Для цитирования:

Бринкевич Д.И., Гринюк Е.В., Бринкевич С.Д., Просолович В.С., Колос В.В., Зубова О.А., Ластовский С.Б. Инфракрасная Фурье-спектроскопия структур фоторезист/кремний, используемых для обратной литографии. Журнал прикладной спектроскопии. 2023;90(6):863-869.

For citation:

Brinkevich D.I., Grinyuk E.V., Brinkevich S.D., Prosolovich V.S., Kolos V.V., Zubova O.A., Lastovskii S.B. IR-Fourier Spectroscopy of Photoresist/Silicon Structures for Explosive Lithography. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2023;90(6):863-869. (In Russ.)