Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства пленок Nb₂O₅

Представлены результаты комплексного исследования тонких пленок оксида ниобия Nb₂O₅, осажденных в вакууме (p = 2.2 Па) на кварцевую и кремниевую подложки при многоимпульсном высокочастотном (f ~ 10—12 кГц) лазерном воздействии на керамическую мишень при плотности мощности лазерного излучения q = 81 МВт/см². Изучена морфология полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии, выявлены особенности спектров пропускания. Проведен анализ фотоэлектрических свойств структуры Nb₂O₅/Si.

1. E. Çetinörgü-Goldenberg, J.-E. Klemberg-Sapieha, L. Martinu. Appl. Opt., 51, N 27 (2012) 6498—6507

2. A. V. Rosario, E. C. Pereira. Sol. Energy Mater. Sol. Cells, 71, N 1 (2002) 41—50

3. C. C. Lee, C. L. Tien, J. C. Hsu. Appl. Opt., 41, N 10 (2002) 2043—2047

4. В. Reichmann, A. J. Bard. J. Electrochem. Soc., 127, N 1 (1980) 241—242

5. J. B. Xia, N. Masaki, K. J. Jiang, S. J. Yanagida. Photochem. and Photobiol. A: Chemistry, 188, N 1 (2007) 120—127

6. M. E. Gimon-Kinsel, K. J. Balkus, Jr. Microporous and Mesoporous Materials, 28, N 1 (1999) 113—123

7. F. Lai, M. Li, H. Wang, H. Hu, X. Wang, J. G. Hou, Y. Song, Y. Jiang. Thin Solid Films, 488, N 1-2 (2005) 314–320

8. Y. Zhao, X. Zhou, L. Ye, S. Chi Edman Tsang. Nano Rev., 3, N 1 (2012) 17631(1—11)

9. Y. Huang, Y. Xu, S.-J. Ding, H.-L. Lu, Q.-Q. Sun, D. W. Zhang, Z. Chen. Appl. Surf. Sci., 257, N 16 (2011) 7305—7309

10. R. A. Rani, A. S. Zoolfakar, A. P. O’Mullane, M. W. Austin, K. Kalantar-Zadeh. J. Mater. Chem. A, 2, N 38 (2014) 15683—15703

11. N. C. Emeka, P. E. Imoisili, T.-C. Jen. Rev. Coatings, 10, N 12 (2020) 1246(1—28)

12. R. Panetta, A. Latini, I. Pettiti, C. Cavallo. Mater. Chem. Phys., 202 (2017) 289—301

13. R. Chandrasekharan, I. Park, R. I. Masel, M. A. Shannon. J. Appl. Phys., 98, N 11 (2005) 114908

14. J.-P. Masse, H. Szymanowski, O. Zabeida, A. Amassian, J. E. Klemberg-Sapieha, L. Martinu. Thin Solid Films, 515, N 4 (2006) 1674—1682

15. H. Szymanowski, O. Zabeida, J. E. Klemberg-Sapieha, L. Martinu. J. Vac. Sci. Technol. A Vacu- um, Surfaces, Film, 23, N 2 (2005) 241—247

16. S. H. Mujawar, A. I. Inamdar, S. B. Patil, P. S. Patil. Solid State Ionics, 177, N 37-38 (2006) 3333—3338

17. A. M. Al-Baradi, M. M. El-Nahass, A. M. Hassanien, A. A. Atta, M. S. Alqahtani, A. O. Aldawsari. Optik (Stuttg), 168 (2018) 853—863

18. R. Georgiev, B. Georgieva, M. Vasileva, P. Ivanov, T. Babeva. Adv. Cond. Matter Phys., 2015, (2015) 403196 (1—8)

19. E. T. Salim, H. T. Halboos. Mater. Res. Express, 6, N 6 (2019) 066401

20. M. Abood, E. T. Salim, J. A. Saimon. J. Ovonic Res., 15, N 2 (2019) 109—115

21. E. T. Salim, J. A. Saimon, M. K. Abood, M. A. Fakhri. Opt. and Quantum Electron., 52, N 10 (2020) 463

22. А. Н. Чумаков, В. Б. Авраменко, Н. А. Босак. Журн. прикл. спектр., 79, № 2 (2012) 279—287

23. В. Ф. Кабанов, А. М. Свердлова, Д. А. Коротков. ФТП, 30, № 10 (1996) 1756—1760

24. C. Van Opdorp, H. K. J. Kanerva. Solid State Electron., 10, N 5 (1967) 401—421

25. M. J. Cristea. Electron. Instrum. Eng. Int. J. (EEIEJ), 1, N 3 (2014) 29—38