Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства пьезокерамических пленок, полученных методом лазерного осаждения в вакууме

Методом высокочастотного импульсно-периодического (f ~ 10—12 кГц) воздействия лазерного излучения с длиной волны 1.064 мкм и плотностью мощности q = 33 МВт/см² на пьезокерамику ЦТС-19 при давлении в вакуумной камере p = 2.2 * 10^–2 мм рт. ст. получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой и стеклянной подложках. С помощью атомно-силовой микроскопии изучена морфология тонких пьезокермических пленок. Исследованы спектры пропускания пленок в видимой, ближней и средней ИК-областях. Проведен анализ электрофизических свойств структуры ЦТС-19/Si на кремниевой подложке. 

1. S. Baba, H. Tsuda, J. Akedo. IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 55, N 5 (2008) 1009—1016

2. K. Y. Choi, T. S. Kim, D. K. Choi, J. Y. Park, D. S. Yoon. Integrated Ferroelectrics, 69, N 1 (2005) 93—101

3. S. K. Pandey, A. R. James, C. Prakash, T. C. Goel, K. Zimik. Mater. Sci. Eng., B, 112, N 1 (2004) 96—100

4. V. V. Petrov, Y. N. Varzarev, A. S. Kamentsev, A. A. Rozhko, O. A. Pakhomova. Nano Hybrids and Composites, 28 (2020) 65—70

5. L. S. Jang, K. C. Kuo. Sensors, 7, N 4 (2007) 493—507

6. S. R. Krishnamoorthi, K. S. Venkatesh, R. Ilangovan. Adv. Cond. Matter Phys., 2013 (2013) 1—6

7. S. R. Krishnamoorthi, K. S. Venkatesh, R. Ilangovan. J. Ovonic Res., 9, N 3 (2013) 81—88

8. J. Hong, H. W. Song, S. Hong, H. Shin, K. No. J. Appl. Phys., 92 (2002) 7434—7441

9. N. Izyumskaya, Y. I. Alivov, S. J. Cho, H. Morkoç, H. Lee, Y. S. Kang. Critical Reviews in Solid State and Materials Sciences, 32, N 3-4 (2007) 111—202

10. G. D. Shilpa, K. Sreelakshmi, M. G. Ananthaprasad. IOP Conference Series: Materials Science and Engineering, 149 (2016) 012190

11. T. Ito, T. Nishi, T. Umegaki, H. Hida, I. Kanno. J. Phys.: Conference Series, 1052 (2018) 012094

12. B. Beklešovas, A. Iljinas, V. Stankus, J. Čyvienė, M. Andrulevičius, M. Ivanov, J. Banys. Coatings, 12 (2022) 717

13. А. М. Солодуха, И. Е. Шрамченко, А. М. Ховив, В. А. Логачева. ФТТ, 49, № 4 (2007) 719—722

14. Экспресс-информация по зарубежной электронной технике, вып. 17 (6691) от 29 августа 2019 г. (2019)

15. Л. Я. Минько, А. Н. Чумаков, Н. А. Босак. Квант. электрон., 17, № 11 (1990) 1480—1484

16. А. Н. Магунов, О. В. Лукин. Микроэлектроника, 25, № 2 (1996) 97—111

17. В. Н. Игумнов. Физические основы микроэлектроники: учебное пособие, изд. 2-е, Марийский государственный технический университет, Йошкар-Ола (2010)

18. М. В. Каменщиков, А. В. Солнышкин, А. А. Богомолов, И. П. Пронин. ФТТ, 53, № 10 (2011) 1975—1979