МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЕРЕХОДНЫХ СЛОЕВ НА ГРАНИЦАХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ ПРИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЯХ
Аннотация
Рассматриваются практические аспекты моделирования однослойных тонкопленочных покрытий при интерпретации результатов эллипсометрических измерений. Сформулированы ограничения, накладываемые на количество и параметры слоев модели, толщиной скин-слоя и погрешностью измерений. Представленные теоретические заключения экспериментально подтверждены исследованиями тонких пленок состава La0.7Sr0.3 MnO3 и In2O3.
Об авторах
А. А. Тихий
Луганский национальный университет им. Т. Шевченко
Украина
91011, Луганск, ул. Оборонная, 2
Украина
91011, Луганск, ул. Оборонная, 2
Ю. М. Николаенко
Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина
Украина
Донецк, 83114
Украина
Донецк, 83114
А. С. Корнеевец
Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина
Украина
Донецк, 83114
Украина
Донецк, 83114
Е. А. Свиридова
Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина
Украина
Донецк, 83114
Украина
Донецк, 83114
Ю. И. Жихарева
Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко
Украина
Киев, 01601
Украина
Киев, 01601
И. В. Жихарев
Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина
Украина
Донецк, 83114
Украина
Донецк, 83114
Список литературы
1. В. И. Пшеницын, М. И. Абаев, Н. Ю. Лызлов. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях, Ленинград, Химия (1986)
2. H. G. Tompkins, E. A. Irene. Handbook of Ellipsometry, USA, William Andrew Publishing (2005) 829—847
3. Б. В. Беляев, В. А. Грицких, И. В. Жихарев, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко, А. А. Тихий. Сб. докл. междунар. науч. конф. “Актуальные проблемы физики твердого тела ФТТ-2009”, 20—23 октября 2009 г., Минск, ЧПТУП “ЮВА”, 3 (2009) 169—170
4. В. А. Александров. ЖТФ, 79 , № 3 (2009) 84—88
5. И. В. Жихарев, А. А. Тихий, Б. В. Беляев, В. А. Грицких, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко. Вісн. Східноукр. нац. ун-ту ім. В. Даля, 150 , № 8, Ч. 2 (2010) 60—63
6. А. А. Тихий, В. А. Грицких, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко, Ю. Ф. Ревенко, И. Ю. Решидова, И. В. Жихарев. Физика низких температур, 40 , № 8 (2014) 968—974
7. Ю. М. Николаенко, А. Б. Мухин, В. А. Чайка, В. В. Бурховецкий. ЖТФ, 80 (2010) 115—119 [ Yu. M. Nikolaenko, A. B. Mukhin, V. A. Chaika, V. V. Burkhovetskii. Techn. Phys., 80 (2010) 1189—1192]
8. А. А. Тихий, В. А. Грицких, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко, В. В. Фарапонов, И. В. Жихарев. Опт. и спектр., 119 , № 2 (2015) 282—286 [ A. A. Tikhii, V. A. Gritskikh, S. V. Kara-Murza, N. V. Korchikova, Yu. M. Nikolaenko, V. V. Faraponov, I. V. Zhikharev. Opt. Spectrosc., 119 , N 2 (2015) 268—272]
9. А. А. Тихий, Ю. М. Николаенко, Ю. И. Жихарева, А. С. Корнеевец, И. В. Жихарев. ФТП, 52 , № 3 (2018) 337—341
10. Z. M. Jarzebski. Phys. Status Solidi (a), 71 (1982) 13—41
11. H. Kim, C. M. Gilmore, A. Piqué, J. S. Horwitz, H. Mattoussi, H. Murata, Z. H. Kafafi, D. B. Chrisey. J. Appl. Phys., 86 (1999) 6451—6461
Рецензия
Для цитирования:
Тихий А.А., Николаенко Ю.М., Корнеевец А.С., Свиридова Е.А., Жихарева Ю.И., Жихарев И.В. МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЕРЕХОДНЫХ СЛОЕВ НА ГРАНИЦАХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ ПРИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЯХ. Журнал прикладной спектроскопии. 2019;86(6):942-946.
For citation:
Tikhii A.A., Nikolaenko Yu.M., Kornievets A.S., Svyrydova K.A., Zhikhareva Yu.I., Zhikharev I.V. MODELING OF TRANSITION LAYERS AT THE BOUNDARIES OF THIN-FILM COATINGS AT ELLIPSOMETRIC MEASUREMENTS. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2019;86(6):942-946. (In Russ.)
Просмотров: 261
Послать статью по эл. почте 