Влияние тока разряда на параметры плазмы, поддерживаемой полым прямоугольным катодом

В разряде с полым катодом измерены зависимости интенсивности свечения (I) плазмы, функции распределения электронов по энергиям (ФРЭЭ), концентрации (Ne) и средней энергии (<u>) электронов от тока разряда и локализации измерений. Установлено, что вблизи полого катода вид ФРЭЭ существенно зависит от тока разряда. При токе 50 мA вид би-максвелловский, при увеличении тока на ФРЭЭ появляется локальный максимум, положение и амплитуда которого изменяются по мере увеличения тока разряда. Данные изменения приводят к линейному росту средней энергии электронов. Концентрация электронов линейно возрастает при изменениях тока от 50 до 200 мA, затем величина Ne перестает зависеть от тока разряда в диапазоне 200—450 мA. Интенсивности свечения отдельных линий атома He имеют линейную зависимость от тока разряда

1. M. E. Pillow. Spectrochim. Acta Part B: Atom. Spectroscopy, 36, N 8 (1981) 821—843, https://doi.org/10.1016/0584-8547(81)80064-X

2. R. Mavrodineanu. J. Res. Nat. Bureau Standards, 89, N 2 (1984) 143—185, https://doi.org/10.6028/jres.089.009

3. S. D. Kovaleski, M. J. Patterson, G. C. Soulas, T. R. Sarver-Verhey. Proc. 27th Int. Electric Propulsion Conf., October 14–19, 2001, Pasadena, California E-13096 (2002), https://ntrs.nasa.gov/citations/20020010171

4. I. L. Alberts, D. S. Barratt, A. K. Ray. J. Display Technol., 6, N 2 (2010) 52—59, https://doi.org/10.1109/JDT.2009.2031924

5. S. Muhl, A. Pérez. Thin Solid Films, 579 (2015) 174—198, https://doi.org/10.1016/j.tsf.2015.02.066

6. Y. D. Korolev, N. N. Koval. J. Phys. D: Appl. Phys., 51 (2018) 323001, https://doi.org/10.1088/1361-6463/aacf10

7. A. V. Bernatskiy, I. V. Kochetov, V. N. Ochkin. Plasma Phys. Rep., 46 (2020) 874—919, https://doi.org/10.1134/S1063780X20090020

8. D. M. Goebel, G. Becatti, I. G. Mikellides, A. Lopez Ortega. J. Appl. Phys., 130 (2021) 050902, https://doi.org/10.1063/5.0051228

9. A. V. Bernatskiy, I. V. Kochetov, V. N. Ochkin. Plasma Sources Sci. and Technol., 28 (2019) 105002, https://doi.org/10.1088/1361-6595/ab4301

10. В. Лохте-Хольтгревен. Методы исследования плазмы. Спектроскопия, лазеры, зонды, Москва, Мир (1971)

11. Ю. А. Иванов, Ю. А. Лебедев, Л. С. Полак. Методы контактной диагностики в неравновесной плазмохимии, Москва, Наука (1981)

12. В. И. Демидов, Н. Б. Колоколов, А. А. Кудрявцев. Зондовые методы исследования низкотемпературной плазмы, Москва, Энергоатомиздат (1996)

13. A. V. Bernatskiy, I. I. Draganov, V. N. Ochkin. Plasma Phys. Rep., 52, N 4 (2026) 379—419, https://doi.org/10.1134/S1063780X26600222

14. F. B. Yousif, A. B. Mondragon. IEEE Trans. Plasma Sci., 40, N 6 (2012) 1715—1723, https://doi.org/10.1109/TPS.2012.2192453

15. B. B. Sahu, J. G. Han, M. Hori, K. Takeda. J. Appl. Phys., 117 (2015) 023301, https://doi.org/10.1063/1.4905541

16. S. Mathioudaki, C. Vandenabeele, R. Tonneau, A. Pflug, S. Lucas. J. Vacuum Sci. Technol. A, 37 (2019) 031301, https://doi.org/10.1116/1.5064690

