Влияние лазерного излучения на процесс образования налетов на поверхности оптических деталей, расположенных в герметизированном объеме

Исследовано влияние лазерного излучения на процесс образования налетов на поверхности оптических деталей, расположенных в замкнутых объемах, содержащих герметизирующие компаунды типа ВГО-1, КЛТ-30, У-2-28, К-68. Для определения состава налетов применялись методы рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и ИК-спектроскопии; состава газовой среды — метод масс-спектрометрии. Исследованы кинетика образования налетов в зависимости от температуры среды и параметров лазерного излучения. Рассмотрены возможные механизмы образования налетов и методы их устранения.

1. В. А. Матвеев, М. А. Басараб, Б. С. Лунин, Р. А. Захарян, Е. А. Чуманкин. Машиностроение и компьютерные технологии, № 6 (2014) 222—231

2. М. А. Басараб, Р. А. Захарян, В. А. Крейсберг, Б. С. Лунин, В. А. Матвеев. Приборы и техника эксперимента, № 6 (2015) 108—112

3. В. И. Струнин, К. А. Белоусов, Г. Ж. Худайбергенов, Е. А. Чукавов, А. М. Ярош. Техника радиосвязи, № 3 (2018) 82—90

4. С. А. Гарелина, Р. А. Захарян, М. А. Казарян, И. Н. Феофанов. Альтернативная энергетика и экология, 1, № 165 (2015) 85—96

5. B. S. Lunin, V. A. Kreisberg, R. A. Zakharyan, M. A. Basarab. Vacuum, 184 (2021) 109964

6. С. Н. Гладких, Е. Н. Башарина, О. Л. Троицкая. Матер. конф. “Решетневские чтения”, 1, № 18 (2014) 106—110

7. Н. Н. Грошкова, В. Л. Дыляев, В. С. Наумов, О. Е. Сидорюк, Л. А. Скворцов, А. А. Якунин. Электронная техника. Сер. 11. Лазерная техника и оптоэлектроника, № 1 (1989) 46—50

8. А. В. Беликов, И. С. Клочков, И. В. Алексеев, С. А. Капралов. Науч.-тех. вестн. информ. технологий, механики и оптики, 21, № 2 (2021) 154—162

9. А. В. Беликов, И. С. Клочков, И. В. Алексеев, С. А. Капралов. Науч.-тех. вестн. информ. технологий, механики и оптики, 22, № 1 (2022) 1—9

10. C. W. Schneider, T. Lippert. Laser Ablation and Thin Film Deposition, Springer Series in Materials Science, 139 (2010) 89—112

11. H.-U. Krebs, M. Weisheit, J. Faupel, E. Süske, T. Scharf, C. Fuhse, M. Störmer, K. Sturm, M. Seibt, H. Kijewski, D. Nelke, E. Panchenko, M. Buback. Adv. Solid State Phys., 43 (2003) 505—518

12. A. Dler. Int. J. Modern Phys. Appl., 1, N 4 (2015) 193—199

13. K. Wasa, M. Kitabatake, H. Adechi. Thin Film Materials Technology: Sputtering of Compound Materials, Springer, William Andrew Inc publishing, New York (2004)

14. В. Ю. Фоминский, Р. И. Романов, В. Н. Неволин, А. Г. Гнедовец. Перспективные материалы, № 2 (2011) 5—16

15. О. Н. Долгов, М. Г. Воронков, М. П. Гринблат. Кремнийорганические каучуки и материалы на их основе, Ленинград, Химия (1976) 101—106

16. К. Н. Кан, Л. Д. Николаевич, Л. Д. Гинзбург. Герметизация изделий полимерными материалами, Ленинград, Химия (1976) 17—24

17. Я. Я. Понуровский. Аналитика, 9, № 1 (2019) 68—74

18. Л. А. Скворцов. Квант. электрон., 42, № 1 (2012) 1—11

19. Д. Васильев, М. Коняев, А. Ким, Л. Абрамов. Фотоника, 1 (2016) 70—83

20. А. Эшкин. Успехи физ. наук, 110, № 1 (1973) 101—116

21. И. О. Ковалева, О. Б. Ковалев. Прикл. механика и тех. физика, 53, № 1 (2012) 67—79

22. В. Ф. Бункин, Н. А. Кириченко, Б. С. Лукьянчук. Изв. АН СССР, 46, № 6 (1982) 1150—1169

23. Дж. Калверт, Дж. Питтс. Фотохимия, Москва, Мир (1968)