Микроструктура и свойства тонких пленок циркония, полученных при высокочастотном лазерном осаждении

Методом высокочастотного импульсно-периодического f ~ 6—10 кГц воздействия лазерного излучения с длиной волны l = 1.064 мкм и плотностью мощности q = 120 МВт/см² на цирконий при давлении в вакуумной камере p = 2.2 Па получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой подложке. Изучена морфология тонких пленок циркония с помощью атомно-силовой микроскопии. Получены спектры пропускания пленок циркония в видимой, ближней и средней ИК-областях. Проанализированы электрофизические характеристики структур Zr/Si.

1. Л. М. Лыньков, Т. В. Молодечкина, В. А. Богуш, Т. В. Борботько. Докл. БГУИР, № 3 (2004) 73—84

2. Xu Jingping, Bai Tiecheng, Li Xingjiao, Zheng Xiangbin, Su Wuda, An Changwu. Vacuum, 43, N 11 (1992) 1051—1053

3. Н. Е. Некрасова, С. С. Кругликов. Физикохимия поверхности и защита материалов, 47, № 6 (2011) 668—672

4. С. В. Иванова, Э. М. Глаговский, В. К. Орлов, И. А. Шлепов, К. Ю. Никоноров, В. В. Рожко, В. А. Глебов, С. Я. Бецофен. Ядерная физика и инжиниринг, 2, № 3 (2011) 224—234

5. D. G. Olmedo, D. R. Tasat, P. Evelson, R. Rebagliatti, M. B. Guglielmotti, R. L. Cabrini. J. Biomed. Mater. Res. A, 98A, N 4 (2011) 604—613

6. R. H. Nielsen, J. H. Schlewitz, H. Neilson. Kirk-Othmer Encycl. Chem. Technol. (2000) 1—46

7. S. Q. Hussain, S. Kim, S. Ahn, N. Balaji, Y. Lee, J. H. Lee, J. Yi. Solar Energy Mater. Solar Cells, 122 (2014) 130—135

8. B. Zhang, X. Dong, X. Xu, P. Zhao, J. Wu. Solar Energy Mater. Solar Cells, 92, N 10 (2008) 1224—1229

9. D. A. Aldemir. Modern Phys. Lett. B, 34, N 10 (2020) 2050095

10. E. H. Rhoderick. IEE Proc. I, Solid-State Electron. Dev., 129, N 1 (1982) 1—4

11. Л. Я. Минько, А. Н. Чумаков, Н. А. Босак. Квант. электрон., 17, № 11 (1990) 1480—1484