X-RAY INDUCED LUMINESCENCE OF THIN β-Ga2O3 FILMS
Abstract
X-ray luminescence spectra of β-Ga2O3 thin films obtained by radio-frequency (RF) ion-plasma sputtering in the temperature range of 80-300 K, were investigated. The measured spectra were simulated within the framework of the linear electron-phonon coupling model. On the basis of the temperature dependence of the selected luminescence bands, the associative nature of the selected luminescence centers with luminescence maxima at 2.95 and 3.14 eV is established, and the obtained results are analyzed.
About the Authors
O. M. Bordun
Ivan Franko L’viv National University
Ukraine
Ukraine
50 Dragomanov Str., L’viv, 79005
B. O. Bordun
Ivan Franko L’viv National University
Ukraine
Ukraine
50 Dragomanov Str., L’viv, 79005
I. Yo. Kukharskyy
Ivan Franko L’viv National University
Ukraine
Ukraine
50 Dragomanov Str., L’viv, 79005
I. I. Medvid
Ivan Franko L’viv National University
Ukraine
Ukraine
50 Dragomanov Str., L’viv, 79005
References
1. J.-T. Jan, C.-T. Lee. Sensor. Actuator. B, 143, N 1 (2009) 192—197
2. M. Passlack, M. Hong, E. F. Schubert, J. R. Kwo, J. P. Mannaerst, S. N. G. Chu, N. Moriya, F. A. Thiel. Appl. Phys. Lett., 66, N 5 (1995) 625—627
3. J.-G. Zhao, Z.-X. Zhang, Z.-W. Ma, H.-G. Duan, X.-S. Guo, E.-Q. Xie. Chin. Phys. Lett., 25, N 10 (2008) 3787—3789
4. L. Kong, J. Ma, C. Luan, W. Mi, Yu Lv. Thin Solid Films, 520, N 13 (2012) 4270—4274
5. Y. Kokubun, K. Miura, F. Endo, S. Nakagomi. Appl. Phys. Lett., 90, N 3 (2007) 031912 (1—3)
6. M. Peres, E. Nogales, B. Mendez, K. Lorenz, M. R. Correia, T. Monteiro, N. Ben Sedrine. ECS J. Sol. State Sci. Technol., 8, N 7 (2019) Q3097–Q3102
7. Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии, Москва, Техносфера (2010)
8. О. М. Бордун, И. И. Кухарский, Б. О. Бордун, В. Б. Лущанец. Журн. прикл. спектр., 81, № 5 (2014) 699—703 [O. M. Bordun, I. Yo. Kukharskyy, B. O. Bordun, V. B. Lushchanets. J. Appl. Spectr., 81 (2014) 771–775]
9. O. M. Bordun, B. O. Bordun, I. I. Medvid, I. Yo. Kukharskyy. Acta Phys. Pol. A, 133, N 4 (2018) 910—913
10. T. Owen. Fundamentals of UV-Visible Spectroscopy, Hewlett-Packard GmbH, Waldronn, Germany (1996)
11. О. М. Бордун, Б. О. Бордун, И. И. Кухарский, И. И. Медвидь. Журн. прикл. спектр., 84, № 1 (2017) 56—62 [O. M. Bordun, B. O. Bordun, I. Yo. Kukharskyy, I. I. Medvid. J. Appl. Spectr., 84 (2017) 46—51]
12. K. Shimamura, E. G. Villora, T. Ujiike, K. Aoki. Appl. Phys. Lett., 92, N 20 (2008) 201914 (1—3)
13. Г. П. Пека, В. Ф. Коваленко, В. Н. Куценко. Люминесцентные методы контроля параметров полупроводниковых материалов и приборов, Киев, Техника (1986)
14. W. L. Wanmaker, J. W. ter Vrugt. J. Electrochem. Soc., 116, N 6 (1969) 871—872
15. M. R. Lorenz, J. F. Woods, R. J. Gambino. J. Phys. Chem. Sol., 28, N 3 (1967) 403—404
Review
For citations:
Bordun O.M., Bordun B.O., Kukharskyy I.Y., Medvid I.I. X-RAY INDUCED LUMINESCENCE OF THIN β-Ga2O3 FILMS. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2019;86(6):895-898. (In Russ.)
Views: 287
Email this article 