ИНТЕРФЕРЕНЦИЯ ЛЮМИНЕСЦЕНТНОГО СВЕЧЕНИЯ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ ПРИ РЕАКТИВНОМ ИОННО-ПЛАЗМЕННОМ ТРАВЛЕНИИ
Аннотация
Представлены результаты исследования люминесценции диоксида кремния в процессе его реактивного ионно-плазменного травления, имеющего наибольшую интенсивность в плазме фторсодержащих газов. Установлено, что свечение сопровождается интерференцией. Рассматриваются вероятные механизмы данного явления. Показана возможность использования люминесценции для контроля травления пленки SiO2, а также слоев других материалов, лежащих на ней.
Для цитирования:
Абрамов А.В., Панкратова Е.А., Суровцев И.С. ИНТЕРФЕРЕНЦИЯ ЛЮМИНЕСЦЕНТНОГО СВЕЧЕНИЯ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ ПРИ РЕАКТИВНОМ ИОННО-ПЛАЗМЕННОМ ТРАВЛЕНИИ. Журнал прикладной спектроскопии. 2020;87(2):189-193.
For citation:
Abramov A.V., Pankratova E.A., Surovtsev I.S. INTERFERENCE OF THE LUMINESCENT GLOW OF SILICON DIOXIDE DURING REACTIVE ION-PLASMA ETCHING. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2020;87(2):189-193. (In Russ.)