Формирование диэлектрического материала на основе окисленного пористого кремния и оксида титана для интегральных оптических волноводов

Продемонстрирована возможность формирования диэлектрического материала на основе окисленного пористого кремния и оксида титана путем осаждения последнего в пористый кремний зольгель методом и последующего высокотемпературного окисления. Полученный в результате реализации предложенной методики диэлектрический материал характеризуется увеличенным показателем преломления, что делает его перспективным для создания интегральных оптических канальных волноводов с низкими потерями в объемных микросборках электронных схем с оптическими соединениями.

1. P. Yu, H. Xu, Z. Wang. Integrated Nanophotonics: Platforms, Devices, and Applications, New Jersey, Wiley (2023) 1—52

2. С. К. Лазарук, В. П. Бондаренко, В. Е. Борисенко, Н. В. Гапоненко, Г. Г. Горох, А. А. Лешок, Д. Б. Мигас, Е. Б. Чубенко. Докл. БГУИР, 22 (2024) 7—19

3. В. П. Бондаренко, В. С. Вариченко, А. М. Дорофеев, Н. М. Казючиц, В. А. Лабунов, В. Ф. Стельмах. Письма в ЖТФ, 19 (1993) 73—76

4. V. P. Bondarenko, A. M. Dorofeev, N. M. Kazuchits. Microelectron. Eng., 28 (1995) 447—450

5. M. Balucani, V. Bondarenko, L. Dolgyi, G. Lamedica, A. Ricciardelli, E. Viarengo, N. Vorozov, A. Ferrari. Mater. Sci. Sem. Proc., 3 (2000) 351—355

6. N. Vorozov, L. Dolgyi, V. Yakovtseva, V. Bondarenko, M. Balucani, G. Lamerica, A. Ferrari, G. Vitrant, J. E. Broquin, T. M. Benson, H. F. Arrand, P. Sewell. Electron. Lett., 36 (2000) 722—723

7. M. Balucani, V. Bondarenko, N. Vorozov, A. Ferrari. Phys. E: Low-Dimentional Syst. Nanostruct., 16 (2003) 574—579

8. M. Balucani, V. Bondarenko, A. Klusko, A. Ferrari. Opt. Mater., 27 (2005) 776—780

9. A. Kellarev, S. Ruschin. J. Lightwave Technol., 37 (2019) 3439—3443

10. M. Jimenez-Vivanco, R. Herrera, L. Martinez, F. Morales, K. Misaghian, M. Toledo-Solano, J. Eduardo Lugo. Photonics, 10 (2023) 1009

11. J. Fletcher, J. Dell, G. Parish, A. Keating. Adv. Photon. Res., 6 (2024) 2400055

12. A. Chelyadinsky, A. Dorofeev, N. Kazuchits, S. La Monica, S. Lazarouk, G. Maiello, G. Masini, N. Penina, V. Stelmakh, V. Bondarenko, A. Ferrari. J. Electrochem. Soc., 144, N 4 (1997) 1463—1468

13. Н. Л. Гревцов. Докл. БГУИР, 18 (2020) 59—66

14. У. П. Лопато, Д. Д. Лапутько, Н. Л. Гревцов, В. П. Бондаренко. Докл. БГУИР, 22 (2024) 17—25

15. Н. Н. Никифоренко, А. А. Лабуда, П. Г. Юревич, А. А. Сидерко, П. А. Кедич. Вестн. БГУ. Сер. 1, № 2 (2008) 46—49

16. R. Angel, M. Murri, B. Mihailova, M. Alvaro. Zeitschrift für Kristallographie – Crystalline Materials, 234 (2019) 129—140

17. K. Sakurai, M. Mizusawa. Anal. Chem., 82 (2010) 9

18. B. Taudul, F. Tielens, M. Calatayud. Nanomaterials, 13 (2023) 1856

19. M. C. Ceballos-Chuc, C. M. Ramos-Castillo, J. J. Alvarado-Gil, G. Oskam, G. Rodriguez-Gattorno. J. Phys. Chem. C, 122 (2018) 19921—19930

20. Y. Iida, M. Furukawa, T. Aoki, T. Sakai. Appl. Spectrosc., 52 (1998) 673—678

21. V. Swamy, A. Kuznetsov, L. Dubrovinsky, R. Caruso, D. Schukin, B. Muddle. Phys. Rev. B, 71 (2005) 184302

22. J. Vargas Hernández, S. Coste, A. Garcia Murillo, F. Carrillo-Romo, A. Hadi Kassiba. J. Alloy Compd., 710 (2017) 355—363

23. U. Balachandran, N. Eror. J. Solid State Chem., 42 (1982) 276—282

24. T. Lan, X. Tang, B. Fultz. Phys. Rev. B, 85 (2012) 094305

25. O. Frank, M. Zukalova, B. Laskova, J. Kurti, J. Koltai. Phys. Chem. Chem. Phys., 14 (2012) 14567—14572

26. A. Podelinska, E. Neilande, V. Pankratova, V. Serga, H. Bandarenka, A. Burko, S. Piskunov, V. Pankratov, A. Sarakovskis, A. Popov, D. Bocharov. Nanomaterials, 15 (2025) 498—519