РЕНТГЕНОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК β-Ga2O3
Аннотация
В температурном диапазоне 80-300 К исследованы спектры рентгенолюминесценции тонких пленок β-Ga2O3, полученных высокочастотным ионно-плазменным распылением. В рамках модели линейной электрон-фононной связи проведено моделирование измеренных спектров. На основе температурной зависимости выделенных полос люминесценции установлена ассоциативная природа центров люминесценции с максимумами свечения в областях 2.95 и 3.14 эВ и проведен анализ полученных результатов.
Об авторах
О. М. БордунУкраина
79005, Львов, ул. Драгоманова, 50
Б. О. Бордун
Украина
79005, Львов, ул. Драгоманова, 50
И. И. Кухарский
Украина
79005, Львов, ул. Драгоманова, 50
И. И. Медвидь
Украина
79005, Львов, ул. Драгоманова, 50
Список литературы
1. J.-T. Jan, C.-T. Lee. Sensor. Actuator. B, 143, N 1 (2009) 192—197
2. M. Passlack, M. Hong, E. F. Schubert, J. R. Kwo, J. P. Mannaerst, S. N. G. Chu, N. Moriya, F. A. Thiel. Appl. Phys. Lett., 66, N 5 (1995) 625—627
3. J.-G. Zhao, Z.-X. Zhang, Z.-W. Ma, H.-G. Duan, X.-S. Guo, E.-Q. Xie. Chin. Phys. Lett., 25, N 10 (2008) 3787—3789
4. L. Kong, J. Ma, C. Luan, W. Mi, Yu Lv. Thin Solid Films, 520, N 13 (2012) 4270—4274
5. Y. Kokubun, K. Miura, F. Endo, S. Nakagomi. Appl. Phys. Lett., 90, N 3 (2007) 031912 (1—3)
6. M. Peres, E. Nogales, B. Mendez, K. Lorenz, M. R. Correia, T. Monteiro, N. Ben Sedrine. ECS J. Sol. State Sci. Technol., 8, N 7 (2019) Q3097–Q3102
7. Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии, Москва, Техносфера (2010)
8. О. М. Бордун, И. И. Кухарский, Б. О. Бордун, В. Б. Лущанец. Журн. прикл. спектр., 81, № 5 (2014) 699—703 [O. M. Bordun, I. Yo. Kukharskyy, B. O. Bordun, V. B. Lushchanets. J. Appl. Spectr., 81 (2014) 771–775]
9. O. M. Bordun, B. O. Bordun, I. I. Medvid, I. Yo. Kukharskyy. Acta Phys. Pol. A, 133, N 4 (2018) 910—913
10. T. Owen. Fundamentals of UV-Visible Spectroscopy, Hewlett-Packard GmbH, Waldronn, Germany (1996)
11. О. М. Бордун, Б. О. Бордун, И. И. Кухарский, И. И. Медвидь. Журн. прикл. спектр., 84, № 1 (2017) 56—62 [O. M. Bordun, B. O. Bordun, I. Yo. Kukharskyy, I. I. Medvid. J. Appl. Spectr., 84 (2017) 46—51]
12. K. Shimamura, E. G. Villora, T. Ujiike, K. Aoki. Appl. Phys. Lett., 92, N 20 (2008) 201914 (1—3)
13. Г. П. Пека, В. Ф. Коваленко, В. Н. Куценко. Люминесцентные методы контроля параметров полупроводниковых материалов и приборов, Киев, Техника (1986)
14. W. L. Wanmaker, J. W. ter Vrugt. J. Electrochem. Soc., 116, N 6 (1969) 871—872
15. M. R. Lorenz, J. F. Woods, R. J. Gambino. J. Phys. Chem. Sol., 28, N 3 (1967) 403—404
Рецензия
Для цитирования:
Бордун О.М., Бордун Б.О., Кухарский И.И., Медвидь И.И. РЕНТГЕНОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК β-Ga2O3. Журнал прикладной спектроскопии. 2019;86(6):895-898.
For citation:
Bordun O.M., Bordun B.O., Kukharskyy I.Y., Medvid I.I. X-RAY INDUCED LUMINESCENCE OF THIN β-Ga2O3 FILMS. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2019;86(6):895-898. (In Russ.)