MODELING OF TRANSITION LAYERS AT THE BOUNDARIES OF THIN-FILM COATINGS AT ELLIPSOMETRIC MEASUREMENTS
Abstract
Practical aspects of modeling single-layer thin-film coatings for the interpretation of ellipsomet- ric measurements are considered. The restrictions imposed by the thickness of the skin layer and the measurement error on the number and parameters of the model layers are formulated. The presented theoretical conclusions are experimentally confirmed by studies of thin films of the La0.7Sr0.3MnO3 and In2O3 compo-sitions.
About the Authors
A. A. Tikhii
Taras Shevchenko Lugansk National University
Ukraine
2 Oboronnaya Str., Lugansk, 91011
Ukraine
2 Oboronnaya Str., Lugansk, 91011
Yu. M. Nikolaenko
A. A. Galkin Donetsk Institute for Physics and Engineering
Ukraine
Donetsk, 83114
Ukraine
Donetsk, 83114
A. S. Kornievets
A. A. Galkin Donetsk Institute for Physics and Engineering
Ukraine
Donetsk, 83114
Ukraine
Donetsk, 83114
K. A. Svyrydova
A. A. Galkin Donetsk Institute for Physics and Engineering
Ukraine
Donetsk, 83114
Ukraine
Donetsk, 83114
Yu. I. Zhikhareva
Taras Shevchenko National University of Kyiv
Ukraine
Kyiv, 01601
Ukraine
Kyiv, 01601
I. V. Zhikharev
A. A. Galkin Donetsk Institute for Physics and Engineering
Ukraine
Donetsk, 83114
Ukraine
Donetsk, 83114
References
1. В. И. Пшеницын, М. И. Абаев, Н. Ю. Лызлов. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях, Ленинград, Химия (1986)
2. H. G. Tompkins, E. A. Irene. Handbook of Ellipsometry, USA, William Andrew Publishing (2005) 829—847
3. Б. В. Беляев, В. А. Грицких, И. В. Жихарев, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко, А. А. Тихий. Сб. докл. междунар. науч. конф. “Актуальные проблемы физики твердого тела ФТТ-2009”, 20—23 октября 2009 г., Минск, ЧПТУП “ЮВА”, 3 (2009) 169—170
4. В. А. Александров. ЖТФ, 79 , № 3 (2009) 84—88
5. И. В. Жихарев, А. А. Тихий, Б. В. Беляев, В. А. Грицких, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко. Вісн. Східноукр. нац. ун-ту ім. В. Даля, 150 , № 8, Ч. 2 (2010) 60—63
6. А. А. Тихий, В. А. Грицких, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко, Ю. Ф. Ревенко, И. Ю. Решидова, И. В. Жихарев. Физика низких температур, 40 , № 8 (2014) 968—974
7. Ю. М. Николаенко, А. Б. Мухин, В. А. Чайка, В. В. Бурховецкий. ЖТФ, 80 (2010) 115—119 [ Yu. M. Nikolaenko, A. B. Mukhin, V. A. Chaika, V. V. Burkhovetskii. Techn. Phys., 80 (2010) 1189—1192]
8. А. А. Тихий, В. А. Грицких, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко, В. В. Фарапонов, И. В. Жихарев. Опт. и спектр., 119 , № 2 (2015) 282—286 [ A. A. Tikhii, V. A. Gritskikh, S. V. Kara-Murza, N. V. Korchikova, Yu. M. Nikolaenko, V. V. Faraponov, I. V. Zhikharev. Opt. Spectrosc., 119 , N 2 (2015) 268—272]
9. А. А. Тихий, Ю. М. Николаенко, Ю. И. Жихарева, А. С. Корнеевец, И. В. Жихарев. ФТП, 52 , № 3 (2018) 337—341
10. Z. M. Jarzebski. Phys. Status Solidi (a), 71 (1982) 13—41
11. H. Kim, C. M. Gilmore, A. Piqué, J. S. Horwitz, H. Mattoussi, H. Murata, Z. H. Kafafi, D. B. Chrisey. J. Appl. Phys., 86 (1999) 6451—6461
Review
For citations:
Tikhii A.A., Nikolaenko Yu.M., Kornievets A.S., Svyrydova K.A., Zhikhareva Yu.I., Zhikharev I.V. MODELING OF TRANSITION LAYERS AT THE BOUNDARIES OF THIN-FILM COATINGS AT ELLIPSOMETRIC MEASUREMENTS. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2019;86(6):942-946. (In Russ.)
Views: 265
Email this article 