Surface Morphology, Optical, and Electrophysical Properties of Zirconium Oxide Films Produced by Laser Deposition in Vacuum

The results of complex study of thin ZrО₂ films deposited in vacuum (p = 2.2 Pa) on quartz and silicon substrates under multipulse high-frequency (f  10—12 kHz) laser action on the ceramic target at a laser power density q = 79 MW/cm² were presented. The morphology of the obtained films was studied using atomic force microscopy, the features of the transmission spectra were presented. The analysis of the electrical properties of ZrО₂/Si structure was carried out.

1. . М. Лыньков, Т. В. Молодечкина, В. А. Богуш, Т. В. Борботько. Докл. БГУИР, № 3 (2004) 73—84

2. V. Manjunath, C. Uppala, P. R. Bommireddy, B. Son, H. Kim, C.-H. Ahn, S.-H. Park. Phys. B: Cond. Matter, 648 (2023) 414423

3. K. Kanomata, K. Tokoro, T. Imai, P. Pansila, M. Miura, B. Ahmmad, S. Kubotaa, K. Hirahara, F. Hirose. Appl. Surf. Sci., 387 (2016) 497—502

4. C. Y. Ma, F. Lapostolle, P. Briois, Q. Y. Zhang. Appl. Surf. Sci., 253 (2007) 8718—8724

5. A. K. Jonsson, G. A. Niklasson, M. Veszelei. Thin Solid Films, 402 (2002) 242—247

6. C. M. Lopez, N. A. Suvorova, E. A. Irene, A. A. Suvorova, M. Saunders. J. Appl. Phys., 98 (2005) 033506-1—033506-6

7. Н. Вилья, Д. А. Голосов, С. М. Завадский, С. Н. Мельников, Д. Э. Окоджи. 12-я междунар. конф. “Взаимодействие излучений с твердым телом”, 19—22 сентября 2017 г., Минск (2017) 438—440

8. H.C. Delgado, F. Sanchez, R. Aguiar, Y. Maniette, C. Ferrater, M. Varela. Appl. Phys. Lett., 68 (1996) 1048—1050

9. D. B. Chrisey, G. B. Hubler. Pulsed Laser Deposition of Thin Films, Wiley, New York (1994)

10. Xu Jingping, Bai Tiecheng, Li Xingjiao, Zheng Xiangbin, Su Wuda, An Changwu. Vacuum, 43, N 11 (1992) 1051—1053

11. P. S. Padhi, R. S. Ajimsha, Pankaj Misra. Adv. Mater. and Rad. Phys. (AMRP-2020) AIP Conf. Proc., 2352 (2020) 020077(1—5)

12. M. Ghanashyam Krishna, K. Narasimha Rao, S. Mohan. Thin Solid Films, 193-194 (1990) 690—695

13. S. Harasex, H.D. Wanzenboeck, B. Basnar, J. Smoliner, J. Brenner, H.S. Stoeri, E. Gornik, E. Bertagnoll. Thin Solid Films, 414 (2002) 199—204

14. Е. В. Фролова, М. И. Ивановская, И. И. Азарко. Химические проблемы создания новых материалов и технологий, Минск (2003) 152—167

15. И. Ю. Бригаднов, М. К. Самохвалов. Вестник УлГТУ, 1 (2001) 14—17

16. W. Zhang, Y. Cui, Z. G. Hu, W. L. Yu, J. Sun, N. Xu, Z. F. Ying, J. D. Wu. Thin Solid Films, 520 (2012) 6361—6367

17. S. Sayan, N. V. Nguyen, J. Ehrstein, T. Emge, E. Garfunkel, M. Croft, Xinyuan Zhao, D. Vanderbilt, I. Levin, E. P. Gusev, Hyoungsub Kim, P. J. McIntyre. Appl. Phys. Lett., 86 (2005) 152902(1—3)

18. J. M. Howard, V. Craciun, C. Essary, R. K. Singh. Appl. Phys. Lett., 81 (2002) 3431—3433

19. Suroor H. Taha, Thamir A. Jumah. Al-Nahrain J. Sci. ANJS, 24, N 2 (2021) 27—32

20. В. Н. Кручинин, В. Ш. Алиев, А.К. Герасимова, В.А. Гриценко. Опт. и спектр., 121, № 2 (2016) 260—265

21. P. Kondaiah, G. Mohan Rao, S. Uthanna. J. Phys.: Conf. Ser., 390 (2012) 012031(1—6)

22. J. Xing, E. Guo, H. Lu. Sci. China Phys. Mech. Astron., 54 (2011) 1416—1419

23. H. M. K. Sheet, K. S. Mohan, A. M. Rosalin, S. Kosar, R. Marnadu, M. A. Manthrammel, M. Shkir, V. R. M. Reddy. Opt. Mater., 156 (2024) 116005

24. А. Н. Чумаков, В. Б. Авраменко, Н. А. Босак. Журн. прикл. спектр., 79, № 2 (2012) 279—287 [A. N. Chumakov, V. B. Avramenko, N. A. Bosak. J. Appl. Spectr., 79 (2012) 261—268]

25. Свойства структур металл-диэлектрик-полупроводник, под ред. А. В. Ржанова, Москва, Наука (1976)

26. В. В. Малютина-Бронская, О. А. Гребенщиков, В. Б. Залесский, Т. Р. Леонова. Конденсированные среды и межфазные границы, 14, № 4 (2012) 433—437