ИК-Фурье-спектроскопия нарушенного полного внутреннего отражения пленок полиимида на пластинах монокристаллического кремния

Исследованы спектры нарушенного полного внутреннего отражения пленок полиимида PI2610, сформированных на пластинах монокристаллического кремния методом центрифугирования. Облучение электронами с энергией 5 МэВ проведено на линейном ускорителе в интервале доз 1 · 10¹⁴— 2 · 10¹⁵ cм^–2. Наиболее интенсивными в спектре полиимидных пленок PI2610 являются полосы колебаний связи C-N-C_st имидного цикла (1349 см^–1), колебаний ароматического кольца (1517 см^–1), валентных колебаний группы C=O_str имидного цикла (1700 см^–1) и валентных колебаний С-С-связи  в СО-С_st-группе (1074 см^–1), а также полосы деформационных колебаний С-Н-связей с максимумами при 734 и 828 см^–1. При начальной дозе 1 · 10¹⁴ cм^–2 наблюдалось изменение спектральной формы  и интенсивности полос с максимумами при 1700 и 1349 см^–1, соответствующих колебаниям С=О-  и C=N-C_str-групп. Предполагается, что это обусловлено релаксацией метастабильных состояний указанных групп. При дозе 2 · 10¹⁵ cм^–2 обнаружено уменьшение интенсивности полос, соответствующих асимметричным и симметричным валентным колебаниям С-Н₂-связей. Интенсивность полос нарушенного полного внутреннего отражения, обусловленных колебаниями С=О- и С-N-связей ароматических и имидных циклов, практически не изменялась.

Ключевые слова: ··.

1. M. Zawierta, M. Martyniuk, R. D. Jeffery, G. Putrino, A. Keating, K. K. M. B. Dilusha Silva, L. Faraone. J. Microelectromech. Systems, 26, N 3 (2017) 593—600

2. А. А. Жуков, С. А. Жукова, Ю. С. Четверов, П. Г. Бабаевский. Прикл. физика, № 6 (2005) 154—159

3. В. В. Коршак, В. В. Ляшевич, В. В. Родэ, Я. С. Выгодский. Высокомол. соединения, А22, № 11 (1980) 2559—2566

4. С. Д. Бринкевич, Е. В. Гринюк, Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович. ХВЭ, 54, № 5 (2020) 377—386 [S. D. Brinkevich, E. V. Grinyuk, D. I. Brinkevich, V. S. Prosolovich. High Energy Chemistry, 54, N 5 (2020) 342—351]

5. Б. Н. Тарасевич. ИК спектры основных классов органических соединений. Справочные материалы, Москва, МГУ (2012)

6. А. А. Харченко, Ю. А. Федотова, И. А. Зур, Д. И. Бринкевич, С. Д. Бринкевич, Е. В. Гринюк, В. С. Просолович, С. А. Мовчан, Г. Е. Ремнев, C. А. Линник, С. Б. Ластовский. ХВЭ, 56, № 5 (2022) 378—387 [A. A. Kharchenko, Yu. A. Fedotova, I. A. Zur, D. I. Brinkevich, S. D. Brinkevich, E. V. Grinyuk, V. S. Prosolovich, S. A. Movchan, G. E. Remnev, S. A. Linnik, S. B. Lastovskii. High Energy Chemistry, 56, N 5 (2022) 354—362]

7. С. А. Вабищевич, Н. В. Вабищевич, Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович, В. В. Колос, О. А. Зубова. Вестн. Полоц. гос. ун-та. Серия С. Фундамент. науки. Физика, № 11 (2022) 53—58

8. Э. Преч, Ф. Бюльманн, К. Аффольтер. Определение строения органических соединений. Таблицы спектральных данных, Москва, Мир, Бином (2006)

9. I. Poljansek, U. Sebenik, M. Krajnc. J. Appl. Polymer Sci., 99 (2006) 2016—2028

10. С. Д. Бринкевич, Е. В. Гринюк, Р. Л. Свердлов, Д. И. Бринкевич, В. С.Просолович, А. Н. Петлицкий. Журн. прикл. спектр., 87, № 4 (2020) 589—594 [S. D. Brinkevich, E. V. Grinyuk, D. I. Brinkevich, R. L. Sverdlov, V. S. Prosolovich, A. N. Pyatlitski. J. Appl. Spectr., 87, N 4 (2020) 647—651]

11. В. Б. Оджаев, А. Н. Петлицкий, В. С. Просолович, Н. С. Ковальчук, Я. А. Соловьев, Д. В. Жигулин, Д. В. Шестовский, Ю. Н. Янковский, Д. И. Бринкевич. Журн. прикл. спектр., 89, № 4 (2022) 498—504 [V. B. Odzhaev, A. N. Pyatlitski, V. S. Prosolovich, N. S. Kovalchuk, Ya. A. Soloviev, D. V. Zhygulin, D. V. Shestovsky, Yu. N. Yankovski, D. I. Brinkevich. J. Appl. Spectr., 89, N 4 (2022) 665—670]

12. S. Diaham, M.-L. Locatelli, R. Khazak. High Performance Polymers – Polyimides Based. From Chemistry to Applications, Ed. Marc Abadie (2012), doi: 10.5772/53994

13. С. Д. Бринкевич, Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович, Р. Л. Свердлов. ХВЭ, 55, № 1 (2021) 66—75 [S. D. Brinkevich, D. I. Brinkevich, V. S. Prosolovich, R. L. Sverdlov. High Energy Chemistry, 55, N 1 (2021) 65—74]

14. В. В. Петров, Ю. А. Пупков. ЖТФ, 86, № 7 (2016) 65—68 [V. V. Petrov, Yu. A. Pupkov. Technical Physics, 61, N 7 (2016) 1023—1026]