17. Q. A. Abbas, A. F. Ahmed, F. A. H. Mutlak. Optik, 242 (2021) 167260, https://doi.org/10.1016/j.ijleo.2021.167260

18. A. I. Shumeiko, V. D. Telekh, S. V. Ryzhkov. Symmetry, 14, N 10 (2022) 1983, https://doi.org/10.3390/sym14101983

19. Y. Wang, H. S. Zhou, X. C. Li, H. D. Liu, Y. W. Zhu, G. N. Luo. Phys. Scripta, 99 (2024) 065604, https://doi.org/10.1088/1402-4896/ad4290

20. Y. Oshio, S. Masuyama, H. Watanabe, I. Funaki. J. Electric Propulsion, 4 (2025) 15, https://doi.org/10.1007/s44205-025-00115-3

21. A. V. Bernatskiy, I. I. Draganov, I. V. Kochetov, V. N. Ochkin. Plasma Phys. Rep., 51 (2025) 340—349, https://doi.org/10.1134/S1063780X25602603

22. A. V. Bernatskiy, I. I. Draganov, V. N. Ochkin. Plasma Phys. Rep., 52, N 5 (2026) 584—590, https://doi.org/10.1134/S1063780X26600295

23. V. A. Lisovskiy, R. O. Osmayev, D. I. Khilko, V. D. Yegorenkov. Problems Atom. Sci. and Technol., 122, N 4 (2019) 159—164, https://doi.org/10.46813/2019-122-159

24. V. A. Lisovskiy, S. V. Dudin, P. P. Platonov, R. O. Osmayev, V. D. Yegorenkov. Problems Atom. Sci. and Technol., 142, N 6 (2022) 79—83, https://doi.org/10.46813/2022-142-079

25. V. Yu. Bazhenov, V. V. Tsiolko, V. M. Piun. Problems Atom. Sci. and Technol., 158 (2025) 83—86, https://doi.org/10.46813/2025-158-083

26. С. Н. Андреев, А. В. Бернацкий, В. Н. Очкин. Журн. прикл. спектр., 88, № 2 (2021) 227—230 S. N. Andreev, A. V. Bernatskiy, V. N. Ochkin. J. Appl. Spectr., 88, N 2 (2021) 289—292, https://doi.org/10.1007/s10812-021-01171-x.

27. A. V. Bernatskiy, I. I. Draganov, N. A. Dyatko, I. V. Kochetov, V. V. Lagunov, V. N. Ochkin. Phys. Rev. E, 112, (2025) 025204, https://doi.org/10.1103/hfnf-92bq

28. A. V. Bernatskiy, I. I. Draganov, N. A. Dyatko, I. V. Kochetov, V. V. Lagunov, V. N. Ochkin. Plasma Chem. and Plasma Proc., 45, (2025) 993—1009, https://doi.org/10.1007/s11090-025-10552-5

29. A. V. Bernatskiy, I. I. Draganov, N. A. Dyatko, I. V. Kochetov, V. V. Lagunov, V. N. Ochkin. Vacuum, 235 (2025) 114162, https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2025.114162

30. A. V. Bernatskiy, I. I. Draganov, N. A. Dyatko, I. V. Kochetov, V. V. Lagunov, V. N. Ochkin. Vacuum, 246 (2026) 115062, https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2025.115062

31. A. V. Bernatskiy, I. I. Draganov, N. A. Dyatko, I. V. Kochetov, V. V. Lagunov, V. N. Ochkin. Vacuum, 249 (2026) 115302, https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2026.115302

32. S. N. Andreev, A. V. Bernatskiy, N. A. Dyatko, I. V. Kochetov, V. N. Ochkin. Plasma Sources Sci. and Technol., 30 (2021) 095004, https://doi.org/10.1088/1361-6595/ac1ee2

33. A. V. Bernatskiy, I. I. Draganov, N. A. Dyatko, I. V. Kochetov, V. N. Ochkin. Plasma Chem. and Plasma Proc., 44, N 1 (2024) 651—666, https://doi.org/10.1007/s11090-023-10378-z