Preview

Журнал прикладной спектроскопии

Расширенный поиск
Доступ открыт Открытый доступ  Доступ закрыт Только для подписчиков

МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЕРЕХОДНЫХ СЛОЕВ НА ГРАНИЦАХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ ПРИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЯХ

Полный текст:

Аннотация

Рассматриваются практические аспекты моделирования однослойных тонкопленочных покрытий при интерпретации результатов эллипсометрических измерений. Сформулированы ограничения, накладываемые на количество и параметры слоев модели, толщиной скин-слоя и погрешностью измерений. Представленные теоретические заключения экспериментально подтверждены исследованиями тонких пленок состава La0.7Sr0.3 MnO3 и In2O3.

Об авторах

А. А. Тихий
Луганский национальный университет им. Т. Шевченко
Украина
91011, Луганск, ул. Оборонная, 2


Ю. М. Николаенко
Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина
Украина
Донецк, 83114


А. С. Корнеевец
Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина
Украина
Донецк, 83114


Е. А. Свиридова
Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина
Украина
Донецк, 83114


Ю. И. Жихарева
Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко
Украина
Киев, 01601


И. В. Жихарев
Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина
Украина
Донецк, 83114


Список литературы

1. В. И. Пшеницын, М. И. Абаев, Н. Ю. Лызлов. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях, Ленинград, Химия (1986)

2. H. G. Tompkins, E. A. Irene. Handbook of Ellipsometry, USA, William Andrew Publishing (2005) 829—847

3. Б. В. Беляев, В. А. Грицких, И. В. Жихарев, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко, А. А. Тихий. Сб. докл. междунар. науч. конф. “Актуальные проблемы физики твердого тела ФТТ-2009”, 20—23 октября 2009 г., Минск, ЧПТУП “ЮВА”, 3 (2009) 169—170

4. В. А. Александров. ЖТФ, 79 , № 3 (2009) 84—88

5. И. В. Жихарев, А. А. Тихий, Б. В. Беляев, В. А. Грицких, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко. Вісн. Східноукр. нац. ун-ту ім. В. Даля, 150 , № 8, Ч. 2 (2010) 60—63

6. А. А. Тихий, В. А. Грицких, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко, Ю. Ф. Ревенко, И. Ю. Решидова, И. В. Жихарев. Физика низких температур, 40 , № 8 (2014) 968—974

7. Ю. М. Николаенко, А. Б. Мухин, В. А. Чайка, В. В. Бурховецкий. ЖТФ, 80 (2010) 115—119 [ Yu. M. Nikolaenko, A. B. Mukhin, V. A. Chaika, V. V. Burkhovetskii. Techn. Phys., 80 (2010) 1189—1192]

8. А. А. Тихий, В. А. Грицких, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко, В. В. Фарапонов, И. В. Жихарев. Опт. и спектр., 119 , № 2 (2015) 282—286 [ A. A. Tikhii, V. A. Gritskikh, S. V. Kara-Murza, N. V. Korchikova, Yu. M. Nikolaenko, V. V. Faraponov, I. V. Zhikharev. Opt. Spectrosc., 119 , N 2 (2015) 268—272]

9. А. А. Тихий, Ю. М. Николаенко, Ю. И. Жихарева, А. С. Корнеевец, И. В. Жихарев. ФТП, 52 , № 3 (2018) 337—341

10. Z. M. Jarzebski. Phys. Status Solidi (a), 71 (1982) 13—41

11. H. Kim, C. M. Gilmore, A. Piqué, J. S. Horwitz, H. Mattoussi, H. Murata, Z. H. Kafafi, D. B. Chrisey. J. Appl. Phys., 86 (1999) 6451—6461


Для цитирования:


Тихий А.А., Николаенко Ю.М., Корнеевец А.С., Свиридова Е.А., Жихарева Ю.И., Жихарев И.В. МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЕРЕХОДНЫХ СЛОЕВ НА ГРАНИЦАХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ ПРИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЯХ. Журнал прикладной спектроскопии. 2019;86(6):942-946.

For citation:


Tikhii A.A., Nikolaenko Yu.M., Kornievets A.S., Svyrydova K.A., Zhikhareva Yu.I., Zhikharev I.V. MODELING OF TRANSITION LAYERS AT THE BOUNDARIES OF THIN-FILM COATINGS AT ELLIPSOMETRIC MEASUREMENTS. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2019;86(6):942-946. (In Russ.)

Просмотров: 82


ISSN 0514-7506 (Print)