ОПРЕДЕЛЕНИЕ МАССОВОГО КОЭФФИЦИЕНТА ПОГЛОЩЕНИЯ В ДВУХСЛОЙНОЙ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ СИСТЕМЕ Cr/Co РЕНТГЕНОФЛУОРЕСЦЕНТНЫМ МЕТОДОМ
Аннотация
Предложен способ определения массового коэффициента поглощения при рентгенофлуоресцентном анализе двухслойных тонкопленочных систем Cr/Co на подложках из поликора с использованием простых в изготовлении унифицированных пленочных слоев, получаемых нанесением хрома на подложки из пленки полимера. Рассчитаны поправочные коэффициенты, учитывающие ослабление первичного излучения рентгеновской трубки и интенсивности аналитических линий элемента нижнего слоя в верхнем слое.
Ключевые слова
рентгенофлуоресцентный метод,
тонкая двухслойная пленка,
поправочный коэффициент,
массовый коэффициент поглощения,
подложка из пленки полимера
При поддержке: Работа выполнена по заданию № 4.8337.2017/БЧ на выполнение государственных работ в сфере научной деятельности в рамках базовой части госзадания Министерства науки и высшего образования Российской Федерации.
Об авторах
Е. А. Черняева
Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Россия
603950, Нижний Новгород, просп. Гагарина, 23, корп. 5
Россия
603950, Нижний Новгород, просп. Гагарина, 23, корп. 5
А. А. Князева
Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Россия
603950, Нижний Новгород, просп. Гагарина, 23, корп. 5
Россия
603950, Нижний Новгород, просп. Гагарина, 23, корп. 5
Е. О. Зимина
Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Россия
603950, Нижний Новгород, просп. Гагарина, 23, корп. 5
Россия
603950, Нижний Новгород, просп. Гагарина, 23, корп. 5
И. С. Белякова
Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Россия
603950, Нижний Новгород, просп. Гагарина, 23, корп. 5
Россия
603950, Нижний Новгород, просп. Гагарина, 23, корп. 5
Н. И. Машин
Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Россия
603950, Нижний Новгород, просп. Гагарина, 23, корп. 5
Россия
603950, Нижний Новгород, просп. Гагарина, 23, корп. 5
Список литературы
1. А. С. Березин, О. Р. Мочалкина. Технология и конструирование интегральных микросхем, Москва, Радио и связь (1983) 84—86
2. Ю. А. Игнатова, А. Н. Еритенко, А. Г. Ревенко, А. Л. Цветянский. Аналитика и контроль, 15 , № 2 (2011) 126—140
3. В. Р. Дарашкевич, Б. А. Малюков, Г. М. Туровская. Журн. аналит. химии, 34 , № 1 (1979) 138—141
4. B. Kanrar, K. Sanyal, N. L. Misra, S. K. Aggarwal. Spectrochim. Acta B: At. Spectrosc., 101 (2015) 130—133
5. P. Jonnard, H. Maury, J.-M. Andre. X-Ray Spectrom., 36 (2007) 72—75
6. K. Nygård, K. Hämäläinen, S. Manninen, P. Jalas, J.-P. Ruottinen. X-Ray Spectrom., 33 (2004) 354—359
7. В. Я. Борходоев. Журн. аналит. химии, 53 , № 6 (1998) 571—577
8. Н. И. Машин, Н. К. Рудневский, Ю. С. Калинин, А. И . Машин. Зав. лаб., 56 , № 12 (1990) 34—36
9. Е. Е. Беляева, А. В. Ершов, А. И. Машин, Н. И. Машин, Н. К. Рудневский. Журн. аналит. химии, 53 , № 6 (1998) 638—640 [ E. E. Belyaeva, A. V. Ershov, A. I. Mashin, N. I. Mashin, N. K. Rudnevskii. J. Analyt. Chem., 53 (1998) 561—563]
10. Н. И. Машин, А. Н. Туманова, Н. К. Рудневский. Журн. аналит. химии, 56 , № 6 (2001) 651—654 [ N. I. Mashin, A. N. Tumanova, N. K. Rudnevskii. J. Analyt. Chem., 56 (2001) 581—584]
11. Н. И. Машин, Р. В. Лебедева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Журн. прикл. спектр., 79 , № 2 (2012) 328—332 [ N. I. Mashin, R. V. Lebedeva, A. N. Tumanova, A. A. Ershov. J. Appl. Spectr., 79 (2012) 307—311]
12. Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Неорг. матер., 49 , № 12 (2013) 1294—1299
13. М. А. Блохин, И. Г. Швейцер. Рентгеноспектральный справочник, Москва, Наука (1982) 94
14. Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова. Неорг. матер., 51, № 1 (2015) 44—48
15. В. П. Афонин, Н. И. Комяк, В. П. Николаев, Р. И. Плотников. Рентгенофлуоресцентный анализ, Новосибирск, Наука (1991) 128—129
16. Н. Ф. Лосев, А. Н. Смагунова. Основы рентгеноспектрального флуоресцентного анализа, Москва, Химия (1982) 97
17. В. Р. Дарашкевич, Б. А. Малюков. Зав. лаб., 46 , № 6 (1980) 512—513
Рецензия
Для цитирования:
Черняева Е.А., Князева А.А., Зимина Е.О., Белякова И.С., Машин Н.И. ОПРЕДЕЛЕНИЕ МАССОВОГО КОЭФФИЦИЕНТА ПОГЛОЩЕНИЯ В ДВУХСЛОЙНОЙ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ СИСТЕМЕ Cr/Co РЕНТГЕНОФЛУОРЕСЦЕНТНЫМ МЕТОДОМ. Журнал прикладной спектроскопии. 2019;86(6):936-941.
For citation:
Cherniaeva E.A., Knyazeva A.A., Zimina E.O., Belyakova I.S., Mashin N.I. DETERMINATION OF THE MASS ABSORPTION COEFFICIENT IN TWO-LAYER Cr/Co THIN FILM SYSTEMS BY THE X-RAY FLUORESCENCE METHOD. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2019;86(6):936-941. (In Russ.)
Просмотров: 269
Послать статью по эл. почте 