ТРАНСФОРМАЦИЯ СТРУКТУРНЫХ ДЕФЕКТОВ И СОСТОЯНИЯ ВОДОРОДА ПРИ ТЕРМООБРАБОТКЕ ГИДРОГЕНИЗИРОВАННОГО КРЕМНИЯ
Аннотация
Исследованы трансформации структурных дефектов, состояния водорода и электрофизических свойств кремния, обработанного в водородной плазме. Установлено, что после обработки в плазме (150 оС) в спектре комбинационного рассеяния наблюдаются полосы при 2095 и 2129 см-1, связанные с рассеянием на колебаниях связей Si-H. Последующая термообработка (275 оС) приводит к появлению полосы колебаний молекулярного водорода в газообразном состоянии с частотой 4153 см-1. Из сопоставления данных комбинационного рассеяния света и сканирующей зондовой микроскопии следует, что в результате гидрогенизации формируются структурные дефекты (плателеты) со средним размером 43 нм и поверхностной плотностью 6.5 × 109 см-2, обусловленные преципитацией водорода с образованием связей Si-H. После термообработки образуются включения со средним размером 115 нм и поверхностной плотностью 1.7 × 109 см-2, заполненные молекулярным водородом. Показано, что концентрация свободных носителей заряда остается неизменной после обработки в плазме и последующей термообработки.
Об авторах
Ю. М. Покотило
Белорусский государственный университет
Беларусь
220030, Минск, просп. Независимости, 4
Беларусь
220030, Минск, просп. Независимости, 4
А. Н. Петух
Белорусский государственный университет
Беларусь
220030, Минск, просп. Независимости, 4
Беларусь
220030, Минск, просп. Независимости, 4
О. Ю. Смирнова
Белорусский государственный университет
Беларусь
220030, Минск, просп. Независимости, 4
Беларусь
220030, Минск, просп. Независимости, 4
Г. Ф. Стельмах
Белорусский государственный университет
Беларусь
220030, Минск, просп. Независимости, 4
Беларусь
220030, Минск, просп. Независимости, 4
В. П. Маркевич
Институт электротехники и электроники, Университет Манчестера
Великобритания
M13 9PL
Великобритания
M13 9PL
О. В. Королик
Белорусский государственный университет
Беларусь
220030, Минск, просп. Независимости, 4
Беларусь
220030, Минск, просп. Независимости, 4
И. А. Свито
Белорусский государственный университет
Беларусь
220030, Минск, просп. Независимости, 4
Беларусь
220030, Минск, просп. Независимости, 4
A. M. Saad
Прикладной университет Эль-Балка
Иордания
Солт, 19117
Иордания
Солт, 19117
Список литературы
1. S. J. Pearton, J. W. Corbet, S. Shi. Appl. Phys. A, 43 (1987) 153—195
2. H. J. Stein, S. K. Hahn. J. Appl. Phys., 75 (1994) 3477—3484
3. В. П. Маркевич, Л. И. Мурин, J. L. Lindström, M. Suezava. ФТП, 34, № 9 (2000) 1039—1045
4. E. Simoen, Y. L. Huang, Y. Ma, J. Lauwaert, P. Clauws, J. M. Rafí, A. Ulyashin, C. Claeys. J. Electrochem. Soc., 156, N 6 (2009) H434-H442
5. Y. Ohmura, Y. Zohta, M. Kanazava. Phys. Status Solidi (a), 15 (1973) 93—98
6. Yu. Gorelkinskii, N. N. Nevinnyi. Nucl. Instrum. Method., 209/210 (1983) 677—682
7. J. Hartung, J. Weber. Phys. Rev. B, 48 (1993) 14161—14166
8. V. P. Markevich, L. Dobaczevski, K. Bonde Niellsen, V. V. Litvinov, A. N. Petuch, Yu. M. Pokotilo, N. V. Abrosimov, A. R. Peaker. Thin Solid Films, 517 (2008) 419—421
9. Х. А. Абдуллин, Ю. В. Горелкинский, Б. Н. Мукашев, С. Ж. Токмолдин. ФТП, 36, № 3 (2002) 257—268
10. H. Nordmark, A. G. Ulyashin, J. C. Walmsley, R. Holmestad. J. Phys.: Conf. Ser., 281 (2011) 012029(1—13)
11. K. Murakami, N. Fukata, S. Sasaki, R. Ishioka, M. Kitajima, S. Fujimura, J. Kikuchi, J. Haneda. Phys. Rev. Lett., 77 (1996) 3161—3164
12. A. W. R Leitch, J. Weber, V. Alex. Mat. Sci. Eng., B58 (1999) 6—12
Рецензия
Для цитирования:
Покотило Ю.М., Петух А.Н., Смирнова О.Ю., Стельмах Г.Ф., Маркевич В.П., Королик О.В., Свито И.А., Saad A.M. ТРАНСФОРМАЦИЯ СТРУКТУРНЫХ ДЕФЕКТОВ И СОСТОЯНИЯ ВОДОРОДА ПРИ ТЕРМООБРАБОТКЕ ГИДРОГЕНИЗИРОВАННОГО КРЕМНИЯ. Журнал прикладной спектроскопии. 2019;86(5):735-738.
For citation:
Pokotilo Yu.M., Petuh A.M., Smirnova O.Yu., Stelmakh G.F., Markevich V.P., Korolik O.V., Svito I.A., Saad A.M. TRANSFORMATION OF THE STRUCTURAL DEFECTS AND THE HYDROGEN STATE UPON HEAT-TREATMENT OF HYDROGENATED SILICON. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2019;86(5):735-738. (In Russ.)
Просмотров: 259
Послать статью по эл. почте 