Preview

Журнал прикладной спектроскопии

Расширенный поиск
Доступ открыт Открытый доступ  Доступ закрыт Только для подписчиков

ИНТЕРФЕРЕНЦИЯ ЛЮМИНЕСЦЕНТНОГО СВЕЧЕНИЯ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ ПРИ РЕАКТИВНОМ ИОННО-ПЛАЗМЕННОМ ТРАВЛЕНИИ

Полный текст:

Аннотация

Представлены результаты исследования люминесценции диоксида кремния в процессе его реактивного ионно-плазменного травления, имеющего наибольшую интенсивность в плазме фторсодержащих газов. Установлено, что свечение сопровождается интерференцией. Рассматриваются вероятные механизмы данного явления. Показана возможность использования люминесценции для контроля травления пленки SiO2, а также слоев других материалов, лежащих на ней.

Об авторах

А. В. Абрамов
Воронежский государственный технический университет
Россия
394026, Воронеж


Е. А. Панкратова
Воронежский государственный технический университет
Россия
394026, Воронеж


И. С. Суровцев
Воронежский государственный технический университет
Россия
394026, Воронеж


Список литературы

1. Ф. Ф. Комаров, Л. А. Власукова, О. В. Мильчанин, М. А. Моховиков, И. Н. Пархоменко, E. Wendler, W. Wesch, А. В. Мудрый, Г. А. Исмайлова. Журн. прикл. спектр., 80, № 6 (2013) 864—870 [F. F. Komarov, L. A. Vlasukova, O. V. Milchanin, M. A. Makhavikou, I. N. Parkhomenko, E. Wendler, W. Wesch, A. Mudryi, G. A. Ismailova. J. Appl. Spectr., 80 (2013) 855—860]

2. A. П. Барабан, A. С. Бондаренко, В. П. Бондаренко, Ю. В. Петров, К. А. Тимофеев. Вестн. СПбГУ, сер. 4, вып. 2 (2011) 24—29

3. А. И. Бажин, Д. В. Гранкин, В. В. Стыров, В. И. Тютюнников. Изв. РАН. Сер. физ., 72, № 7 (2008) 967—971

4. Б. М. Аюпов, С. Ф. Девятова, В. Г. Ерков, Л. А. Семенова. Микроэлектроника, 37, № 3 (2008) 163—168

5. A. В. Aбрамов, E. A. Aбрамовa, Ю. И. Дикарев, И. С. Суровцев. Журн. прикл. спектр., 71, № 5 (2004) 655—659 [А. V. Аbramov, Е. А. Аbramova, Yu. I. Dikarev, I. S. Surovtsev. J. Appl. Spectr., 71 (2004) 715—720]

6. Д. И. Словецкий. Гетерогенные реакции в неравновесной галогенсодержащей плазме. Химия плазмы, вып. 15, под ред. Б. М. Смирнова, Москва, Энергоатомиздат (1989)

7. А. Ф. Горбачев, В. В. Стыров, В. М. Толмачев, Ю. И. Тюрин. ЖЭТФ, 91 (1986) 172—189 [A. F. Gorbachev, V. V. Styrov, V. M. Tolmachev, Yu. I. Tyurin. Zh. Eksp. Teor. Fiz., 91 (1986) 172—189]

8. D. L. Flamm. Pure Appl. Chem., 62, N 9 (1990) 1710—1720


Рецензия

Для цитирования:


Абрамов А.В., Панкратова Е.А., Суровцев И.С. ИНТЕРФЕРЕНЦИЯ ЛЮМИНЕСЦЕНТНОГО СВЕЧЕНИЯ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ ПРИ РЕАКТИВНОМ ИОННО-ПЛАЗМЕННОМ ТРАВЛЕНИИ. Журнал прикладной спектроскопии. 2020;87(2):189-193.

For citation:


Abramov A.V., Pankratova E.A., Surovtsev I.S. INTERFERENCE OF THE LUMINESCENT GLOW OF SILICON DIOXIDE DURING REACTIVE ION-PLASMA ETCHING. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2020;87(2):189-193. (In Russ.)

Просмотров: 111


ISSN 0514-7506 (Print)