Formation of a Dielectric Material Based on Oxidized Porous Silicon and Titanium Oxide for Integrated Optical Waveguides

The feasibility of forming a dielectric material based on oxidized porous silicon and titanium oxide by depositing the latter onto porous silicon using a sol-gel method and subsequent high-temperature oxidation is demonstrated. The resulting dielectric material is characterized by an increased refractive index, making it promising for the creation of low-loss integrated optical channel waveguides in bulk microassemblies of electronic circuits with optical interconnects.

1. P. Yu, H. Xu, Z. Wang. Integrated Nanophotonics: Platforms, Devices, and Applications, New Jersey, Wiley (2023) 1—52

2. С. К. Лазарук, В. П. Бондаренко, В. Е. Борисенко, Н. В. Гапоненко, Г. Г. Горох, А. А. Лешок, Д. Б. Мигас, Е. Б. Чубенко. Докл. БГУИР, 22 (2024) 7—19

3. В. П. Бондаренко, В. С. Вариченко, А. М. Дорофеев, Н. М. Казючиц, В. А. Лабунов, В. Ф. Стельмах. Письма в ЖТФ, 19 (1993) 73—76

4. V. P. Bondarenko, A. M. Dorofeev, N. M. Kazuchits. Microelectron. Eng., 28 (1995) 447—450

5. M. Balucani, V. Bondarenko, L. Dolgyi, G. Lamedica, A. Ricciardelli, E. Viarengo, N. Vorozov, A. Ferrari. Mater. Sci. Sem. Proc., 3 (2000) 351—355

6. N. Vorozov, L. Dolgyi, V. Yakovtseva, V. Bondarenko, M. Balucani, G. Lamerica, A. Ferrari, G. Vitrant, J. E. Broquin, T. M. Benson, H. F. Arrand, P. Sewell. Electron. Lett., 36 (2000) 722—723

7. M. Balucani, V. Bondarenko, N. Vorozov, A. Ferrari. Phys. E: Low-Dimentional Syst. Nanostruct., 16 (2003) 574—579

8. M. Balucani, V. Bondarenko, A. Klusko, A. Ferrari. Opt. Mater., 27 (2005) 776—780

9. A. Kellarev, S. Ruschin. J. Lightwave Technol., 37 (2019) 3439—3443

10. M. Jimenez-Vivanco, R. Herrera, L. Martinez, F. Morales, K. Misaghian, M. Toledo-Solano, J. Eduardo Lugo. Photonics, 10 (2023) 1009

11. J. Fletcher, J. Dell, G. Parish, A. Keating. Adv. Photon. Res., 6 (2024) 2400055

12. A. Chelyadinsky, A. Dorofeev, N. Kazuchits, S. La Monica, S. Lazarouk, G. Maiello, G. Masini, N. Penina, V. Stelmakh, V. Bondarenko, A. Ferrari. J. Electrochem. Soc., 144, N 4 (1997) 1463—1468

13. Н. Л. Гревцов. Докл. БГУИР, 18 (2020) 59—66

14. У. П. Лопато, Д. Д. Лапутько, Н. Л. Гревцов, В. П. Бондаренко. Докл. БГУИР, 22 (2024) 17—25

15. Н. Н. Никифоренко, А. А. Лабуда, П. Г. Юревич, А. А. Сидерко, П. А. Кедич. Вестн. БГУ. Сер. 1, № 2 (2008) 46—49

16. R. Angel, M. Murri, B. Mihailova, M. Alvaro. Zeitschrift für Kristallographie – Crystalline Materials, 234 (2019) 129—140

17. K. Sakurai, M. Mizusawa. Anal. Chem., 82 (2010) 9

18. B. Taudul, F. Tielens, M. Calatayud. Nanomaterials, 13 (2023) 1856

19. M. C. Ceballos-Chuc, C. M. Ramos-Castillo, J. J. Alvarado-Gil, G. Oskam, G. Rodriguez-Gattorno. J. Phys. Chem. C, 122 (2018) 19921—19930

20. Y. Iida, M. Furukawa, T. Aoki, T. Sakai. Appl. Spectrosc., 52 (1998) 673—678

21. V. Swamy, A. Kuznetsov, L. Dubrovinsky, R. Caruso, D. Schukin, B. Muddle. Phys. Rev. B, 71 (2005) 184302

22. J. Vargas Hernández, S. Coste, A. Garcia Murillo, F. Carrillo-Romo, A. Hadi Kassiba. J. Alloy Compd., 710 (2017) 355—363

23. U. Balachandran, N. Eror. J. Solid State Chem., 42 (1982) 276—282

24. T. Lan, X. Tang, B. Fultz. Phys. Rev. B, 85 (2012) 094305

25. O. Frank, M. Zukalova, B. Laskova, J. Kurti, J. Koltai. Phys. Chem. Chem. Phys., 14 (2012) 14567—14572

26. A. Podelinska, E. Neilande, V. Pankratova, V. Serga, H. Bandarenka, A. Burko, S. Piskunov, V. Pankratov, A. Sarakovskis, A. Popov, D. Bocharov. Nanomaterials, 15 (2025) 498—519