Для цитирования:

Абрамов А.В., Панкратова Е.А., Суровцев И.С. ИНТЕРФЕРЕНЦИЯ ЛЮМИНЕСЦЕНТНОГО СВЕЧЕНИЯ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ ПРИ РЕАКТИВНОМ ИОННО-ПЛАЗМЕННОМ ТРАВЛЕНИИ. Журнал прикладной спектроскопии. 2020;87(2):189-193.

For citation:

Abramov A.V., Pankratova E.A., Surovtsev I.S. INTERFERENCE OF THE LUMINESCENT GLOW OF SILICON DIOXIDE DURING REACTIVE ION-PLASMA ETCHING. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2020;87(2):189-193. (In Russ.)