 (2007) 369—373, doi: 10.1016/j.nimb.2007.01.064

4. The Stopping and Range of Ions in Matter, Eds. J. F. Ziegler, J. P. Biersack, M. D. Ziegler, SRIM Company (2008)

5. A. S. Valeev. Opt. Spectrosc., 15 (1963) 269—274

6. А. В. Раков. Спектрофотометрия тонкопленочных полупроводниковых структур, Москва, Советское радио (1975)

7. С. Метфессель. Тонкие пленки, их изготовление и измерение, Москва, Госэнергоиздат (1963)

8. H. Murmann. Zeitshrift fur Physic, 80 (1933) 167

9. J. Tauc, R. Grigorovici, A. Vancu. Phys. Status Solidi, 15 (1966) 627

10. В. И. Фистуль. Введение в физику полупроводников, Москва, Высшая школа (1984)