ПОЛЯРИЗУЮЩЕЕ ПОКРЫТИЕ, ИЗГОТОВЛЕННОЕ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МЕТОДА ШИРОКОПОЛОСНОГО СПЕКТРАЛЬНОГО МОНИТОРИНГА
Аннотация
Представлен метод контроля толщины покрытия, основанный на использовании широкополосного спектрального мониторинга. Разработано поляризующее покрытие, функционирующее на λ = 1550 нм при угле падения света 45º. Оптимизированная структура покрытия содержит 59 слоев, не являющихся четвертьволновыми. На стадии подготовки образца с целью оценки преимуществ метода широкополосного спектрального мониторинга выполнен анализ погрешностей. Поляризующее покрытие нанесено методом ионно-лучевого напыления с использованием оптимизированного метода мониторинга. Осуществлен реверс-инжиниринг изготовленного покрытия. Получено хорошее соответствие измеренного пропускания с теоретически предсказанным, причем максимальное отклонение между ними в первых и последних двух слоях ~10%, а минимальное ~0.01%.
Об авторах
Q. Lv
Даляньский институт химической физики Китайской АН; Даляньский технологический университет
Китай
Далянь 116023; Далянь 116024
Китай
Далянь 116023; Далянь 116024
S. Deng
Даляньский институт химической физики Китайской АН
Китай
Далянь 116023
Китай
Далянь 116023
Ch. Li
Бюро научно-исследовательских программ Китайской АН
Китай
Пекин 100864
Китай
Пекин 100864
M. Huangm
Даляньский технологический университет
Китай
Далянь 116024
Китай
Далянь 116024
G. Li
Даляньский институт химической физики Китайской АН
Китай
Далянь 116023
Китай
Далянь 116023
Y. Jin
Даляньский институт химической физики Китайской АН
Китай
Далянь 116023
Китай
Далянь 116023
Список литературы
1. B. Vidal, E. Pelletier. Appl. Opt., 18, No. 22, 3857–3862 (1979).
2. B. Vidal, A. Fornier, E. Pelletier. Appl. Opt., 17, No. 7, 1038–1047 (1978).
3. M. Lappschies, B. Görtz, D. Ristau. Appl. Opt., 45, No. 7, 1502–1506 (2006).
4. J. Zhang, M. Fang, Y. Jin, H. He. Chin. Phys. B, 21, No. 1, 199–203 (2012).
5. W. Kong, Z. Shen, S. Wang, J. Shao, Z. Fan, C. Lu. Chin. Phys. B, 19, No. 4, 304–308 (2010).
6. H. A. Macleod. Appl. Opt., 20, No. 1, 82–89 (1981).
7. O. Lyngnes, U. Brauneck, J. Wang, R. Erz, S. Kohli, B. Rubin, J. Kraus, D. Deakins. Proc. SPIE, 962715, 962715–962718 (2015).
8. C. J. Laan. Appl. Opt., 25, No. 5, 753–760 (1986).
9. J. Zhang, C. Cao, A. V. Tikhonravov, M. K. Trubetskov, A. Gorokh, X. Cheng, Z. Wang. Appl. Opt., 54, No. 11, 3433–3439 (2015).
10. F. Lai, X. Wu, B. Zhuang, Q. Yan, Z. Huang. Opt. Express, 16, No. 13, 9436–9442 (2008).
11. B. Badoil, F. Lemarchand, M. Cathelinaud, M. Lequime. Appl. Opt., 46, No. 20, 4294–4303 (2007).
12. A. V. Tikhonravov, M. K. Trubetskov, T. V. Amotchkina. Appl. Opt., 50, No. 9, C111-C116 (2011).
13. L. Li, Y. Yen. Appl. Opt., 28, No. 14, 2889–2894 (1989).
14. B. Vidal, A. Fornier, E. Pelletier. Appl. Opt., 18, No. 22, 3851–3856 (1979).
15. Q. P. Lv, S. W. Deng, S. Q. Zhang, F. Q. Gong, G. Li. Chin. Phys. B, 26, No. 5, 057801 (2017).
16. H. Tao, Y. Wu, J. Chen, Y. Kong, Y. Chen, B. Sun, C. Xu, P. Zhou, J. Qiu, Y. Zheng. Rev. Sci. Instrum., 76, No. 8, 083118–083114 (2005).
17. V. G. Zhupanov, E. V. Klyuev, S. V. Alekseev, I. V. Kozlov, M. K. Trubetskov, M. A. Kokarev, A. V. Tikhonravov. Appl. Opt., 48, No. 12, 2315–2320 (2009).
18. G. X. Liang, P. Fan, J. G. Hu, J. Zhao, X. H. Zhang, Z. K. Luo, H. L. Ma, J. T. Luo, Z. H. Zheng, D. P. Zhang. Solar Energy, 136, 650–658 (2016).
19. G. X. Liang, P. Fan, X. M. Cai, D. P. Zhang, and Z. H. Zheng. J. Electron. Mater., 40, No. 3, 267–273 (2011).
20. I. W. Martin, R. Nawrodt, K. Craig, C. Schwarz, R. Bassiri, G. Harry, J. Hough, S. Penn, S. Reid, R. Robie, S. Rowan. Classical Quant. Grav., 31, No. 3, 035019 (2014).
21. J. T. Brown. Appl. Opt., 43, No. 23, 4506–4511 (2004).
22. Q. Cai, Y. Zheng, D. Zhang, W. Lu, R. Zhang, W. Lin, H. Zhao, L. Chen. Opt. Express, 19, No. 14, 12969–12977 (2011).
23. A. V. Tikhonravov, M. K. Trubetskov, T. V. Amotchkina. Appl. Opt., 45, No. 27, 7026–7034 (2006).
Рецензия
Для цитирования:
Lv Q., Deng S., Li Ch., Huangm M., Li G., Jin Y. ПОЛЯРИЗУЮЩЕЕ ПОКРЫТИЕ, ИЗГОТОВЛЕННОЕ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МЕТОДА ШИРОКОПОЛОСНОГО СПЕКТРАЛЬНОГО МОНИТОРИНГА. Журнал прикладной спектроскопии. 2019;86(6):1009(1)-1009(7).
For citation:
Lv Q., Deng S., Li Ch., Huangm M., Li G., Jin Y. A POLARIZING BEAM SPLITTING COATING FABRICATED WITH THE USE OF THE WAVELENGTH-INDIRECT BROADBAND OPTICAL MONITORING METHOD. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2019;86(6):1009(1)-1009(7).
Просмотров: 264
Послать статью по эл. почте 